上海稷以科技有限公司三代化合物半导体专用刻蚀装备技术研发和产业化建设项目环境影响报告表

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上海稷以科技有限公司三代化合物半导体专用刻蚀装备技术研发和产业化建设项目环境影响报告表

项目名称
上海稷以科技有限公司三代化合物半导体专用刻蚀装备技术研发和产业化建设项目环境影响报告表
项目名称
上海稷以科技有限公司三代化合物半导体专用刻蚀装备技术研发和产业化建设项目环境影响报告表
建设地点
闵行区江川 (略) 闵行区经济技术开发区东川路3879号21号厂房
所属行业
专用设备制造业
项目内容
建设内容及规模：本项 (略) 闵行经济技术开发区东川路3879号21号厂房，主要进行硅基及化合物半导体加工设备的组装生产，以及采用自厂生产的设备开展刻蚀、去胶、沉积、氮化及清洗活化工艺研发实验，系统地开发全新的去胶工艺和刻蚀工艺。本项目建成后生产半导体加工设备350台／年，每年进行硅片的刻蚀、去胶、沉积、氮化及清洗活化工艺研发实验各200批次。
建设单位名称
(略)
建设单位地址
(略) 闵行区经济技术开发区东川路3879号21号厂房
建设单位联系人
陈笑婷
联系电话
*
电子邮箱
*@*etplasma.com
传真
021-*
环评机构名称
上海益 (略)
拟报批的环境影响报告表全文
项目名称
上海稷以科技有限公司三代化合物半导体专用刻蚀装备技术研发和产业化建设项目环境影响报告表
项目名称
上海稷以科技有限公司三代化合物半导体专用刻蚀装备技术研发和产业化建设项目环境影响报告表
建设单位
(略)
所属行业
专用设备制造业
建设地点
闵行区江川 (略) 闵行区经济技术开发区东川路3879号21号厂房
项目基本信息
建设内容：进行硅基及化合物半导体加工设备的组装生产以及采用自厂生产的设备开展刻蚀、去胶、沉积、氮化及清洗活化工艺研发实验； 建设规模：设计产能350台／年
设计单位
上海申吉建筑 (略)
计划开工日期
2023-07-31
环评项目登记号
／
环评批文文号
闵环保许评[2023]136号
环评批文日期
2023-07-11
联系人
刘姝萱
联系电话
*
电子邮箱
*@*etplasma.com
实际开工日期
2023-07-31
实际开工日期
2023-07-31
施工期环保措施落实情况（pdf）
施工期环保措施落实情况 (1).pdf 点击下载
施工期环境监测结果（pdf）
开始调试日期
竣工日期
开始调试日期
联系人
联系电话
非重大调整报告（pdf）
环保措施落实情况（pdf）
公示起始日期
公示起始日期
验收报告
项目名称
上海稷以科技有限公司三代化合物半导体专用刻蚀装备技术研发和产业化建设项目环境影响报告表
项目名称
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建设地点
闵行区江川 (略) 闵行区经济技术开发区东川路3879号21号厂房
所属行业
专用设备制造业
项目内容
建设内容及规模：本项 (略) 闵行经济技术开发区东川路3879号21号厂房，主要进行硅基及化合物半导体加工设备的组装生产，以及采用自厂生产的设备开展刻蚀、去胶、沉积、氮化及清洗活化工艺研发实验，系统地开发全新的去胶工艺和刻蚀工艺。本项目建成后生产半导体加工设备350台／年，每年进行硅片的刻蚀、去胶、沉积、氮化及清洗活化工艺研发实验各200批次。
建设单位名称
(略)
建设单位地址
(略) 闵行区经济技术开发区东川路3879号21号厂房
建设单位联系人
陈笑婷
联系电话
*
电子邮箱
*@*etplasma.com
传真
021-*
环评机构名称
上海益 (略)
拟报批的环境影响报告表全文
项目名称
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项目名称
上海稷以科技有限公司三代化合物半导体专用刻蚀装备技术研发和产业化建设项目环境影响报告表
建设单位
(略)
所属行业
专用设备制造业
建设地点
闵行区江川 (略) 闵行区经济技术开发区东川路3879号21号厂房
项目基本信息
建设内容：进行硅基及化合物半导体加工设备的组装生产以及采用自厂生产的设备开展刻蚀、去胶、沉积、氮化及清洗活化工艺研发实验； 建设规模：设计产能350台／年
设计单位
上海申吉建筑 (略)
计划开工日期
2023-07-31
环评项目登记号
／
环评批文文号
闵环保许评[2023]136号
环评批文日期
2023-07-11
联系人
刘姝萱
联系电话
*
电子邮箱
*@*etplasma.com
实际开工日期
2023-07-31
实际开工日期
2023-07-31
施工期环保措施落实情况（pdf）
施工期环保措施落实情况 (1).pdf 点击下载
施工期环境监测结果（pdf）
开始调试日期
竣工日期
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非重大调整报告（pdf）
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