英寸硅片再生技术、纳米级抛光垫、制程尾气处理设备研发及制造项目-办理结果公示
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英寸硅片再生技术、纳米级抛光垫、制程尾气处理设备研发及制造项目-办理结果公示
项目代码/项目名称:[备案]2311-*-89-05-*英寸硅片再生技术、纳米级抛光垫、制程尾气处理设备（LocalScrubber）研发及制造项目
审批事项:企业投资项目备案
审批部门: (略) 锡山区行政审批局
部门区划: (略) 锡山区
审批结果:批复
批复文号:锡山行审备〔2023〕484号
审批时间:2023/11/03
项目代码/项目名称:[备案]2311-*-89-05-*英寸硅片再生技术、纳米级抛光垫、制程尾气处理设备（LocalScrubber）研发及制造项目
审批事项:企业投资项目备案
审批部门: (略) 锡山区行政审批局
部门区划: (略) 锡山区
审批结果:批复
批复文号:锡山行审备〔2023〕484号
审批时间:2023/11/03
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