序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

备注

1

烟台齐新半导 (略) 智能光电传感器研发中试平台项目（重新报批)

开发区

烟台齐新半导 (略)

烟台云沣生态环境 (略)

租赁烟台睿创 (略) 位于烟台经济技术开发区贵阳大街13号的现有厂房进行建设，现有厂房包括9#厂房、动力厂房、研发办公楼、化学品仓库、特气站、大宗气体站等。拟建项目于9#厂房内建设一条三维异质集成微波毫米波微系统生产线、一条制冷型红外探测器组件生产线、一条光学传感器组件生产线。项目新建废气处理设施、有机废液间及危险废物仓库、污水处理站等环保设施。

项目建成后，年产三维异质集成微波毫米波微系统100万只、红外探测器组件50万件、光学传感器组件50万件。

1.大气环境影响

①有组织废气

生产过程中产生的工艺废气（主要污染物为*醇、*酮、*醇、异*醇等，以VOCs计）经设备集气管道收集后经二级活性炭吸附装置处理，通过37m高排气筒P1排放。废气中的VOCs能够满足《挥发性有机物排放标准 第 7 部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表 1“其他行业”Ⅱ时段排放限值要求（60mg/m3、16.0kg/h）；*醇排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中标准限值要求（190mg/m3、43.7kg/h）。

酸性废气（污染物为氯化氢、氟化物、硫酸雾、硝酸雾、氯气、氨气等）经设备集气管道收集，经碱液喷淋处理，通过37m高排气筒P2排放，氟化物排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中标准限值要求（9.0mg/m3、0.877kg/h）；氯化氢排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中标准限值要求（100mg/m3、2.24kg/h）；硫酸雾排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中标准限值要求（45mg/m3、13.14kg/h）；氮氧化物排放浓度和排放速率满足《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1重点控制区限值要求（100mg/m3）；氯气排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中标准限值要求（65mg/m3、2.291kg/h）。

氨气经设备废气管道收集，经酸喷淋处理，通过37m高排气筒P3排放，氨气排放能够满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2限值要求（2.3kg/h）。

②无组织排放废气

项目工艺涉及产生废气的设备均为密闭设备，设备上方均设置集气管道，废气经集气管道收集后经过相关废气治理设施处理后，经排气筒排放，另外项目清洗车间为洁净车间，收集效率按照100%计，因此本项目不涉及工艺无组织废气。

污水处理站布置在动力车间的一层，通过加强密闭和绿化，减少恶臭气体的产生，无组织排放的废气能够满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中二级新扩改建的相关限值（氨：1.5mg/m3、硫化氢：0.06mg/m3、臭气浓度：20无量纲）。

2.废水影响

工艺废水（预清洗废水、光刻后清洗废水、湿化学清洗废水、湿法去胶清洗废水）经专用管道进入生化系统处理达标后，进入放流池， (略) 政污水管网，排至烟台中 (略) 处理；工艺废水（划片废水）经专用管道进入无机系统处理达标后，进入放流池， (略) 政污水管网，排至烟台中 (略) 处理；工艺废水（湿法腐蚀（酸法）清洗废水、酸法腐蚀清洗废水、干法刻蚀清洗废水等含酸废水）经专用管道进入含氟废水系统处理达标后，进入放流池， (略) 政污水管网，排至烟台中 (略) 处理；工艺废水（研磨清洗废水、背减薄清洗废水、一般清洗废水、含铜及含金电镀清洗废水）经专用管道进入研磨废水系统处理达标后，进入放流池， (略) 政污水管网，排至烟台中 (略) 处理；纯水制备浓水经管道进入放流池， (略) 政污水管网，排至烟台中 (略) 处理；含镍电镀清洗废液作为危险废物，委托资质单位处置。

拟建项目新建1座废水处理站，设计规模为240.8m3/d（考虑预留余量），采用分质处理，其中含氟废水处理系统：“收集池+调节池+pH反应池+氯化钙反应池+混凝池+沉淀池+调节池”处理工艺；研磨废水处理系统：“收集池+调节池+pH反应池+混凝池+沉淀池+调节池”处理工艺；有机废水处理系统：“收集池+调节池+pH反应池+混凝池+沉淀池+缺氧池+缺氧池+好氧池+沉淀池+调节池”处理工艺；无机废水处理系统：“收集池+调节池+pH反应池”处理工艺。

项目污水经厂内污水站处理后满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放限值，《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1B级限值、烟台中 (略) 接收标准取严，排入烟台中 (略) 。

3.声环境影响

满足工艺条件下，尽可能选用低噪声设备，对高噪声设备则采用减振、消声、降噪等措施。经预测厂界噪声排放满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。

4.固体废物影响

按固体废物“资源化、减量化、无害化”处置原则，危险废物委托给有危废处理资质的单位进行处理。

序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

备注

1

烟台齐新半导 (略) 智能光电传感器研发中试平台项目（重新报批)

开发区

烟台齐新半导 (略)

烟台云沣生态环境 (略)

租赁烟台睿创 (略) 位于烟台经济技术开发区贵阳大街13号的现有厂房进行建设，现有厂房包括9#厂房、动力厂房、研发办公楼、化学品仓库、特气站、大宗气体站等。拟建项目于9#厂房内建设一条三维异质集成微波毫米波微系统生产线、一条制冷型红外探测器组件生产线、一条光学传感器组件生产线。项目新建废气处理设施、有机废液间及危险废物仓库、污水处理站等环保设施。

项目建成后，年产三维异质集成微波毫米波微系统100万只、红外探测器组件50万件、光学传感器组件50万件。

1.大气环境影响

①有组织废气

生产过程中产生的工艺废气（主要污染物为*醇、*酮、*醇、异*醇等，以VOCs计）经设备集气管道收集后经二级活性炭吸附装置处理，通过37m高排气筒P1排放。废气中的VOCs能够满足《挥发性有机物排放标准 第 7 部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表 1“其他行业”Ⅱ时段排放限值要求（60mg/m3、16.0kg/h）；*醇排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中标准限值要求（190mg/m3、43.7kg/h）。

酸性废气（污染物为氯化氢、氟化物、硫酸雾、硝酸雾、氯气、氨气等）经设备集气管道收集，经碱液喷淋处理，通过37m高排气筒P2排放，氟化物排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中标准限值要求（9.0mg/m3、0.877kg/h）；氯化氢排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中标准限值要求（100mg/m3、2.24kg/h）；硫酸雾排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中标准限值要求（45mg/m3、13.14kg/h）；氮氧化物排放浓度和排放速率满足《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1重点控制区限值要求（100mg/m3）；氯气排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中标准限值要求（65mg/m3、2.291kg/h）。

氨气经设备废气管道收集，经酸喷淋处理，通过37m高排气筒P3排放，氨气排放能够满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2限值要求（2.3kg/h）。

②无组织排放废气

项目工艺涉及产生废气的设备均为密闭设备，设备上方均设置集气管道，废气经集气管道收集后经过相关废气治理设施处理后，经排气筒排放，另外项目清洗车间为洁净车间，收集效率按照100%计，因此本项目不涉及工艺无组织废气。

污水处理站布置在动力车间的一层，通过加强密闭和绿化，减少恶臭气体的产生，无组织排放的废气能够满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中二级新扩改建的相关限值（氨：1.5mg/m3、硫化氢：0.06mg/m3、臭气浓度：20无量纲）。

2.废水影响

工艺废水（预清洗废水、光刻后清洗废水、湿化学清洗废水、湿法去胶清洗废水）经专用管道进入生化系统处理达标后，进入放流池， (略) 政污水管网，排至烟台中 (略) 处理；工艺废水（划片废水）经专用管道进入无机系统处理达标后，进入放流池， (略) 政污水管网，排至烟台中 (略) 处理；工艺废水（湿法腐蚀（酸法）清洗废水、酸法腐蚀清洗废水、干法刻蚀清洗废水等含酸废水）经专用管道进入含氟废水系统处理达标后，进入放流池， (略) 政污水管网，排至烟台中 (略) 处理；工艺废水（研磨清洗废水、背减薄清洗废水、一般清洗废水、含铜及含金电镀清洗废水）经专用管道进入研磨废水系统处理达标后，进入放流池， (略) 政污水管网，排至烟台中 (略) 处理；纯水制备浓水经管道进入放流池， (略) 政污水管网，排至烟台中 (略) 处理；含镍电镀清洗废液作为危险废物，委托资质单位处置。

拟建项目新建1座废水处理站，设计规模为240.8m3/d（考虑预留余量），采用分质处理，其中含氟废水处理系统：“收集池+调节池+pH反应池+氯化钙反应池+混凝池+沉淀池+调节池”处理工艺；研磨废水处理系统：“收集池+调节池+pH反应池+混凝池+沉淀池+调节池”处理工艺；有机废水处理系统：“收集池+调节池+pH反应池+混凝池+沉淀池+缺氧池+缺氧池+好氧池+沉淀池+调节池”处理工艺；无机废水处理系统：“收集池+调节池+pH反应池”处理工艺。

项目污水经厂内污水站处理后满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放限值，《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1B级限值、烟台中 (略) 接收标准取严，排入烟台中 (略) 。

3.声环境影响

满足工艺条件下，尽可能选用低噪声设备，对高噪声设备则采用减振、消声、降噪等措施。经预测厂界噪声排放满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。

4.固体废物影响

按固体废物“资源化、减量化、无害化”处置原则，危险废物委托给有危废处理资质的单位进行处理。