3μm碳基CMOS集成电路加工实验平台项目拟审查项目
3μm碳基CMOS集成电路加工实验平台项目拟审查项目
建设地点: (略) 海淀区杏石口路80号益园文创基地B区1号楼105
公示时间:2023-10-31
受理时间:2023-10-17
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施:(1)实验过程中产生废气,薄膜溶液制备区通风橱收集的有机废气由外部风机抽送至1号有机废气净化塔(活性炭吸附)处理后DA001排放口(12.7m)排放,其余通风橱收集的有机废气由外部风机抽送至2号有机废气净化塔(活性炭吸附)处理后DA002排放口(12.7m)排放,刻蚀环节产生特种废气经外部风机收集至1号尾气处理设备(730℃燃烧)处理后与介质膜沉积环节产生的特种废气经外部风机收集至2号尾气处理设备(730℃燃烧)处理后汇总至3号酸性废气净化塔(SDG专用颗粒吸附)处理后DA003排放口(12.7m)排放;(2)本项目废水主要为生活污水、冷却循环水、超纯水制备产生的浓水、晶圆冲洗废水和容器清洗废水(除第一、二遍清洗废水),冷却循环水、晶圆冲洗废水、容器清洗废水(除第一、二遍清洗废水)和超纯水制备产生浓水排入污水处理设备处理后同生活废水一起进入化 (略) 政污水管网,最终排入清河再生水厂;(3)本项目采取隔声、消声等降噪措施,然后再经建筑物隔声、距离衰减,厂界噪声执行国家《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的1类标准;(4)生活垃圾分类收集,能够回收利用的由废品收购单位回收处理,不能回收利用的部分由环卫部门定期清运;一般工业固体废物主要是废包装类、废靶材、废芯片、废晶片、废反渗透膜、废滤网。废包装类由废品收购单位回收,废反渗透膜和废滤网由厂家更换后回收,废靶材、废芯片和废晶片作为废物回收;危险废物暂存于危险废物贮存点,定期交由有资质单位清运。
公众参与情况:无
联系人:张乐孝
联系电话:*
环评单位名称:北京华夏 (略)
审批部门:海淀区生态环境局
邮政编码:*
邮寄地址:海淀区东北旺南路29号蓝海中心B座602
传真电话:*
设定依据:1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。
行政相对人名称:北京元芯碳基集 (略)
建设地点: (略) 海淀区杏石口路80号益园文创基地B区1号楼105
公示时间:2023-10-31
受理时间:2023-10-17
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施:(1)实验过程中产生废气,薄膜溶液制备区通风橱收集的有机废气由外部风机抽送至1号有机废气净化塔(活性炭吸附)处理后DA001排放口(12.7m)排放,其余通风橱收集的有机废气由外部风机抽送至2号有机废气净化塔(活性炭吸附)处理后DA002排放口(12.7m)排放,刻蚀环节产生特种废气经外部风机收集至1号尾气处理设备(730℃燃烧)处理后与介质膜沉积环节产生的特种废气经外部风机收集至2号尾气处理设备(730℃燃烧)处理后汇总至3号酸性废气净化塔(SDG专用颗粒吸附)处理后DA003排放口(12.7m)排放;(2)本项目废水主要为生活污水、冷却循环水、超纯水制备产生的浓水、晶圆冲洗废水和容器清洗废水(除第一、二遍清洗废水),冷却循环水、晶圆冲洗废水、容器清洗废水(除第一、二遍清洗废水)和超纯水制备产生浓水排入污水处理设备处理后同生活废水一起进入化 (略) 政污水管网,最终排入清河再生水厂;(3)本项目采取隔声、消声等降噪措施,然后再经建筑物隔声、距离衰减,厂界噪声执行国家《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的1类标准;(4)生活垃圾分类收集,能够回收利用的由废品收购单位回收处理,不能回收利用的部分由环卫部门定期清运;一般工业固体废物主要是废包装类、废靶材、废芯片、废晶片、废反渗透膜、废滤网。废包装类由废品收购单位回收,废反渗透膜和废滤网由厂家更换后回收,废靶材、废芯片和废晶片作为废物回收;危险废物暂存于危险废物贮存点,定期交由有资质单位清运。
公众参与情况:无
联系人:张乐孝
联系电话:*
环评单位名称:北京华夏 (略)
审批部门:海淀区生态环境局
邮政编码:*
邮寄地址:海淀区东北旺南路29号蓝海中心B座602
传真电话:*
设定依据:1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。
行政相对人名称:北京元芯碳基集 (略)
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