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欧益睿芯砷化镓半导体工艺研究项目

于西沣路兴隆段266号线电子科技大学南校区国家工程研究中心实验大楼内

合肥 (略) 西安分公司

陕西 (略)

项目位于项目位于西沣路兴隆段266号线电子科技大学南校区国家工程研究中心实验大楼内一层，项目在国家工程中心氮化镓半导体研发基础上扩建砷化镓半导体工艺试验研发能力，项目占地面积2250m²，依托现有分摊研究中心实验室一楼洁净实验室，新增本项目所需部分设备，用于砷化镓工艺实验研发。项目总投资6000万元。

废气：依托现有废气处理设施。有机废气经过活性炭吸附后由26m排气筒排放；酸性废气通过NaOH吸收塔处理达标后由26m排气筒排放；碱性废气先经过室内尾气处理器（燃烧+喷淋）处理后，再引至盐酸溶液喷淋塔处理后由 26m 排气筒排放。

废水：依托现有废水处理设施。项目所产生的废水经管道排入废水储存罐里储存，定期交资质单位清运处置。

噪声：选用低噪声设备，采取厂房隔声等降噪措施。

固废：依托现有固废处置设施。废显影液，废有机溶剂，废酸溶液，含砷废液（废刻蚀液），划片、研磨废液等经管路排至地下一层废液收集柜，定期交资质单位清运处置。废试剂瓶，废气处理产生的废活性炭由厂家定期更换回收。废试剂瓶和检修废物暂存于实验楼负一楼危废暂存间内，定期中转至西电危废中转站，定期交资质单位清运处置。

报告表类项目，未开展公众调查意见。

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欧益睿芯砷化镓半导体工艺研究项目

于西沣路兴隆段266号线电子科技大学南校区国家工程研究中心实验大楼内

合肥 (略) 西安分公司

陕西 (略)

项目位于项目位于西沣路兴隆段266号线电子科技大学南校区国家工程研究中心实验大楼内一层，项目在国家工程中心氮化镓半导体研发基础上扩建砷化镓半导体工艺试验研发能力，项目占地面积2250m²，依托现有分摊研究中心实验室一楼洁净实验室，新增本项目所需部分设备，用于砷化镓工艺实验研发。项目总投资6000万元。

废气：依托现有废气处理设施。有机废气经过活性炭吸附后由26m排气筒排放；酸性废气通过NaOH吸收塔处理达标后由26m排气筒排放；碱性废气先经过室内尾气处理器（燃烧+喷淋）处理后，再引至盐酸溶液喷淋塔处理后由 26m 排气筒排放。

废水：依托现有废水处理设施。项目所产生的废水经管道排入废水储存罐里储存，定期交资质单位清运处置。

噪声：选用低噪声设备，采取厂房隔声等降噪措施。

固废：依托现有固废处置设施。废显影液，废有机溶剂，废酸溶液，含砷废液（废刻蚀液），划片、研磨废液等经管路排至地下一层废液收集柜，定期交资质单位清运处置。废试剂瓶，废气处理产生的废活性炭由厂家定期更换回收。废试剂瓶和检修废物暂存于实验楼负一楼危废暂存间内，定期中转至西电危废中转站，定期交资质单位清运处置。

报告表类项目，未开展公众调查意见。