无锡尚积半导体科技有限公司新物理气相沉积设备、新化学气相沉积设备和干法刻蚀设备的研发
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“无锡尚积半导体科技有限公司新物理气相沉积设备、新化学气相沉积设备和干法刻蚀设备的研发项目”发生变动，但未构成重大变动，经此次变动分析后纳入排污许可和三同时验收管理。
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