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1. 项 目 与 规 划 的 相 容 性上 海 晟 格 锐 半 导 体 材 料 有 限 公 司 于 2022 年 6 月 22 日 成 立 ， 注 册 资 本 1000万 元 ， 为 有 限 责 任 公 司 （ 自 然 人 投 资 或 控 股 的 法 人 独 资 ） ， 上 海 强 华 实 业 股 份 有限 公 司 出 资 100%。上 海 晟 格 锐 半 导 体 材 料 有 限 公 司 于 2022年 6月 22日 收 购 位 于 上 海 市 金 山 区亭 卫 公 路 3312 号 厂 区 （ 占 地 面 积 10825m 2） 现 有 设 施 。 该 厂 区 于 2010 年 4 月 26日 以 上 海 强 华 实 业 股 份 有 限 公 司 的 名 义 ， 通 过 石 英 玻 璃 制 品 生 产 建 设 项 目 环 境影 响 报 告 表 金 山 区 环 境 保 护 局 审 批 意 见 ， 批 文 号 为 ： 金 环 许 2010 75 号 ，产 品 规 模 为 年 产 26.4t 石 英 玻 璃 制 品 并 于 2015 年 12 月 3 日 通 过 关 于 石 英 玻璃 制 品 生 产 建 设 项 目 环 境 保 护 竣 工 验 收 的 审 批 意 见 ， 批 文 号 位 ： 金 环 验 2015
208 号 。上 海 晟 格 锐 半 导 体 材 料 有 限 公 司 收 购 位 于 上 海 市 金 山 区 亭 卫 公 路 3312 号 厂区 （ 占 地 面 积 10825m 2） 现 有 设 施 ， 拟 投 资 2700 万 元 ， 在 现 有 车 间 内 ， 调 整 加工 区 域 ， 添 置 新 设 备 和 新 工 艺 ， 开 展 生 产 。 公 司 产 能 为 半 导 体 8 英 寸 用 高 纯 高 精 度 石 英 器 件 为 300 套 /a 半 导 体 12 英 寸 用 高 纯 高 精 度 石 英 器 件 为 50 套/a 半 导 体 用 高 纯 高 精 度 治 具 类 石 英 器 件 20000 件 /a， 以 下 简 称 本 项 目 。本 项 目 位 于 上 海 市 金 山 区 漕 泾 镇 亭 卫 公 路 3312 号 ， 项 目 所 属 地 为 上 海 市 金山 工 业 区 JSS3-0407 单 元 （ 漕 泾 工 业 园 ） ， 属 于 上 海 市 104 工 业 区 范 围 。 园 区主 导 产 业 为 生 物 医 药 新 材 料 装 备 制 造 以 及 数 字 配 套 服 务 检 验 检 测 服 务 研发 设 计 服 务 等 生 产 性 服 务 业 。 本 项 目 建 设 基 本 符 合 金 山 工 业 区 的 规 划 。
2. 项 目 地 区 环 境 质 量 现 状根 据 2022 年 金 山 区 生 态 环 境 质 量 状 况 公 报 ， 2022 年 度 金 山 区 环 境 质 量状 况 如 下 ：2.1 环 境 空 气 质 量 现 状2022 年 ， 金 山 区 生 态 环 境 质 量 总 体 持 续 改 善 。 环 境 空 气 中 PM2.5和 PM10年均 浓 度 均 达 到 历 年 最 低 值 环 境 空 气 质 量 方 面 ， 全 区 PM
2.5年 均 浓 度 为 27 微 克 /立 方 米 ， 同 比 下 降 2 微克 /立 方 米 PM10年 均 浓 度 为 36 微 克 /立 方 米 ， 同 比 下 降 7 微 克 /立 方 米 NO2年均 浓 度 为 25 微 克 /立 方 米 ， 同 比 下 降 3 微 克 /立 方 米 SO2年 均 浓 度 为 6 微 克 /立 方
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米 。 CO24 小 时 平 均 第 95 百 分 位 数 浓 度 为 0.9 毫 克 /立 方 米 。 受 高 温 等 因 素 影响 ， 臭 氧 日 最 大 8 小 时 滑 动 平 均 值 第 90 百 分 位 数 为 160 微 克 /立 方 米 ， 同 比 上升 8 微 克 /立 方 米 环 境 空 气 质 量 指 数 （ AQI） 优 良 率 为 86.6%， 同 比 下 降 3.8 个百 分 点 。 表 1 区 域 空 气 质 量 评 价 表污染物年评价指标标准值（ g/m
3）现状浓度（ug/m 3）占标率（%）达标情况PM2.5年平均浓度35 27 77.14达标NO2年平均浓度40 25 62.50达标PM10年平均浓度70 36 51.43达标O3日最大8小时平均第90百分位数160 160 100.00达标SO2年平均浓度60 6 10.00达标CO 24小时平均第95百分位数4000 900 22.50达标依 据 建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 编 制 技 术 指 南 （ 污 染 影 响 类 ） （ 试 行 ） 的 要求 ， 区 域 环 境 质 量 现 状 排 放 国 家 地 方 环 境 空 气 质 量 标 准 中 有 标 准 限 值 要 求
的 特 征 污 染 物 使 ， 引 用 建 设 项 目 周 边 5 千 米 范 围 内 近 三 年 的 现 有 监 测 数 据 ， 无 相关 数 据 的 选 择 当 季 主 导 风 向 下 风 向 1 个 点 位 补 充 不 少 于 3 天 的 监 测 数 据 。 为 此 ， 上 海 晟 格 锐 半 导 体 材 料 有 限 公 司 委 托 亦 海 检 测 技 术 （ 上 海 ） 有 限 公 司在 主 导 风 向 下 风 向 （ 即 厂 区 外 西 北 角 ） 布 置 一 个 点 ， 于 2022 年 7 月 11 日 至 7 月13 日 ， 连 续 三 天 ， 监 测 环 境 空 气 中 氟 化 物 浓 度 ， 报 告 编 号 ： YH*HG。表 2 监 测 期 间 气 象 观 测 记 录采样日期采样时间天气状况大气压力（kPa）气温（ ）湿度（%RH）风向风速（m /s）
2022年7月11日02:00-03:00晴100.8 29.3 59东南风2.408:00-09:00晴101.0 31.0 59东南风2.014:00-15:00晴100.8 35.8 59东南风1.720:00-21:00晴101.0 32.6 59东南风2.300:00-20:00晴100.8 31.9 59东南风-2022 年7 月 12 日 02:00-03:00晴100.9 30.6 61东南风2.308:00-09:00晴100.9 31.3 61东南风2.214:00-15:00晴100.8 39.3 61东南风1.720:00-21:00晴100.7 31.6 61东南风2.4
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00:00-20:00晴100.8 33.1 61东南风-2022年7月13日02:00-03:00晴100.8 31.0 60东南风2.308:00-09:00晴100.8 29.8 60东南风2.314:00-15:00晴100.8 37.3 60东南风2.420:00-21:00晴100.6 31.0 60东南风2.500:00-20:00晴100.8 32.9 60东南风-表 3 监 测 结 果 及 达 标 分 析检测点位采样日期采样时间检测结果（ug/m
3）参考限值（ug/m 3）达标分析 1 厂区西北角围墙外2米2022.07.11 02:00-03:00 0.644 20达标08:00-09:00 0.636 20达标14:00-15:00 0.737 20达标20:00-21:00 0.603 20达标00:00-20:00 0.146 7达标1 厂区西北角围墙外2米2022.07.12 02:00-03:00 0.629 20达标08:00-09:00 0.519 20达标14:00-15:00 0.622 20达标20:00-21:00 0.634 20达标00:00-20:00 0.122 7达标1 厂区西北角
围墙外2米2022.07.13 02:00-03:00 0.636 20达标08:00-09:00 0.629 20达标14:00-15:00 0.636 20达标20:00-21:00 0.605 20达标00:00-20:00 0.122 7达标从 上 表 数 据 分 析 可 知 ， 项 目 所 在 地 ， 环 境 空 气 中 氟 化 物 浓 度 满 足 环 境 空 气质 量 标 准 （ GB3095-2012） 表 A.1 参 考 浓 度 限 值 二 级 。2.2 地 表 水 环 境地 表 水 环 境 质 量 方 面 ， 全 区 64 个 监 测 断 面 水 环 境 质 量 功 能 区 达 标 率 96.9%，同 比 上 升 4.7 个 百 分 点 。 其 中 ， 类 水 质 断 面 57 个 占 比 89.1%， 类 水 质 断面 7 个 占 比 10.9%， 无 类 和 劣 类 断 面 。 区 内 东 部 主 要 河 流 张 泾 河 龙 泉 港 紫 石 泾 达 到 相 应 水 功 能 区 要 求 。
2.3 声 （ 振 动 ） 环 境声 环 境 质 量 方 面 ， 区 域 噪 声 和 道 路 交 通 噪 声 昼 间 夜 间 大 部 分 都能 达 到 较 好 等 级 以 上 ， 各 类 功 能 区 噪 声 除 一 类 功 能 区 夜 间 外 均 达到 相 应 功 能 类 别 的 标 准 要 求 。
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3. 项 目 建 设 期 对 环 境 的 影 响 结 论本 项 目 为 扩 建 项 目 。 无 土 建 工 程 ， 在 设 备 安 装 施 工 时 ， 将 产 生 少 量 扬 尘 工程 垃 圾 噪 声 等 污 染 物 ， 拟 采 取 如 下 措 施 。 安 装 施 工 过 程 中 ， 在 严 格 执 行 有 关 标准 法 规 的 前 提 下 ， 并 落 实 本 环 评 提 出 的 防 治 措 施 后 ， 施 工 期 对 环 境 的 影 响 是 有 限的 暂 时 的 ， 不 会 对 周 围 环 境 造 成 影 响 。4. 项 目 运 行 期 对 环 境 的 影 响 结 论4.1 废 气 对 环 境 影 响 车 间 2， 清 洗 间 设 有 1 台 刻 蚀 机 ， 用 于 石 英 部 件 表 面 处 理 ， 刻 蚀 机 全 密 闭 ，含 1 个 氢 氟 酸 槽 （ 0.45m 0.3m ） ， 使 用 氢 氟 酸 15%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 1 个 硝 酸槽 （ 0.45m 0.3m ） ， 使 用 硝 酸 10%， 工 作 温 度 为 常 温 刻 蚀 品 化 洗 间 按 千 级 洁 净
室 设 置 ， 内 设 1 台 刻 蚀 机 ， 内 部 内 含 1 个 氢 氟 酸 槽 （ 0.45m 0.3m ） ， 使 用 氢 氟 酸15%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 ， 1 个 硝 酸 槽 （ 0.45m 0.3m ） ， 使 用 硝酸 10%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 清 洗 间 的 刻 蚀 机 和 刻 蚀 品 化 洗 间 产生 的 酸 性 气 体 由 风 机 抽 风 引 入 一 套 （ 1 ） 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 ， 设 置 风 量 为 13200m 3/h 正 常 情 况 下 ， 清 洗 间 的 刻 蚀 机 和 刻 蚀 品 化 洗 间 内 部 均 处 于 负 压 ， 酸 性 气 体 捕 集 率为 100% 酸 性 气 体 主 要 含 氟 化 物 和 氮 氧 化 物 ， 氟 化 物 产 生 量 按 72g/m 2.h 计 ， 氢氟 酸 槽 总 面 积 为 0.27m 2， 氟 化 物 产 生 量 为 0.0194kg/h 氮 氧 化 物 产 生 量 按10.8g/m
2.h 计 ， 硝 酸 槽 总 面 积 为 0.27m 2， 氮 氧 化 物 产 生 量 为 0.0029kg/h 年 工 作时 间 为 2400h。氢 氟 酸 和 硝 酸 易 溶 于 水 ， 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 洗 涤 效 果 按 80%计 ， 净 化 后 的 废 气通 过 1 根 15 米 高 排 气 筒 （ DA001） 排 入 大 气 。 DA001 排 放 的 氟 化 物 氮 氧 化 物均 满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目排 放 限 值 （ 氟 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 5m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.073kg/h 氮 氧 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 200m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.47kg/h） 。 车 间 2， 1 台 三 菱 激 光 切 割 机 ， 1 台 数 控 激 光 切 割 机 ， 切 割 产 生 粉 尘 ， 依据 工 业 源 产 排 污 系 数 手 册 （ 2010 修 订 ） 中 册 3142 技 术 玻 璃 制 品 制 造 业 产 排污 系 数 表 ， 石 英 玻 璃 管 工 业 粉 尘 产 污 系 数 为 2.57kg/t-产 品 按 产 品 约 45t/a 计 ，
年 产 生 粉 尘 0.1156t/a 由 各 自 配 套 1 台 烟 尘 净 化 器 净 化 处 理 后 室 内 排 放 ， 由 于 产生 的 工 业 粉 尘 比 重 比 空 气 大 ， 易 于 在 室 内 自 然 沉 降 ， 每 天 有 工 人 清 扫 ， 自 然 沉 降
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率 按 80%计 ， 其 余 20%通 过 门 窗 以 无 组 织 形 式 排 入 外 环 境 。 车 间 2， CNC三 车 间 ， 9台 加 工 中 心 ， 使 用 火 花 油 ， 每 台 配 套 油 雾 净 化 器 ，净 化 后 废 气 进 入 楼 顶 隔 层 CNC一 车 间 ， 9台 加 工 中 心 ， 使 用 火 花 油 ， 每 台 配 套油 雾 净 化 器 ， 净 化 后 废 气 进 入 楼 顶 隔 层 开 槽 车 间 ， 5台 机 床 ， 使 用 水 溶 性 切 削液 ， 配 套 设 置 一 套 负 离 子 发 生 器 收 集 油 雾 ， 净 化 后 废 气 进 入 楼 顶 隔 层 2台 线 锯 ，使 用 火 花 油 ， 每 台 配 套 油 雾 净 化 器 ， 净 化 后 废 气 进 入 楼 顶 隔 层 楼 顶 隔 层 为 全 密闭 空 间 ， 在 楼 顶 隔 层 的 顶 部 设 置 排 放 口 （ DA002） ， 统 一 排 放 火 花 油 ， 外 观 与 形 状 为 清 澈 透 明 液 体 ， 闪 点 （ 开 口 ） 100 密 度 （ 25 ）为 0.79g/cm
2。25台 加 工 设 备 工 作 时 间 为 2400h/a。25 台 加 工 设 备 配 套 20 台 油 雾 净 化 器 和 一 套 负 离 子 发 生 器 收 集 油 雾 ， 每 台 风量 1000m /h， 油 雾 回 收 率 为 95%以 上 排 放 浓 度 为 0.5m g/m 3， DA002 排 放 的 油雾 满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目排 放 限 值 （ 油 雾 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 5m g/m 3） 。 车 间 1， 制 棉 间 设 置 2 台 石 英 制 棉 设 备 （ 1 用 1 备 ） ， 制 棉 原 料 为 石 英 棒 ，每 年 制 2kg/a 石 英 棉 ， 采 用 棒 吹 浮 法 生 产 ， 即 将 石 英 棒 采 用 高 温 高 速 火 焰 融 化 后将 石 英 棒 吹 成 石 英 棉 （ 采 用 氢 氧 燃 烧 火 焰 ） ， 制 备 过 程 产 生 石 英 棉 ， 配 套 设 置二 级 滤 网 过 滤 后 排 放 通 过 1 根 15 米 高 排 气 筒 （ DA003） 排 入 大 气 ， 工 作 时 间 为
16h/a DA002 排 放 的 石 英 粉 尘 满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015）表 1 大 气 污 染 物 项 目 排 放 限 值 （ 二 氧 化 硅 粉 尘 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 20m g/m 3，最 高 允 许 排 放 速 率 0.8kg/h。 车 间 1， 研 磨 间 , 1台 喷 砂 机 ， 依 据 工 业 源 产 排 污 系 数 手 册 （ 2010修 订 ）中 册 3142 技 术 玻 璃 制 品 制 造 业 产 排 污 系 数 表 ， 石 英 玻 璃 管 工 业 粉 尘 产 污 系 数为 2.57kg/t-产 品 按 产 品 约 45t/a计 ， 年 产 生 粉 尘 0.1156t/a 该 喷 砂 机 配 套 设 置 布袋 除 尘 器 ， 除 尘 达 标 后 废 气 ， 由 1根 排 气 筒 （ DA004） 排 入 大 气 工 作 时 间 为 2400h/a。DA004排 放 的 石 英 粉 尘 满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015）表 1 大 气 污 染 物 项 目 排 放 限 值 （ 二 氧 化 硅 粉 尘 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 20m g/m 3，最 高 允 许 排 放 速 率 0.8kg/h。
车 间 1， 十 万 级 管 类 化 洗 间 ， 含 1个 氢 氟 酸 槽 （ 3.4m 0.5m ） ， 使 用 氢 氟 酸
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15%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 ， 1个 硝 酸 槽 （ 3.4m 0.5m ） ， 使 用 硝 酸10%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 十 万 级 管 类 化 洗 间 产 生 的 酸 性 气 体 由风 机 抽 风 引 入 一 套 （ 2 ） 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 ， 设 置 风 量 为 13200m 3/h 正 常 情 况 下 ，十 万 级 管 类 化 洗 间 内 部 处 于 负 压 ， 酸 性 气 体 捕 集 率 为 100% 酸 性 气 体 主 要 含 氟化 物 和 氮 氧 化 物 ， 氟 化 物 产 生 量 按 72g/m 2.h计 ， 氢 氟 酸 槽 总 面 积 为 1.7m 2， 氟 化 物产 生 量 为 0.1224kg/h 氮 氧 化 物 产 生 量 按 10.8g/m 2.h计 ， 硝 酸 槽 总 面 积 为 1.7m 2，氮 氧 化 物 产 生 量 为 0.0184kg/h 年 工 作 时 间 为 2400h。氢 氟 酸 和 硝 酸 易 溶 于 水 ， 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 效 果 按 80%计 ， 净 化 后 的 废 气 通 过1 根 15 米 高 排 气 筒 （ DA005） 排 入 大 气 。 DA001 排 放 的 氟 化 物 氮 氧 化 物 均 满足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目 排 放
限 值 （ 氟 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 5m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.073kg/h 氮 氧化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 200m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.47kg/h） 。由 于 生 产 工 艺 需 要 ， 有 时 候 将 硝 酸 改 为 采 用 盐 酸 （ 氯 化 氢 含 量 5% 8%） ，盐 酸 槽 总 面 积 为 1.7m 2， 氯 化 氢 产 生 量 按 15.8g/m 2.h 计 ， 产 生 量 为 0.0269kg/h 年 工 作 时 间 为 2400h。 DA001 排 放 的 氯 化 氢 能 满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目 排 放 限 值 （ 氯 化 氢 ， 最 高 允 许 排 放 浓度 10m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.18kg/h） 。 车 间 1， 车 间 1， 十 万 级 部 品 化 洗 间 ， 含 1个 氢 氟 酸 槽 （ 2.5m 0.5m ） ， 使用 氢 氟 酸 15%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 ， 1个 硝 酸 槽 （ 2.5m 0.5m ） ，使 用 硝 酸 10%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 十 万 级 部 品 化 洗 间 产 生 的 酸
性 气 体 由 风 机 抽 风 引 入 一 套 （ 3 ） 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 ， 设 置 风 量 为 4500m 3/h 正 常情 况 下 ， 十 万 级 部 品 化 洗 间 内 部 处 于 负 压 ， 酸 性 气 体 捕 集 率 为 100% 酸 性 气 体主 要 含 氟 化 物 和 氮 氧 化 物 ， 氟 化 物 产 生 量 按 72g/m 2.h计 ， 氢 氟 酸 槽 总 面 积 为 1.25m 2，氟 化 物 产 生 量 为 0.09kg/h 氮 氧 化 物 产 生 量 按 10.8g/m 2.h计 ， 硝 酸 槽 总 面 积 为1.25m 2， 氮 氧 化 物 产 生 量 为 0.0135kg/h 年 工 作 时 间 为 2400h。氢 氟 酸 和 硝 酸 易 溶 于 水 ， 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 洗 涤 效 果 按 80%计 ， 净 化 后 的 废 气通 过 1根 15米 高 排 气 筒 （ DA006） 排 入 大 气 。 DA001排 放 的 氟 化 物 氮 氧 化 物 均满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目 排放 限 值 （ 氟 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 5m g/m
3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.073kg/h 氮
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氧 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 200m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.47kg/h） 。 车 间 1， 车 间 1， 十 万 级 最 终 化 洗 间 ， 含 1个 氢 氟 酸 槽 （ 3.4m 0.5m ） ， 使用 氢 氟 酸 15%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 ， 1个 硝 酸 槽 （ 3.4m 0.5m ） ，使 用 硝 酸 10%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 十 万 级 最 终 化 洗 间 产 生 的 酸性 气 体 由 风 机 抽 风 引 入 一 套 （ 3 ） 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 ， 设 置 风 量 为 13200m 3/h 正常 情 况 下 ， 十 万 级 最 终 化 洗 间 内 部 处 于 负 压 ， 酸 性 气 体 捕 集 率 为 100% 酸 性 气体 主 要 含 氟 化 物 和 氮 氧 化 物 ， 氟 化 物 产 生 量 按 72g/m 2.h计 ， 氢 氟 酸 槽 总 面 积 为1.7m
2， 氟 化 物 产 生 量 为 0.1224kg/h 氮 氧 化 物 产 生 量 按 10.8g/m 2.h计 ， 硝 酸 槽 总面 积 为 1.7m 2， 氮 氧 化 物 产 生 量 为 0.0184kg/h 年 工 作 时 间 为 2400h。氢 氟 酸 和 硝 酸 易 溶 于 水 ， 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 洗 涤 效 果 按 60%计 ， 净 化 后 的 废 气通 过 1根 15米 高 排 气 筒 （ DA007） 排 入 大 气 。 DA001排 放 的 氟 化 物 氮 氧 化 物 均满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目 排放 限 值 （ 氟 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 5m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.073kg/h 氮氧 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 200m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.47kg/h） 。 3套 石 英 器 件 水 磨 ， 配 套 设 置 3套 水 淋 式 除 尘 机 ， 均 置 于 室 内 工 作 状 态 为石 英 器 件 在 淋 水 状 态 下 水 磨 ， 正 常 情 况 下 产 生 的 粉 尘 含 水 ， 并 伴 随 淋 水 进 入 水 池 ，无 粉 尘 逸 散 。
4.2 废 水 对 环 境 影 响生 活 污 水 排 污 系 数 以 生 活 用 水 量 90%计 ， 员 工 生 活 日 常 用 水 的 污 水 （ W1）产 生 量 约 为 2565t/a。生 产 废 水 ： 包 括 车 间 1 清 洗 废 水 （ W2） 车 间 2 清 洗 废 水 （ W3） 车 间 1，旋 盘 间 直 接 冷 却 排 水 （ W4） 水 磨 研 磨 废 水 （ W5） 洗 涤 塔 废 水 （ W6） 工 业 洗衣 机 废 水 （ W7） 以 及 纯 水 制 备 产 生 的 浓 水 （ W8） ， 合 计 排 放 量 为 20250t/a。生 产 废 水 首 先 进 入 调 节 池 ， 在 调 节 池 进 行 水 量 PH 值 调 节 均 衡 水 质 ， 出 水由 提 升 泵 提 升 进 入 混 凝 沉 淀 池 ， 在 混 凝 沉 淀 池 通 过 投 加 PAC PAM 药 剂 进 行 预处 理 沉 淀 ， 出 水 自 流 入 气 浮 装 置 ， 气 浮 就 是 利 用 高 压 状 况 下 溶 入 大 量 气 体 的 水 作为 工 作 液 体 ， 在 骤 然 减 压 时 ， 通 过 释 放 器 ， 释 放 出 无 数 小 气 泡 ， 与 经 过 混 合 反 应
的 水 中 杂 质 粘 附 在 一 起 ， 使 其 视 比 重 小 于 1 而 上 浮 。 通 过 刮 渣 机 去 除 。 此 中 投 加PAC 和 脱 色 药 剂 ， 与 PAC 药 液 充 分 混 合 后 的 污 水 进 入 反 应 室 进 行 反 应 。 主 要 起
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到 絮 凝 作 用 ， 使 微 小 颗 粒 很 快 形 成 较 大 颗 粒 的 絮 凝 体 ， 气 浮 的 作 用 是 去 除 生 化 出水 中 衰 老 的 生 物 膜 和 部 分 胶 体 ， 气 浮 出 水 流 入 清 水 池 ， 清 水 池 出 水 达 标 排 放 。本 项 目 总 排 口 排 放 水 中 污 染 因 子 的 排 放 浓 度 均 低 于 电 子 工 业 水 污 染 物 排 放标 准 （ GB39731-2020） 表 1 水 污 染 物 排 放 限 值 要 求 本 项 目 单 位 产 品 排 水 量 满足 单 位 产 品 基 准 排 水 量 （ 电 子 工 业 水 污 染 物 排 放 标 准 （ GB39731-2020） 表 2中 的 限 值 ） 。4.3 固 体 废 弃 物 对 环 境 影 响（ 1） 固 体 废 物 分 类 收 集根 据 中 华 人 民 共 和 国 固 体 废 物 污 染 环 境 防 治 法 要 求 ， 项 目 固 体 废 物 分 类
收 集 和 处 理 ， 危 险 废 物 按 照 其 组 分 及 特 性 进 行 分 类 收 集 设 立 台 帐 并 安 全 处 理 处置 。 （ 2） 危 险 废 物 贮 存 设 施项 目 产 生 的 各 类 危 险 废 物 均 分 类 收 集 ， 并 用 相 容 容 器 盛 装 ， 危 险 废 物 不 能 及时 外 送 时 ， 分 区 暂 存 于 公 司 危 废 暂 存 间 内 ， 定 期 委 托 资 质 单 位 清 运 进 行 最 终 处 置 。根 据 危 险 废 物 贮 存 污 染 控 制 标 准 （ GB18597-2001） ， 危 险 废 物 贮 存 场所 及 贮 存 过 程 应 按 以 下 要 求 采 取 相 关 污 染 防 治 措 施 ： 危 险 废 物 应 分 类 收 集 和 存 放 危 险 废 物 应 按 性 质 形 态 采 用 合 适 的 相 容 容 器 存 放 ， 禁 止 将 不 相 容 的 危 险
废 物 装 入 同 一 容 器 内 装 载 液 体 危 险 废 物 的 容 器 内 须 留 足 够 空 间 ， 容 器 顶 部 与 液 体 表 面 之 间 保 留100 毫 米 以 上 的 空 间 ， 容 器 必 须 完 好 无 损 危 险 废 物 贮 存 场 所 的 基 础 必 须 防 渗 ， 铺 设 的 防 渗 层 防 渗 性 能 不 得 低 于 1m厚 渗 透 系 数 10-7cm /s 粘 土 层 的 防 渗 性 能 ， 或 2m m 厚 高 密 度 聚 * 烯 ， 或 至 少2m m 厚 的 其 它 人 工 材 料 ， 渗 透 系 数 10-10cm /s 贮 存 场 所 须 做 好 围 堰 或 地 沟 等 防 渗 漏 防 风 防 雨 防 晒 防 火 等 措 施 ，地 面 须 硬 化 耐 腐 蚀 无 裂 隙 ， 贮 存 区 内 须 有 泄 漏 液 体 收 集 装 置 ， 并 配 备 相 容 的吸 附 材 料 等 应 急 物 资
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盛 装 危 险 废 物 的 容 器 上 必 须 粘 贴 符 合 标 准 的 标 签 ， 危 险 废 物 堆 放 点 设 置 警示 识 定 期 对 危 险 废 物 包 装 容 器 进 行 检 查 ， 发 现 破 损 ， 应 及 时 采 取 措 施 清 理 更 换 须 作 好 危 险 废 物 情 况 的 记 录 ， 记 录 上 须 注 明 危 险 废 物 的 名 称 来 源 数 量 特 性 和 包 装 容 器 的 类 别 入 库 日 期 存 放 位 置 废 物 出 库 日 期 及 接 收 单 位 名 称 严 禁 将 危 险 废 物 混 入 非 危 险 废 物 中 贮 存 。措 施 落 实 后 ， 处 置 率 100%， 对 外 环 境 基 本 无 影 响 。4.4 噪 声 对 环 境 影 响本 项 目 噪 声 主 要 来 源 于 超 声 波 清 洗 机 三 菱 激 光 切 割 机 数 控 激 光 切 割 机
加 工 中 心 机 床 数 控 车 床 无 心 磨 内 外 圆 磨 线 锯 立 磨 带 锯 水 刀 套砣 机 污 水 处 理 装 置 风 机 水 淋 式 除 尘 机 石 英 制 棉 设 备 扩 管 机 玻 璃 车 床 喷 砂 机 研 磨 机 工 业 洗 衣 机 机 器 人 抛 光 设 备 双 重 管 组 立 机 纯 水 制 备 空压 机 制 氮 机 约 克 热 泵 机 组 等 设 备 在 运 行 时 产 生 的 噪 声 ， 依 据 噪 声 控 制 工 程 ，单 机 噪 声 值 范 围 在 60 85dB（ A） 。本 项 目 选 用 低 噪 声 设 备 ， 从 源 头 降 低 噪 声 主 要 噪 声 设 备 均 布 置 在 厂 房 内 ，合 理 布 局 ， 通 过 厂 房 隔 声 作 用 进 行 隔 声 设 备 基 础 进 行 隔 振 风 机 采 用 低 噪 声 设备 。 上 述 噪 声 经 隔 声 消 声 距 离 衰 减 后 ， 厂 界 噪 声 可 达 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪声 排 放 标 准 (GB12348-2008) 3 类 功 能 区 标 准 。
4.5 环 境 风 险 分 析本 项 目 原 辅 材 料 不 涉 及 重 点 环 境 管 理 危 险 化 学 品 目 录 上 海 市 禁 止 限制 和 控 制 危 险 化 学 品 目 录 （ 第 三 批 ） (第 一 版 ) 首 批 重 点 监 管 的 危 险 化 学 品 名录 第 二 批 重 点 监 管 的 危 险 化 学 品 名 录 优 先 控 制 化 学 品 名 录 （ 第 一 批 ） 化 学 品 环 境 风 险 防 控 十 二 五 规 划 （ 环 发 2013 20 号 ） 中 重 点 防 控 化 学 品 。本 项 目 风 险 潜 势 为 I， 环 境 风 险 影 响 较 小 。 项 目 可 能 发 生 的 风 险 事 故 为 火 灾事 故 ， 建 设 单 位 在 加 强 环 境 风 险 管 理 ， 对 在 职 员 工 进 行 相 关 知 识 培 训 前 提 下 ， 可确 保 发 生 风 险 事 故 时 不 会 危 及 到 周 围 敏 感 目 标 及 污 染 外 环 境 。 因 此 ， 本 项 目 的 环境 风 险 在 可 接 受 的 范 围 内 。5. 总 量 控 制 分 析
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本 项 目 为 新 建 项 目 ， 项 目 排 放 氮 氧 化 物 烟 粉 尘 ， 排 放 生 产 废 水 。表 4 公 司 总 量 控 制 指 标 统 计 表 （ 单 位 ： t/a）总量控制污染物名称预测新增排放量 以新带老 减排量 新增总量 削减替代量削减比例（等量/倍量）消减替代来源废气颗粒物0.0196 0 0.0196NOx 0.0255 0 0.0255废水COD
Cr 8.3288 0 8.3288NH3-N 0.8431 0 0.8431TN 1.1267 0 1.1267TP 0.1404 0 0.14046. 总 结 论综 上 所 述 ， 本 项 目 符 合 国 家 相 关 产 业 政 策 和 当 地 规 划 。 项 目 投 运 后 ， 排 放 的污 染 物 将 得 到 妥 善 处 理 ， 环 保 治 理 措 施 合 理 可 行 。 加 强 环 保 管 理 和 监 测 ， 落 实 各项 污 染 治 理 措 施 实 施 ， 确 保 全 部 污 染 物 达 标 排 放 前 提 下 ， 对 当 地 及 区 域 的 环 境 质量 影 响 有 限 ， 地 区 环 境 质 量 不 发 生 级 别 改 变 ， 项 目 从 环 境 保 护 角 度 是 可 行 的 。
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1. 项 目 与 规 划 的 相 容 性上 海 晟 格 锐 半 导 体 材 料 有 限 公 司 于 2022 年 6 月 22 日 成 立 ， 注 册 资 本 1000万 元 ， 为 有 限 责 任 公 司 （ 自 然 人 投 资 或 控 股 的 法 人 独 资 ） ， 上 海 强 华 实 业 股 份 有限 公 司 出 资 100%。上 海 晟 格 锐 半 导 体 材 料 有 限 公 司 于 2022年 6月 22日 收 购 位 于 上 海 市 金 山 区亭 卫 公 路 3312 号 厂 区 （ 占 地 面 积 10825m 2） 现 有 设 施 。 该 厂 区 于 2010 年 4 月 26日 以 上 海 强 华 实 业 股 份 有 限 公 司 的 名 义 ， 通 过 石 英 玻 璃 制 品 生 产 建 设 项 目 环 境影 响 报 告 表 金 山 区 环 境 保 护 局 审 批 意 见 ， 批 文 号 为 ： 金 环 许 2010 75 号 ，产 品 规 模 为 年 产 26.4t 石 英 玻 璃 制 品 并 于 2015 年 12 月 3 日 通 过 关 于 石 英 玻璃 制 品 生 产 建 设 项 目 环 境 保 护 竣 工 验 收 的 审 批 意 见 ， 批 文 号 位 ： 金 环 验 2015
208 号 。上 海 晟 格 锐 半 导 体 材 料 有 限 公 司 收 购 位 于 上 海 市 金 山 区 亭 卫 公 路 3312 号 厂区 （ 占 地 面 积 10825m 2） 现 有 设 施 ， 拟 投 资 2700 万 元 ， 在 现 有 车 间 内 ， 调 整 加工 区 域 ， 添 置 新 设 备 和 新 工 艺 ， 开 展 生 产 。 公 司 产 能 为 半 导 体 8 英 寸 用 高 纯 高 精 度 石 英 器 件 为 300 套 /a 半 导 体 12 英 寸 用 高 纯 高 精 度 石 英 器 件 为 50 套/a 半 导 体 用 高 纯 高 精 度 治 具 类 石 英 器 件 20000 件 /a， 以 下 简 称 本 项 目 。本 项 目 位 于 上 海 市 金 山 区 漕 泾 镇 亭 卫 公 路 3312 号 ， 项 目 所 属 地 为 上 海 市 金山 工 业 区 JSS3-0407 单 元 （ 漕 泾 工 业 园 ） ， 属 于 上 海 市 104 工 业 区 范 围 。 园 区主 导 产 业 为 生 物 医 药 新 材 料 装 备 制 造 以 及 数 字 配 套 服 务 检 验 检 测 服 务 研发 设 计 服 务 等 生 产 性 服 务 业 。 本 项 目 建 设 基 本 符 合 金 山 工 业 区 的 规 划 。
2. 项 目 地 区 环 境 质 量 现 状根 据 2022 年 金 山 区 生 态 环 境 质 量 状 况 公 报 ， 2022 年 度 金 山 区 环 境 质 量状 况 如 下 ：2.1 环 境 空 气 质 量 现 状2022 年 ， 金 山 区 生 态 环 境 质 量 总 体 持 续 改 善 。 环 境 空 气 中 PM2.5和 PM10年均 浓 度 均 达 到 历 年 最 低 值 环 境 空 气 质 量 方 面 ， 全 区 PM
2.5年 均 浓 度 为 27 微 克 /立 方 米 ， 同 比 下 降 2 微克 /立 方 米 PM10年 均 浓 度 为 36 微 克 /立 方 米 ， 同 比 下 降 7 微 克 /立 方 米 NO2年均 浓 度 为 25 微 克 /立 方 米 ， 同 比 下 降 3 微 克 /立 方 米 SO2年 均 浓 度 为 6 微 克 /立 方
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米 。 CO24 小 时 平 均 第 95 百 分 位 数 浓 度 为 0.9 毫 克 /立 方 米 。 受 高 温 等 因 素 影响 ， 臭 氧 日 最 大 8 小 时 滑 动 平 均 值 第 90 百 分 位 数 为 160 微 克 /立 方 米 ， 同 比 上升 8 微 克 /立 方 米 环 境 空 气 质 量 指 数 （ AQI） 优 良 率 为 86.6%， 同 比 下 降 3.8 个百 分 点 。 表 1 区 域 空 气 质 量 评 价 表污染物年评价指标标准值（ g/m
3）现状浓度（ug/m 3）占标率（%）达标情况PM2.5年平均浓度35 27 77.14达标NO2年平均浓度40 25 62.50达标PM10年平均浓度70 36 51.43达标O3日最大8小时平均第90百分位数160 160 100.00达标SO2年平均浓度60 6 10.00达标CO 24小时平均第95百分位数4000 900 22.50达标依 据 建 设 项 目 环 境 影 响 报 告 表 编 制 技 术 指 南 （ 污 染 影 响 类 ） （ 试 行 ） 的 要求 ， 区 域 环 境 质 量 现 状 排 放 国 家 地 方 环 境 空 气 质 量 标 准 中 有 标 准 限 值 要 求
的 特 征 污 染 物 使 ， 引 用 建 设 项 目 周 边 5 千 米 范 围 内 近 三 年 的 现 有 监 测 数 据 ， 无 相关 数 据 的 选 择 当 季 主 导 风 向 下 风 向 1 个 点 位 补 充 不 少 于 3 天 的 监 测 数 据 。 为 此 ， 上 海 晟 格 锐 半 导 体 材 料 有 限 公 司 委 托 亦 海 检 测 技 术 （ 上 海 ） 有 限 公 司在 主 导 风 向 下 风 向 （ 即 厂 区 外 西 北 角 ） 布 置 一 个 点 ， 于 2022 年 7 月 11 日 至 7 月13 日 ， 连 续 三 天 ， 监 测 环 境 空 气 中 氟 化 物 浓 度 ， 报 告 编 号 ： YH*HG。表 2 监 测 期 间 气 象 观 测 记 录采样日期采样时间天气状况大气压力（kPa）气温（ ）湿度（%RH）风向风速（m /s）
2022年7月11日02:00-03:00晴100.8 29.3 59东南风2.408:00-09:00晴101.0 31.0 59东南风2.014:00-15:00晴100.8 35.8 59东南风1.720:00-21:00晴101.0 32.6 59东南风2.300:00-20:00晴100.8 31.9 59东南风-2022 年7 月 12 日 02:00-03:00晴100.9 30.6 61东南风2.308:00-09:00晴100.9 31.3 61东南风2.214:00-15:00晴100.8 39.3 61东南风1.720:00-21:00晴100.7 31.6 61东南风2.4
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00:00-20:00晴100.8 33.1 61东南风-2022年7月13日02:00-03:00晴100.8 31.0 60东南风2.308:00-09:00晴100.8 29.8 60东南风2.314:00-15:00晴100.8 37.3 60东南风2.420:00-21:00晴100.6 31.0 60东南风2.500:00-20:00晴100.8 32.9 60东南风-表 3 监 测 结 果 及 达 标 分 析检测点位采样日期采样时间检测结果（ug/m
3）参考限值（ug/m 3）达标分析 1 厂区西北角围墙外2米2022.07.11 02:00-03:00 0.644 20达标08:00-09:00 0.636 20达标14:00-15:00 0.737 20达标20:00-21:00 0.603 20达标00:00-20:00 0.146 7达标1 厂区西北角围墙外2米2022.07.12 02:00-03:00 0.629 20达标08:00-09:00 0.519 20达标14:00-15:00 0.622 20达标20:00-21:00 0.634 20达标00:00-20:00 0.122 7达标1 厂区西北角
围墙外2米2022.07.13 02:00-03:00 0.636 20达标08:00-09:00 0.629 20达标14:00-15:00 0.636 20达标20:00-21:00 0.605 20达标00:00-20:00 0.122 7达标从 上 表 数 据 分 析 可 知 ， 项 目 所 在 地 ， 环 境 空 气 中 氟 化 物 浓 度 满 足 环 境 空 气质 量 标 准 （ GB3095-2012） 表 A.1 参 考 浓 度 限 值 二 级 。2.2 地 表 水 环 境地 表 水 环 境 质 量 方 面 ， 全 区 64 个 监 测 断 面 水 环 境 质 量 功 能 区 达 标 率 96.9%，同 比 上 升 4.7 个 百 分 点 。 其 中 ， 类 水 质 断 面 57 个 占 比 89.1%， 类 水 质 断面 7 个 占 比 10.9%， 无 类 和 劣 类 断 面 。 区 内 东 部 主 要 河 流 张 泾 河 龙 泉 港 紫 石 泾 达 到 相 应 水 功 能 区 要 求 。
2.3 声 （ 振 动 ） 环 境声 环 境 质 量 方 面 ， 区 域 噪 声 和 道 路 交 通 噪 声 昼 间 夜 间 大 部 分 都能 达 到 较 好 等 级 以 上 ， 各 类 功 能 区 噪 声 除 一 类 功 能 区 夜 间 外 均 达到 相 应 功 能 类 别 的 标 准 要 求 。
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3. 项 目 建 设 期 对 环 境 的 影 响 结 论本 项 目 为 扩 建 项 目 。 无 土 建 工 程 ， 在 设 备 安 装 施 工 时 ， 将 产 生 少 量 扬 尘 工程 垃 圾 噪 声 等 污 染 物 ， 拟 采 取 如 下 措 施 。 安 装 施 工 过 程 中 ， 在 严 格 执 行 有 关 标准 法 规 的 前 提 下 ， 并 落 实 本 环 评 提 出 的 防 治 措 施 后 ， 施 工 期 对 环 境 的 影 响 是 有 限的 暂 时 的 ， 不 会 对 周 围 环 境 造 成 影 响 。4. 项 目 运 行 期 对 环 境 的 影 响 结 论4.1 废 气 对 环 境 影 响 车 间 2， 清 洗 间 设 有 1 台 刻 蚀 机 ， 用 于 石 英 部 件 表 面 处 理 ， 刻 蚀 机 全 密 闭 ，含 1 个 氢 氟 酸 槽 （ 0.45m 0.3m ） ， 使 用 氢 氟 酸 15%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 1 个 硝 酸槽 （ 0.45m 0.3m ） ， 使 用 硝 酸 10%， 工 作 温 度 为 常 温 刻 蚀 品 化 洗 间 按 千 级 洁 净
室 设 置 ， 内 设 1 台 刻 蚀 机 ， 内 部 内 含 1 个 氢 氟 酸 槽 （ 0.45m 0.3m ） ， 使 用 氢 氟 酸15%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 ， 1 个 硝 酸 槽 （ 0.45m 0.3m ） ， 使 用 硝酸 10%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 清 洗 间 的 刻 蚀 机 和 刻 蚀 品 化 洗 间 产生 的 酸 性 气 体 由 风 机 抽 风 引 入 一 套 （ 1 ） 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 ， 设 置 风 量 为 13200m 3/h 正 常 情 况 下 ， 清 洗 间 的 刻 蚀 机 和 刻 蚀 品 化 洗 间 内 部 均 处 于 负 压 ， 酸 性 气 体 捕 集 率为 100% 酸 性 气 体 主 要 含 氟 化 物 和 氮 氧 化 物 ， 氟 化 物 产 生 量 按 72g/m 2.h 计 ， 氢氟 酸 槽 总 面 积 为 0.27m 2， 氟 化 物 产 生 量 为 0.0194kg/h 氮 氧 化 物 产 生 量 按10.8g/m
2.h 计 ， 硝 酸 槽 总 面 积 为 0.27m 2， 氮 氧 化 物 产 生 量 为 0.0029kg/h 年 工 作时 间 为 2400h。氢 氟 酸 和 硝 酸 易 溶 于 水 ， 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 洗 涤 效 果 按 80%计 ， 净 化 后 的 废 气通 过 1 根 15 米 高 排 气 筒 （ DA001） 排 入 大 气 。 DA001 排 放 的 氟 化 物 氮 氧 化 物均 满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目排 放 限 值 （ 氟 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 5m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.073kg/h 氮 氧 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 200m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.47kg/h） 。 车 间 2， 1 台 三 菱 激 光 切 割 机 ， 1 台 数 控 激 光 切 割 机 ， 切 割 产 生 粉 尘 ， 依据 工 业 源 产 排 污 系 数 手 册 （ 2010 修 订 ） 中 册 3142 技 术 玻 璃 制 品 制 造 业 产 排污 系 数 表 ， 石 英 玻 璃 管 工 业 粉 尘 产 污 系 数 为 2.57kg/t-产 品 按 产 品 约 45t/a 计 ，
年 产 生 粉 尘 0.1156t/a 由 各 自 配 套 1 台 烟 尘 净 化 器 净 化 处 理 后 室 内 排 放 ， 由 于 产生 的 工 业 粉 尘 比 重 比 空 气 大 ， 易 于 在 室 内 自 然 沉 降 ， 每 天 有 工 人 清 扫 ， 自 然 沉 降
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率 按 80%计 ， 其 余 20%通 过 门 窗 以 无 组 织 形 式 排 入 外 环 境 。 车 间 2， CNC三 车 间 ， 9台 加 工 中 心 ， 使 用 火 花 油 ， 每 台 配 套 油 雾 净 化 器 ，净 化 后 废 气 进 入 楼 顶 隔 层 CNC一 车 间 ， 9台 加 工 中 心 ， 使 用 火 花 油 ， 每 台 配 套油 雾 净 化 器 ， 净 化 后 废 气 进 入 楼 顶 隔 层 开 槽 车 间 ， 5台 机 床 ， 使 用 水 溶 性 切 削液 ， 配 套 设 置 一 套 负 离 子 发 生 器 收 集 油 雾 ， 净 化 后 废 气 进 入 楼 顶 隔 层 2台 线 锯 ，使 用 火 花 油 ， 每 台 配 套 油 雾 净 化 器 ， 净 化 后 废 气 进 入 楼 顶 隔 层 楼 顶 隔 层 为 全 密闭 空 间 ， 在 楼 顶 隔 层 的 顶 部 设 置 排 放 口 （ DA002） ， 统 一 排 放 火 花 油 ， 外 观 与 形 状 为 清 澈 透 明 液 体 ， 闪 点 （ 开 口 ） 100 密 度 （ 25 ）为 0.79g/cm
2。25台 加 工 设 备 工 作 时 间 为 2400h/a。25 台 加 工 设 备 配 套 20 台 油 雾 净 化 器 和 一 套 负 离 子 发 生 器 收 集 油 雾 ， 每 台 风量 1000m /h， 油 雾 回 收 率 为 95%以 上 排 放 浓 度 为 0.5m g/m 3， DA002 排 放 的 油雾 满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目排 放 限 值 （ 油 雾 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 5m g/m 3） 。 车 间 1， 制 棉 间 设 置 2 台 石 英 制 棉 设 备 （ 1 用 1 备 ） ， 制 棉 原 料 为 石 英 棒 ，每 年 制 2kg/a 石 英 棉 ， 采 用 棒 吹 浮 法 生 产 ， 即 将 石 英 棒 采 用 高 温 高 速 火 焰 融 化 后将 石 英 棒 吹 成 石 英 棉 （ 采 用 氢 氧 燃 烧 火 焰 ） ， 制 备 过 程 产 生 石 英 棉 ， 配 套 设 置二 级 滤 网 过 滤 后 排 放 通 过 1 根 15 米 高 排 气 筒 （ DA003） 排 入 大 气 ， 工 作 时 间 为
16h/a DA002 排 放 的 石 英 粉 尘 满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015）表 1 大 气 污 染 物 项 目 排 放 限 值 （ 二 氧 化 硅 粉 尘 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 20m g/m 3，最 高 允 许 排 放 速 率 0.8kg/h。 车 间 1， 研 磨 间 , 1台 喷 砂 机 ， 依 据 工 业 源 产 排 污 系 数 手 册 （ 2010修 订 ）中 册 3142 技 术 玻 璃 制 品 制 造 业 产 排 污 系 数 表 ， 石 英 玻 璃 管 工 业 粉 尘 产 污 系 数为 2.57kg/t-产 品 按 产 品 约 45t/a计 ， 年 产 生 粉 尘 0.1156t/a 该 喷 砂 机 配 套 设 置 布袋 除 尘 器 ， 除 尘 达 标 后 废 气 ， 由 1根 排 气 筒 （ DA004） 排 入 大 气 工 作 时 间 为 2400h/a。DA004排 放 的 石 英 粉 尘 满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015）表 1 大 气 污 染 物 项 目 排 放 限 值 （ 二 氧 化 硅 粉 尘 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 20m g/m 3，最 高 允 许 排 放 速 率 0.8kg/h。
车 间 1， 十 万 级 管 类 化 洗 间 ， 含 1个 氢 氟 酸 槽 （ 3.4m 0.5m ） ， 使 用 氢 氟 酸
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15%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 ， 1个 硝 酸 槽 （ 3.4m 0.5m ） ， 使 用 硝 酸10%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 十 万 级 管 类 化 洗 间 产 生 的 酸 性 气 体 由风 机 抽 风 引 入 一 套 （ 2 ） 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 ， 设 置 风 量 为 13200m 3/h 正 常 情 况 下 ，十 万 级 管 类 化 洗 间 内 部 处 于 负 压 ， 酸 性 气 体 捕 集 率 为 100% 酸 性 气 体 主 要 含 氟化 物 和 氮 氧 化 物 ， 氟 化 物 产 生 量 按 72g/m 2.h计 ， 氢 氟 酸 槽 总 面 积 为 1.7m 2， 氟 化 物产 生 量 为 0.1224kg/h 氮 氧 化 物 产 生 量 按 10.8g/m 2.h计 ， 硝 酸 槽 总 面 积 为 1.7m 2，氮 氧 化 物 产 生 量 为 0.0184kg/h 年 工 作 时 间 为 2400h。氢 氟 酸 和 硝 酸 易 溶 于 水 ， 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 效 果 按 80%计 ， 净 化 后 的 废 气 通 过1 根 15 米 高 排 气 筒 （ DA005） 排 入 大 气 。 DA001 排 放 的 氟 化 物 氮 氧 化 物 均 满足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目 排 放
限 值 （ 氟 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 5m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.073kg/h 氮 氧化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 200m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.47kg/h） 。由 于 生 产 工 艺 需 要 ， 有 时 候 将 硝 酸 改 为 采 用 盐 酸 （ 氯 化 氢 含 量 5% 8%） ，盐 酸 槽 总 面 积 为 1.7m 2， 氯 化 氢 产 生 量 按 15.8g/m 2.h 计 ， 产 生 量 为 0.0269kg/h 年 工 作 时 间 为 2400h。 DA001 排 放 的 氯 化 氢 能 满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目 排 放 限 值 （ 氯 化 氢 ， 最 高 允 许 排 放 浓度 10m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.18kg/h） 。 车 间 1， 车 间 1， 十 万 级 部 品 化 洗 间 ， 含 1个 氢 氟 酸 槽 （ 2.5m 0.5m ） ， 使用 氢 氟 酸 15%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 ， 1个 硝 酸 槽 （ 2.5m 0.5m ） ，使 用 硝 酸 10%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 十 万 级 部 品 化 洗 间 产 生 的 酸
性 气 体 由 风 机 抽 风 引 入 一 套 （ 3 ） 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 ， 设 置 风 量 为 4500m 3/h 正 常情 况 下 ， 十 万 级 部 品 化 洗 间 内 部 处 于 负 压 ， 酸 性 气 体 捕 集 率 为 100% 酸 性 气 体主 要 含 氟 化 物 和 氮 氧 化 物 ， 氟 化 物 产 生 量 按 72g/m 2.h计 ， 氢 氟 酸 槽 总 面 积 为 1.25m 2，氟 化 物 产 生 量 为 0.09kg/h 氮 氧 化 物 产 生 量 按 10.8g/m 2.h计 ， 硝 酸 槽 总 面 积 为1.25m 2， 氮 氧 化 物 产 生 量 为 0.0135kg/h 年 工 作 时 间 为 2400h。氢 氟 酸 和 硝 酸 易 溶 于 水 ， 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 洗 涤 效 果 按 80%计 ， 净 化 后 的 废 气通 过 1根 15米 高 排 气 筒 （ DA006） 排 入 大 气 。 DA001排 放 的 氟 化 物 氮 氧 化 物 均满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目 排放 限 值 （ 氟 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 5m g/m
3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.073kg/h 氮
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氧 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 200m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.47kg/h） 。 车 间 1， 车 间 1， 十 万 级 最 终 化 洗 间 ， 含 1个 氢 氟 酸 槽 （ 3.4m 0.5m ） ， 使用 氢 氟 酸 15%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 ， 1个 硝 酸 槽 （ 3.4m 0.5m ） ，使 用 硝 酸 10%， 工 作 温 度 为 常 温 ， 上 方 设 有 集 气 罩 十 万 级 最 终 化 洗 间 产 生 的 酸性 气 体 由 风 机 抽 风 引 入 一 套 （ 3 ） 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 ， 设 置 风 量 为 13200m 3/h 正常 情 况 下 ， 十 万 级 最 终 化 洗 间 内 部 处 于 负 压 ， 酸 性 气 体 捕 集 率 为 100% 酸 性 气体 主 要 含 氟 化 物 和 氮 氧 化 物 ， 氟 化 物 产 生 量 按 72g/m 2.h计 ， 氢 氟 酸 槽 总 面 积 为1.7m
2， 氟 化 物 产 生 量 为 0.1224kg/h 氮 氧 化 物 产 生 量 按 10.8g/m 2.h计 ， 硝 酸 槽 总面 积 为 1.7m 2， 氮 氧 化 物 产 生 量 为 0.0184kg/h 年 工 作 时 间 为 2400h。氢 氟 酸 和 硝 酸 易 溶 于 水 ， 喷 淋 水 洗 塔 洗 涤 洗 涤 效 果 按 60%计 ， 净 化 后 的 废 气通 过 1根 15米 高 排 气 筒 （ DA007） 排 入 大 气 。 DA001排 放 的 氟 化 物 氮 氧 化 物 均满 足 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 （ DB31/933 2015） 表 1 大 气 污 染 物 项 目 排放 限 值 （ 氟 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 5m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.073kg/h 氮氧 化 物 ， 最 高 允 许 排 放 浓 度 200m g/m 3， 最 高 允 许 排 放 速 率 0.47kg/h） 。 3套 石 英 器 件 水 磨 ， 配 套 设 置 3套 水 淋 式 除 尘 机 ， 均 置 于 室 内 工 作 状 态 为石 英 器 件 在 淋 水 状 态 下 水 磨 ， 正 常 情 况 下 产 生 的 粉 尘 含 水 ， 并 伴 随 淋 水 进 入 水 池 ，无 粉 尘 逸 散 。
4.2 废 水 对 环 境 影 响生 活 污 水 排 污 系 数 以 生 活 用 水 量 90%计 ， 员 工 生 活 日 常 用 水 的 污 水 （ W1）产 生 量 约 为 2565t/a。生 产 废 水 ： 包 括 车 间 1 清 洗 废 水 （ W2） 车 间 2 清 洗 废 水 （ W3） 车 间 1，旋 盘 间 直 接 冷 却 排 水 （ W4） 水 磨 研 磨 废 水 （ W5） 洗 涤 塔 废 水 （ W6） 工 业 洗衣 机 废 水 （ W7） 以 及 纯 水 制 备 产 生 的 浓 水 （ W8） ， 合 计 排 放 量 为 20250t/a。生 产 废 水 首 先 进 入 调 节 池 ， 在 调 节 池 进 行 水 量 PH 值 调 节 均 衡 水 质 ， 出 水由 提 升 泵 提 升 进 入 混 凝 沉 淀 池 ， 在 混 凝 沉 淀 池 通 过 投 加 PAC PAM 药 剂 进 行 预处 理 沉 淀 ， 出 水 自 流 入 气 浮 装 置 ， 气 浮 就 是 利 用 高 压 状 况 下 溶 入 大 量 气 体 的 水 作为 工 作 液 体 ， 在 骤 然 减 压 时 ， 通 过 释 放 器 ， 释 放 出 无 数 小 气 泡 ， 与 经 过 混 合 反 应
的 水 中 杂 质 粘 附 在 一 起 ， 使 其 视 比 重 小 于 1 而 上 浮 。 通 过 刮 渣 机 去 除 。 此 中 投 加PAC 和 脱 色 药 剂 ， 与 PAC 药 液 充 分 混 合 后 的 污 水 进 入 反 应 室 进 行 反 应 。 主 要 起
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到 絮 凝 作 用 ， 使 微 小 颗 粒 很 快 形 成 较 大 颗 粒 的 絮 凝 体 ， 气 浮 的 作 用 是 去 除 生 化 出水 中 衰 老 的 生 物 膜 和 部 分 胶 体 ， 气 浮 出 水 流 入 清 水 池 ， 清 水 池 出 水 达 标 排 放 。本 项 目 总 排 口 排 放 水 中 污 染 因 子 的 排 放 浓 度 均 低 于 电 子 工 业 水 污 染 物 排 放标 准 （ GB39731-2020） 表 1 水 污 染 物 排 放 限 值 要 求 本 项 目 单 位 产 品 排 水 量 满足 单 位 产 品 基 准 排 水 量 （ 电 子 工 业 水 污 染 物 排 放 标 准 （ GB39731-2020） 表 2中 的 限 值 ） 。4.3 固 体 废 弃 物 对 环 境 影 响（ 1） 固 体 废 物 分 类 收 集根 据 中 华 人 民 共 和 国 固 体 废 物 污 染 环 境 防 治 法 要 求 ， 项 目 固 体 废 物 分 类
收 集 和 处 理 ， 危 险 废 物 按 照 其 组 分 及 特 性 进 行 分 类 收 集 设 立 台 帐 并 安 全 处 理 处置 。 （ 2） 危 险 废 物 贮 存 设 施项 目 产 生 的 各 类 危 险 废 物 均 分 类 收 集 ， 并 用 相 容 容 器 盛 装 ， 危 险 废 物 不 能 及时 外 送 时 ， 分 区 暂 存 于 公 司 危 废 暂 存 间 内 ， 定 期 委 托 资 质 单 位 清 运 进 行 最 终 处 置 。根 据 危 险 废 物 贮 存 污 染 控 制 标 准 （ GB18597-2001） ， 危 险 废 物 贮 存 场所 及 贮 存 过 程 应 按 以 下 要 求 采 取 相 关 污 染 防 治 措 施 ： 危 险 废 物 应 分 类 收 集 和 存 放 危 险 废 物 应 按 性 质 形 态 采 用 合 适 的 相 容 容 器 存 放 ， 禁 止 将 不 相 容 的 危 险
废 物 装 入 同 一 容 器 内 装 载 液 体 危 险 废 物 的 容 器 内 须 留 足 够 空 间 ， 容 器 顶 部 与 液 体 表 面 之 间 保 留100 毫 米 以 上 的 空 间 ， 容 器 必 须 完 好 无 损 危 险 废 物 贮 存 场 所 的 基 础 必 须 防 渗 ， 铺 设 的 防 渗 层 防 渗 性 能 不 得 低 于 1m厚 渗 透 系 数 10-7cm /s 粘 土 层 的 防 渗 性 能 ， 或 2m m 厚 高 密 度 聚 * 烯 ， 或 至 少2m m 厚 的 其 它 人 工 材 料 ， 渗 透 系 数 10-10cm /s 贮 存 场 所 须 做 好 围 堰 或 地 沟 等 防 渗 漏 防 风 防 雨 防 晒 防 火 等 措 施 ，地 面 须 硬 化 耐 腐 蚀 无 裂 隙 ， 贮 存 区 内 须 有 泄 漏 液 体 收 集 装 置 ， 并 配 备 相 容 的吸 附 材 料 等 应 急 物 资
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盛 装 危 险 废 物 的 容 器 上 必 须 粘 贴 符 合 标 准 的 标 签 ， 危 险 废 物 堆 放 点 设 置 警示 识 定 期 对 危 险 废 物 包 装 容 器 进 行 检 查 ， 发 现 破 损 ， 应 及 时 采 取 措 施 清 理 更 换 须 作 好 危 险 废 物 情 况 的 记 录 ， 记 录 上 须 注 明 危 险 废 物 的 名 称 来 源 数 量 特 性 和 包 装 容 器 的 类 别 入 库 日 期 存 放 位 置 废 物 出 库 日 期 及 接 收 单 位 名 称 严 禁 将 危 险 废 物 混 入 非 危 险 废 物 中 贮 存 。措 施 落 实 后 ， 处 置 率 100%， 对 外 环 境 基 本 无 影 响 。4.4 噪 声 对 环 境 影 响本 项 目 噪 声 主 要 来 源 于 超 声 波 清 洗 机 三 菱 激 光 切 割 机 数 控 激 光 切 割 机
加 工 中 心 机 床 数 控 车 床 无 心 磨 内 外 圆 磨 线 锯 立 磨 带 锯 水 刀 套砣 机 污 水 处 理 装 置 风 机 水 淋 式 除 尘 机 石 英 制 棉 设 备 扩 管 机 玻 璃 车 床 喷 砂 机 研 磨 机 工 业 洗 衣 机 机 器 人 抛 光 设 备 双 重 管 组 立 机 纯 水 制 备 空压 机 制 氮 机 约 克 热 泵 机 组 等 设 备 在 运 行 时 产 生 的 噪 声 ， 依 据 噪 声 控 制 工 程 ，单 机 噪 声 值 范 围 在 60 85dB（ A） 。本 项 目 选 用 低 噪 声 设 备 ， 从 源 头 降 低 噪 声 主 要 噪 声 设 备 均 布 置 在 厂 房 内 ，合 理 布 局 ， 通 过 厂 房 隔 声 作 用 进 行 隔 声 设 备 基 础 进 行 隔 振 风 机 采 用 低 噪 声 设备 。 上 述 噪 声 经 隔 声 消 声 距 离 衰 减 后 ， 厂 界 噪 声 可 达 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪声 排 放 标 准 (GB12348-2008) 3 类 功 能 区 标 准 。
4.5 环 境 风 险 分 析本 项 目 原 辅 材 料 不 涉 及 重 点 环 境 管 理 危 险 化 学 品 目 录 上 海 市 禁 止 限制 和 控 制 危 险 化 学 品 目 录 （ 第 三 批 ） (第 一 版 ) 首 批 重 点 监 管 的 危 险 化 学 品 名录 第 二 批 重 点 监 管 的 危 险 化 学 品 名 录 优 先 控 制 化 学 品 名 录 （ 第 一 批 ） 化 学 品 环 境 风 险 防 控 十 二 五 规 划 （ 环 发 2013 20 号 ） 中 重 点 防 控 化 学 品 。本 项 目 风 险 潜 势 为 I， 环 境 风 险 影 响 较 小 。 项 目 可 能 发 生 的 风 险 事 故 为 火 灾事 故 ， 建 设 单 位 在 加 强 环 境 风 险 管 理 ， 对 在 职 员 工 进 行 相 关 知 识 培 训 前 提 下 ， 可确 保 发 生 风 险 事 故 时 不 会 危 及 到 周 围 敏 感 目 标 及 污 染 外 环 境 。 因 此 ， 本 项 目 的 环境 风 险 在 可 接 受 的 范 围 内 。5. 总 量 控 制 分 析
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本 项 目 为 新 建 项 目 ， 项 目 排 放 氮 氧 化 物 烟 粉 尘 ， 排 放 生 产 废 水 。表 4 公 司 总 量 控 制 指 标 统 计 表 （ 单 位 ： t/a）总量控制污染物名称预测新增排放量 以新带老 减排量 新增总量 削减替代量削减比例（等量/倍量）消减替代来源废气颗粒物0.0196 0 0.0196NOx 0.0255 0 0.0255废水COD
Cr 8.3288 0 8.3288NH3-N 0.8431 0 0.8431TN 1.1267 0 1.1267TP 0.1404 0 0.14046. 总 结 论综 上 所 述 ， 本 项 目 符 合 国 家 相 关 产 业 政 策 和 当 地 规 划 。 项 目 投 运 后 ， 排 放 的污 染 物 将 得 到 妥 善 处 理 ， 环 保 治 理 措 施 合 理 可 行 。 加 强 环 保 管 理 和 监 测 ， 落 实 各项 污 染 治 理 措 施 实 施 ， 确 保 全 部 污 染 物 达 标 排 放 前 提 下 ， 对 当 地 及 区 域 的 环 境 质量 影 响 有 限 ， 地 区 环 境 质 量 不 发 生 级 别 改 变 ， 项 目 从 环 境 保 护 角 度 是 可 行 的 。
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