项目名称

广东先 (略) 年产4万片8英寸砷化镓衬底扩建项目

建设地点

(略) 清远高新技术开发区百嘉工业园27-9号（ (略) 内

建设单位

广东先 (略)

项目概况

本次扩建项 (略) 清远高新技术开发区百嘉工业园27-9号（ (略) 内）。在北侧厂区的A车间（4#）的1层和2层空置区域，年产8英寸砷化镓衬底4万片，其中N型砷化镓衬底2万片、P型砷化镓衬底2万片。

环评机构

(略) 共创 (略)

主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施

（一）废气
扩建项目废气主要包括王水清洗工序酸雾（盐酸雾、硝酸雾），*醇脱模工序废气（*醇），切片前晶棒与平稳底座黏合工序废气（TVOC），切片后*酸清洗工序废气（*酸），腐蚀、氨水清洗、SC1清洗工序氨气（氨、臭气浓度），酒精清洗工序废气（*醇）。
王水清洗工序酸雾经密闭设备管道直连收集，采用1套“碱液喷淋塔”处理；腐蚀、氨水清洗、SC1清洗工序氨气经密闭设备管道直连收集，采用1套“酸液喷淋塔”处理，盐酸雾、硝酸雾、氨和臭气浓度达标后排放。*醇脱模工序废气、*酸清洗工序废气、酒精清洗工序废气经密闭设备管道直连收集；黏合工序废气经软帘围蔽+集气罩收集，采用1套“水喷淋+活性炭吸附”装置处理后，*醇、非*烷总烃达标后排放
（二）废水
扩建项目废水主要包括员工生活污水、喷淋塔废水、纯水制备浓水和生产废水。其中生产废水包括切块、王水清洗、晶棒加工和检测、切片、磨边、研磨、腐蚀、抛光、SC1清洗工序砷化镓废水，王水清洗工序废酸，*醇浸泡脱模工序废*醇，*酸清洗工序废*酸和*醇废水，抛光工序废液，酒精清洗工序废酒精和酒精废水，氨水清洗工序氨氮废水。
砷化镓废水和抛光废液经A车间污水处理系统1#处理后，淡水进入纯水制备系统回用于生产，浓水重新进入A车间污水处理系统进行循环、不外排，系统1#定期排出的压滤液依托先导厂区污水处理站处理，1#MVR冷凝水回用于先导厂区冷却循环补充水。王水清洗废酸回用于A车间污水处理系统1#中的pH调节工序。*酸清洗工序*醇废水、酒精清洗工序酒精废水和氨水清洗工序氨氮废水进入A车间污水处理系统2#处理后，淡水经广东先 (略) 排放口（WS-OR00645），浓水依托先导厂区生化处理系统处理后，经 (略) 排放口（WS-OR00688）排入龙塘污水处理厂进一步处理。*醇浸泡脱模工序废*醇、*酸清洗工序废*酸和酒精清洗工序废酒精纳入固体废物管理，收集后交由有危险废物资质单位收集处置。
喷淋塔废水排入先导厂区污水处理站，2#MVR冷凝水经 (略) 排放口（WS-OR00688）排入龙塘污水处理厂进一步处理。纯水制备浓水经广东先 (略) 排放口（WS-OR00645）排入龙塘污水处理厂进一步处理。员工生活污水经三级化粪池处理后，排入龙塘污水处理厂进一步处理。
（三）噪声
扩建项目运营过程中主要噪声设备为真空分子泵、外圆磨床、线锯等。经选用低噪声设备，消音、基础减振、厂房隔声等措施后，确保厂界噪声达标后排放。
（四）固体废物
项目产生的一般固体废物包括员工生活垃圾，收集后交由环卫部门清运处理；废石英管收集后交由资源回收单位回收利用；一般工业污泥和生化污泥收集后交由相关单位收集处理。
危险废物包括：HW49砷化镓沉渣、研磨泥浆、HW06废*醇、HW06废*酸、HW06废酒精、HW49含砷污泥、HW49废滤袋、废滤膜、废离子交换树脂、HW49失效活性炭、HW49废活性炭、HW49镓原料的包装袋、HW49废劳保用品、HW08废机油，收集后交由有资质单位处置。
（五）合理划分防渗区域，并严格采取防渗措施，防止污染地下水、土壤环境。
（六）环境风险防范措施和应急预案
建立健全环境事故应急体系，加强污染防治设施的管理和维护，设置足够容积的事故应急池。

公众参与情况

受理公告期间，我单位无收到公众对该项目的意见和建议。

项目名称

广东先 (略) 年产4万片8英寸砷化镓衬底扩建项目

建设地点

(略) 清远高新技术开发区百嘉工业园27-9号（ (略) 内

建设单位

广东先 (略)

项目概况

本次扩建项 (略) 清远高新技术开发区百嘉工业园27-9号（ (略) 内）。在北侧厂区的A车间（4#）的1层和2层空置区域，年产8英寸砷化镓衬底4万片，其中N型砷化镓衬底2万片、P型砷化镓衬底2万片。

环评机构

(略) 共创 (略)

主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施

（一）废气
扩建项目废气主要包括王水清洗工序酸雾（盐酸雾、硝酸雾），*醇脱模工序废气（*醇），切片前晶棒与平稳底座黏合工序废气（TVOC），切片后*酸清洗工序废气（*酸），腐蚀、氨水清洗、SC1清洗工序氨气（氨、臭气浓度），酒精清洗工序废气（*醇）。
王水清洗工序酸雾经密闭设备管道直连收集，采用1套“碱液喷淋塔”处理；腐蚀、氨水清洗、SC1清洗工序氨气经密闭设备管道直连收集，采用1套“酸液喷淋塔”处理，盐酸雾、硝酸雾、氨和臭气浓度达标后排放。*醇脱模工序废气、*酸清洗工序废气、酒精清洗工序废气经密闭设备管道直连收集；黏合工序废气经软帘围蔽+集气罩收集，采用1套“水喷淋+活性炭吸附”装置处理后，*醇、非*烷总烃达标后排放
（二）废水
扩建项目废水主要包括员工生活污水、喷淋塔废水、纯水制备浓水和生产废水。其中生产废水包括切块、王水清洗、晶棒加工和检测、切片、磨边、研磨、腐蚀、抛光、SC1清洗工序砷化镓废水，王水清洗工序废酸，*醇浸泡脱模工序废*醇，*酸清洗工序废*酸和*醇废水，抛光工序废液，酒精清洗工序废酒精和酒精废水，氨水清洗工序氨氮废水。
砷化镓废水和抛光废液经A车间污水处理系统1#处理后，淡水进入纯水制备系统回用于生产，浓水重新进入A车间污水处理系统进行循环、不外排，系统1#定期排出的压滤液依托先导厂区污水处理站处理，1#MVR冷凝水回用于先导厂区冷却循环补充水。王水清洗废酸回用于A车间污水处理系统1#中的pH调节工序。*酸清洗工序*醇废水、酒精清洗工序酒精废水和氨水清洗工序氨氮废水进入A车间污水处理系统2#处理后，淡水经广东先 (略) 排放口（WS-OR00645），浓水依托先导厂区生化处理系统处理后，经 (略) 排放口（WS-OR00688）排入龙塘污水处理厂进一步处理。*醇浸泡脱模工序废*醇、*酸清洗工序废*酸和酒精清洗工序废酒精纳入固体废物管理，收集后交由有危险废物资质单位收集处置。
喷淋塔废水排入先导厂区污水处理站，2#MVR冷凝水经 (略) 排放口（WS-OR00688）排入龙塘污水处理厂进一步处理。纯水制备浓水经广东先 (略) 排放口（WS-OR00645）排入龙塘污水处理厂进一步处理。员工生活污水经三级化粪池处理后，排入龙塘污水处理厂进一步处理。
（三）噪声
扩建项目运营过程中主要噪声设备为真空分子泵、外圆磨床、线锯等。经选用低噪声设备，消音、基础减振、厂房隔声等措施后，确保厂界噪声达标后排放。
（四）固体废物
项目产生的一般固体废物包括员工生活垃圾，收集后交由环卫部门清运处理；废石英管收集后交由资源回收单位回收利用；一般工业污泥和生化污泥收集后交由相关单位收集处理。
危险废物包括：HW49砷化镓沉渣、研磨泥浆、HW06废*醇、HW06废*酸、HW06废酒精、HW49含砷污泥、HW49废滤袋、废滤膜、废离子交换树脂、HW49失效活性炭、HW49废活性炭、HW49镓原料的包装袋、HW49废劳保用品、HW08废机油，收集后交由有资质单位处置。
（五）合理划分防渗区域，并严格采取防渗措施，防止污染地下水、土壤环境。
（六）环境风险防范措施和应急预案
建立健全环境事故应急体系，加强污染防治设施的管理和维护，设置足够容积的事故应急池。

公众参与情况

受理公告期间，我单位无收到公众对该项目的意见和建议。