光掩模版及相关业务研发生产项目一期-审批拟批准情况公示
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光掩模版及相关业务研发生产项目一期-审批拟批准情况公示
| 项目名称： | 光掩模版及相关业务研发生产项目（一期） | |
| 建设地点： | (略) 西海岸新区红石崖街道办事处山王河路1088 号 | |
| 建设单位： | 擎方科技（青岛）有限公司 | |
| 环境影响评价机构： | 青岛 (略) | |
| 公示时间： | 2023年11月08日 至 2023年11月14日 | |
| 项目概况： | 项目位于青岛西海岸新区红石崖街道山王河路1088 号，租赁芯恩（青岛） (略) 现有8英寸厂房1F东北区域进行建设，占地面积2300m2。项目主要建设光掩模版生产线一条，主要生产设备设施包括电子束曝光机4台、烘烤显影机1台、干蚀刻机2台、湿蚀刻机1台、光阻涂布机1台、清洗机2台等，主要原辅材料为二氧化硅基板6000片/a、薄膜6000片/a、显影液30.07t/a、蚀刻液（含7%高氯酸）1.32t/a、氯气273.64kg/a、四氯化碳3.14kg/a、等。项目建成后，可年产传统型光掩模版600片、相位仪型光掩模版5400片。 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | 二、项目设计、建设和运行过程中要认真落实《报告表》提出的各项环境污染防治和风险防范措施，并做好以下工作： （一）严格落实水污染防治措施。项目产生的含铬废水、含氨废水、含氟废水、酸碱中和废水经单独管道收集后一并依次经过依托芯恩的污水处理系统处理， (略) 废水总排口 DW003 排入专用管道进入拟建的电子信息产业园污水处理厂处理； (略) 排口DW (略) 政污水管网进入龙泉河污水处理厂处理，含铬废水设置单独的车间废水排放口并安装在线监测装置。车间废水排放口中总铬浓度及DW003废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中相应标准限值要求，其中化学需氧量、生化需氧量须满足电子信息产业园污水厂进水水质要求。DW001废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中相应标准限制要求及龙泉河污水处理厂进水水质要求。 按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”原则，运行过程加强管理，做好分区防渗，防止污染地下水和土壤，对工程设计、施工相关档案资料存档。 （二）严格落实大气污染防治措施。项目所有生产设备均密闭，项目各工序机台均设置反应腔体，光掩模版基板在机台腔体内进行加工，腔体保持密闭、负压状态。经“POU 电浆水洗”预处理后的干蚀刻工序废气及湿蚀刻、光阻剥离后及缺陷修补后清洗（酸液喷淋及清洗）、缺陷修补等工序废气、光阻剥离后及修补检查后清洗（碱液喷淋及清洗）工序废气、光阻涂布及烘干、烘烤、光阻剥离后及缺陷修补后清洗（氧离子化电浆处理）等工序废气及设备日常维护废气经相应收集后，依托芯恩8英寸厂房废气处理设施进行处理。废气主要污染物排放浓度、排放速率执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）、《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822—2019）、《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）、《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）及《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中相应标准限值要求，二噁英类排放浓度参 (略) 《电子工业大气污染物排放标准》（DB11/1631-2019）。规范废气收集处理设施，减少无组织排放，确保厂界无组织排放满足限值要求。 项目须严格按照环评报告要求和实际情况定期更换滤芯等耗材，留存详细的购买、更换、处置台账，台账至少保存3年。 （三）严格落实噪声污染防治措施。设备须合理布局，采取减振、隔声等有效的噪声污染防治措施。厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。 （四）严格落实固体废物污染防治措施。化学品废包装、废手套、抹布、废滤芯、废灯管、废光刻胶等危险废物，分类暂存于芯恩危废暂存间（127.56m2），废光刻胶暂存于废光刻胶储罐，委托有资质单位处置；废基板、一般废包装材料等一般工业固体废物分类暂存于芯恩一般固废间（786.25m2），外售综合利用；生活垃圾分类收集后，由环卫部门定期清运。 各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。一般工业固体废物贮存过程应满足相应防扬散、防流失、防渗漏等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，按规范建立一般工业固体废物和危险废物固体废物污染环境防治责任制度、管理台账，确保可溯源并存档备查。 （五）严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，编制突发环境事件应急预案并向我局备案。严格依据标准规范建设环境污染防治设施，健全内部管理责任制度，依法依规对污染防治设施和项目开展安全评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产行业主管部门。配备充足的环境应急物资，加强应急培训和演练，有效防范、科学处置突发环境事件。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局西海岸新区分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | (略) 西海岸新区双珠路166号2号楼3楼 | |
| 邮政编码： | * | |
| 项目名称： | 光掩模版及相关业务研发生产项目（一期） | |
| 建设地点： | (略) 西海岸新区红石崖街道办事处山王河路1088 号 | |
| 建设单位： | 擎方科技（青岛）有限公司 | |
| 环境影响评价机构： | 青岛 (略) | |
| 公示时间： | 2023年11月08日 至 2023年11月14日 | |
| 项目概况： | 项目位于青岛西海岸新区红石崖街道山王河路1088 号，租赁芯恩（青岛） (略) 现有8英寸厂房1F东北区域进行建设，占地面积2300m2。项目主要建设光掩模版生产线一条，主要生产设备设施包括电子束曝光机4台、烘烤显影机1台、干蚀刻机2台、湿蚀刻机1台、光阻涂布机1台、清洗机2台等，主要原辅材料为二氧化硅基板6000片/a、薄膜6000片/a、显影液30.07t/a、蚀刻液（含7%高氯酸）1.32t/a、氯气273.64kg/a、四氯化碳3.14kg/a、等。项目建成后，可年产传统型光掩模版600片、相位仪型光掩模版5400片。 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | 二、项目设计、建设和运行过程中要认真落实《报告表》提出的各项环境污染防治和风险防范措施，并做好以下工作： （一）严格落实水污染防治措施。项目产生的含铬废水、含氨废水、含氟废水、酸碱中和废水经单独管道收集后一并依次经过依托芯恩的污水处理系统处理， (略) 废水总排口 DW003 排入专用管道进入拟建的电子信息产业园污水处理厂处理； (略) 排口DW (略) 政污水管网进入龙泉河污水处理厂处理，含铬废水设置单独的车间废水排放口并安装在线监测装置。车间废水排放口中总铬浓度及DW003废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中相应标准限值要求，其中化学需氧量、生化需氧量须满足电子信息产业园污水厂进水水质要求。DW001废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中相应标准限制要求及龙泉河污水处理厂进水水质要求。 按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”原则，运行过程加强管理，做好分区防渗，防止污染地下水和土壤，对工程设计、施工相关档案资料存档。 （二）严格落实大气污染防治措施。项目所有生产设备均密闭，项目各工序机台均设置反应腔体，光掩模版基板在机台腔体内进行加工，腔体保持密闭、负压状态。经“POU 电浆水洗”预处理后的干蚀刻工序废气及湿蚀刻、光阻剥离后及缺陷修补后清洗（酸液喷淋及清洗）、缺陷修补等工序废气、光阻剥离后及修补检查后清洗（碱液喷淋及清洗）工序废气、光阻涂布及烘干、烘烤、光阻剥离后及缺陷修补后清洗（氧离子化电浆处理）等工序废气及设备日常维护废气经相应收集后，依托芯恩8英寸厂房废气处理设施进行处理。废气主要污染物排放浓度、排放速率执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）、《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822—2019）、《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）、《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）及《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中相应标准限值要求，二噁英类排放浓度参 (略) 《电子工业大气污染物排放标准》（DB11/1631-2019）。规范废气收集处理设施，减少无组织排放，确保厂界无组织排放满足限值要求。 项目须严格按照环评报告要求和实际情况定期更换滤芯等耗材，留存详细的购买、更换、处置台账，台账至少保存3年。 （三）严格落实噪声污染防治措施。设备须合理布局，采取减振、隔声等有效的噪声污染防治措施。厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。 （四）严格落实固体废物污染防治措施。化学品废包装、废手套、抹布、废滤芯、废灯管、废光刻胶等危险废物，分类暂存于芯恩危废暂存间（127.56m2），废光刻胶暂存于废光刻胶储罐，委托有资质单位处置；废基板、一般废包装材料等一般工业固体废物分类暂存于芯恩一般固废间（786.25m2），外售综合利用；生活垃圾分类收集后，由环卫部门定期清运。 各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。一般工业固体废物贮存过程应满足相应防扬散、防流失、防渗漏等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，按规范建立一般工业固体废物和危险废物固体废物污染环境防治责任制度、管理台账，确保可溯源并存档备查。 （五）严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，编制突发环境事件应急预案并向我局备案。严格依据标准规范建设环境污染防治设施，健全内部管理责任制度，依法依规对污染防治设施和项目开展安全评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产行业主管部门。配备充足的环境应急物资，加强应急培训和演练，有效防范、科学处置突发环境事件。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局西海岸新区分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
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| 通讯地址： | (略) 西海岸新区双珠路166号2号楼3楼 | |
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