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福建省晋华集成电路有限公司X射线分析仪与离子植入机应用项目变更离子植入机项目福建省泉州市晋江市集成电路科学园联华大道88号

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福建省晋华集成电路有限公司X射线分析仪与离子植入机应用项目变更离子植入机项目福建省泉州市晋江市集成电路科学园联华大道88号

建设项目环境影响登记表

填表日期：**

项目名称	(略) (略) X射线分析仪与离子植入机应用项目（变更离子植入机项目）
建设地点	(略) (略) 集成电路科学园联华大道88号	建筑面积（平方米）	3358
建设单位	(略) (略)	法定代表人	卢文胜
项目投资(万元)	78250	环保投资(万元)	1565
拟投入生产运营日期	**
建设性质	改建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	一、建设内容：产品参数检测使用分析仪，离子植入工序使用离子注入机。二、建设规模： 1、使用K-TRX 型全反射X射线荧光分析仪（最大管电压60kV，最大管电流50mA，数量1 台）； 2、使用FF60P4X5069型全反射X射线分析仪（最大管电压60kV，最大管电流160mA，数量1 台）； 3、使用III XF型光学表面量测仪（最大管电压19kV，最大管电流4mA，数量1 台）； 4、使用GATE300 MX6610E型氮浓度量测（最大管电压12kV，最大管电流6mA，数量1 台）； 5、使用EXCEED3000AH-Evo2 型中电流离子注入机（最大管电压19kV，最大管电流4mA，数量2 台）； 6、使用MC3-II/GP型中电流离子注入机（功率1280W，数量12台）； 7、使用V9003D 型中电流离子注入机（功率1200W，数量1台）； 8、使用Purion XE型高能量离子植入机（功率150Kva，数量2 台）； 9、使用Trident XP型高电流离子植入机（功率1200W，数量9台）； 10、使用Sagittar-500型高电流离子注入机（功率1.2KW，数量5台）。 11、使用CI C60型高电流离子注入机（功率1.2KW，数量1台）。 12、使用Thermo fisher型，透射电子显微镜（管电压200kv，数量1台） 13、使用Talos F200E型，透射电子显微镜（管电压200kv，数量1台）射线装置具体使用位置：使用地点位于Fab-3F IMP区和RTP区。透射电子显微镜使用位置：使用地点位于OB 负一层故障分析实验室。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向






	环保措施: 环保措施:一、污染防治措施： 1、警示标识：项目射线装置表面自带电离辐射警示标识，所有射线装置所在气体分析仪均设置工作状态指示灯。在辐射源所在位置和离子植入所在位置的工作场所醒目位置设置电离辐射和电离辐射警示标识。 2、屏蔽防护措施：射线装置和辐射源均自带较好屏蔽设施。植入机铅板厚度规格在3mm及以上。选用的规格确保屏蔽后表面周围剂量当量率≤0.6μSv/h。表面离子分析仪、射线分析器、透射电子显微镜产生的X 射线能量较低，较易屏蔽，通过仪器自带屏蔽材料后辐射水平也处于本底水平。 3、防护用品和监测仪器：公司为辐射工作人员配备个人剂量计，配备1 台辐射监测仪。 4、联锁装置：射线装置设置有产品进出门，无人员进出门，工作人员不能进入射线装置内，所有产品进出门均设置安全联锁，当设备被异常打开时自动中止产生射线。设备表面设置紧急停机按钮，当设备异常时可按下该按钮停止产生射线。二、安全管理措施 1、有专职管理人员负责辐射安全管理； 2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度人员培计划、监测方案； 3、辐射事故应急措施； 4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案； 5、组织辐射作业人员参加辐射安全和防护知识培训。
??承诺： (略) (略) 卢文胜承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由 (略) (略) ，卢文胜承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：*089。

建设项目环境影响登记表

填表日期：**

项目名称	(略) (略) X射线分析仪与离子植入机应用项目（变更离子植入机项目）
建设地点	(略) (略) 集成电路科学园联华大道88号	建筑面积（平方米）	3358
建设单位	(略) (略)	法定代表人	卢文胜
项目投资(万元)	78250	环保投资(万元)	1565
拟投入生产运营日期	**
建设性质	改建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	一、建设内容：产品参数检测使用分析仪，离子植入工序使用离子注入机。二、建设规模： 1、使用K-TRX 型全反射X射线荧光分析仪（最大管电压60kV，最大管电流50mA，数量1 台）； 2、使用FF60P4X5069型全反射X射线分析仪（最大管电压60kV，最大管电流160mA，数量1 台）； 3、使用III XF型光学表面量测仪（最大管电压19kV，最大管电流4mA，数量1 台）； 4、使用GATE300 MX6610E型氮浓度量测（最大管电压12kV，最大管电流6mA，数量1 台）； 5、使用EXCEED3000AH-Evo2 型中电流离子注入机（最大管电压19kV，最大管电流4mA，数量2 台）； 6、使用MC3-II/GP型中电流离子注入机（功率1280W，数量12台）； 7、使用V9003D 型中电流离子注入机（功率1200W，数量1台）； 8、使用Purion XE型高能量离子植入机（功率150Kva，数量2 台）； 9、使用Trident XP型高电流离子植入机（功率1200W，数量9台）； 10、使用Sagittar-500型高电流离子注入机（功率1.2KW，数量5台）。 11、使用CI C60型高电流离子注入机（功率1.2KW，数量1台）。 12、使用Thermo fisher型，透射电子显微镜（管电压200kv，数量1台） 13、使用Talos F200E型，透射电子显微镜（管电压200kv，数量1台）射线装置具体使用位置：使用地点位于Fab-3F IMP区和RTP区。透射电子显微镜使用位置：使用地点位于OB 负一层故障分析实验室。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向






	环保措施: 环保措施:一、污染防治措施： 1、警示标识：项目射线装置表面自带电离辐射警示标识，所有射线装置所在气体分析仪均设置工作状态指示灯。在辐射源所在位置和离子植入所在位置的工作场所醒目位置设置电离辐射和电离辐射警示标识。 2、屏蔽防护措施：射线装置和辐射源均自带较好屏蔽设施。植入机铅板厚度规格在3mm及以上。选用的规格确保屏蔽后表面周围剂量当量率≤0.6μSv/h。表面离子分析仪、射线分析器、透射电子显微镜产生的X 射线能量较低，较易屏蔽，通过仪器自带屏蔽材料后辐射水平也处于本底水平。 3、防护用品和监测仪器：公司为辐射工作人员配备个人剂量计，配备1 台辐射监测仪。 4、联锁装置：射线装置设置有产品进出门，无人员进出门，工作人员不能进入射线装置内，所有产品进出门均设置安全联锁，当设备被异常打开时自动中止产生射线。设备表面设置紧急停机按钮，当设备异常时可按下该按钮停止产生射线。二、安全管理措施 1、有专职管理人员负责辐射安全管理； 2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度人员培计划、监测方案； 3、辐射事故应急措施； 4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案； 5、组织辐射作业人员参加辐射安全和防护知识培训。
??承诺： (略) (略) 卢文胜承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由 (略) (略) ，卢文胜承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：*089。

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