中微南昌刻蚀研发实验室提升技改项目-备案信息公示
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中微南昌刻蚀研发实验室提升技改项目-备案信息公示
| 项目编号 | 2309-*-07-02-* |
|---|---|
| 项目名称 | 中微南昌刻蚀研发实验室提升技改项目 |
| 建设项目所属区域 | 高新开发区 |
| 建设地点详情 | (略) , (略) |
| 详细地址 | (略) 南昌高新技术产业开发区光电路699号 |
| 项目总投资 | 1300万元 |
| 建设规模及内容 | 计划总投资1300万元，购买用于研发检测、测试、气体回收等相关设备，具体包括：无图形晶圆表面缺陷检测设备1台、手动清洗柜1台、光学高倍显微镜1台、离子溅射仪1台、Sela切割机等设备1台、燃烧式半导体工业气体回收处理设备2台，该技改项目有助于提升实验室能级，助力企业技术创新升级。|&|&|1.导入国产晶圆颗粒测试仪（无图形晶圆表面缺陷检测设备），替代进口设备，减少对国外检测设备的依赖，该设备可同时测12英寸和8英寸晶圆颗粒，测试能力达国际先进水平；2.导入燃烧式半导体工业尾气处理设备替代吸附式半导体尾气处理设备，提升尾气处理的效果，避免对环境的污染；3. 购买手动清洗柜、光学显微镜、离子溅射仪、Sela切割机等设备, (略) 具备完整的纳米级晶圆制样和电镜扫描的分析能力，目前南昌中微是唯一一家可以独立进行刻蚀研发 (略) 。 |
| 建设单位 | 南昌中 (略) |
| 开工时间 | 2022年12月 |
| 竣工时间 | 2023年10月 |
| 项目类型 | 备案类 |
| 备案状态 | 已备案 |
| 项目编号 | 2309-*-07-02-* |
|---|---|
| 项目名称 | 中微南昌刻蚀研发实验室提升技改项目 |
| 建设项目所属区域 | 高新开发区 |
| 建设地点详情 | (略) , (略) |
| 详细地址 | (略) 南昌高新技术产业开发区光电路699号 |
| 项目总投资 | 1300万元 |
| 建设规模及内容 | 计划总投资1300万元，购买用于研发检测、测试、气体回收等相关设备，具体包括：无图形晶圆表面缺陷检测设备1台、手动清洗柜1台、光学高倍显微镜1台、离子溅射仪1台、Sela切割机等设备1台、燃烧式半导体工业气体回收处理设备2台，该技改项目有助于提升实验室能级，助力企业技术创新升级。|&|&|1.导入国产晶圆颗粒测试仪（无图形晶圆表面缺陷检测设备），替代进口设备，减少对国外检测设备的依赖，该设备可同时测12英寸和8英寸晶圆颗粒，测试能力达国际先进水平；2.导入燃烧式半导体工业尾气处理设备替代吸附式半导体尾气处理设备，提升尾气处理的效果，避免对环境的污染；3. 购买手动清洗柜、光学显微镜、离子溅射仪、Sela切割机等设备, (略) 具备完整的纳米级晶圆制样和电镜扫描的分析能力，目前南昌中微是唯一一家可以独立进行刻蚀研发 (略) 。 |
| 建设单位 | 南昌中 (略) |
| 开工时间 | 2022年12月 |
| 竣工时间 | 2023年10月 |
| 项目类型 | 备案类 |
| 备案状态 | 已备案 |
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