北京鲁汶集成电路装备研发制造基地项目-已受理项目
北京鲁汶集成电路装备研发制造基地项目-已受理项目
建设地点:亦庄新城0606街区YZ00-0606-0040地块
公示时间:2023-10-07至2023-10-11
受理时间:2023-10-07
项目概况:本项目主要建设内容包括生产厂房、生产研发楼、综合楼、综合动力站、化学品库、开闭站、门卫以及其他配套生活服务设施及环保设施等建(构)筑物,构建产品生产平台、工艺研发测试平台。本项目建成后主要进行磁存储器刻蚀、离子束刻蚀等集成电路装备的生产及工艺研发。主要进行等离子体刻蚀系统、薄膜沉积系统及金属沾污收集系统的生产,其中等离子体刻蚀系统366腔/a、薄膜沉积系统16腔/a及金属沾污收集系统12台/a。主要进行干法刻蚀工艺和薄膜沉积工艺研发,旨在使所生产的产品持续升级以及提供售后设备运行中的工艺解决方案。
行政相对人名称:北京鲁 (略)
联系人:许开东
联系电话:*
审批部门:北京经济技术开发区行政审批局
邮政编码:*
邮寄地址:荣华中路15号5层
传真电话:*
设定依据:1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。
建设地点:亦庄新城0606街区YZ00-0606-0040地块
公示时间:2023-10-07至2023-10-11
受理时间:2023-10-07
项目概况:本项目主要建设内容包括生产厂房、生产研发楼、综合楼、综合动力站、化学品库、开闭站、门卫以及其他配套生活服务设施及环保设施等建(构)筑物,构建产品生产平台、工艺研发测试平台。本项目建成后主要进行磁存储器刻蚀、离子束刻蚀等集成电路装备的生产及工艺研发。主要进行等离子体刻蚀系统、薄膜沉积系统及金属沾污收集系统的生产,其中等离子体刻蚀系统366腔/a、薄膜沉积系统16腔/a及金属沾污收集系统12台/a。主要进行干法刻蚀工艺和薄膜沉积工艺研发,旨在使所生产的产品持续升级以及提供售后设备运行中的工艺解决方案。
行政相对人名称:北京鲁 (略)
联系人:许开东
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审批部门:北京经济技术开发区行政审批局
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设定依据:1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。
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