物元先进封装实验线项目-审批拟批准情况公示
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物元先进封装实验线项目-审批拟批准情况公示
| 项目名称： | 物元先进封装实验线项目 | |
| 建设地点： | (略) 城阳区棘洪滩街道办事处岙东北路786号 | |
| 建设单位： | 物元半导体技术（青岛）有限公司 | |
| 环境影响评价机构： | 青岛 (略) | |
| 公示时间： | 2023年12月18日 至 2023年12月22日 | |
| 项目概况： | 总投资97686万元，总占地面积15914m2，建筑面积15914m2 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | （一）施工期 （二）营运期 1、大气环境。项目生产设备均密闭运行，机台腔体或槽体保持密闭负压状态。化学气相沉积尾气采用POU电热水洗装置预处理，干法蚀刻尾气采用POU等离子电离水洗装置预处理，离子注入工序产生的含砷尾气采用POU干式吸附装置预处理。上述预处理后的废气，与湿法刻蚀、湿法刻蚀后酸洗、湿法去胶及清洗、铜金属化后清边酸洗产生的酸性废气以及化学机械研磨后碱洗产生的碱性废气，一并汇入1套酸碱废气处理系统（碱液喷淋塔）处理后，通过1支25米高排气筒DA001排放。涂光阻剂、软烘干、曝光后烘干、显影及清洗、坚膜、湿法刻蚀后有机洗及干燥洗、化学机械研磨后有机洗及干燥洗产生的有机废气汇入1套水喷淋塔+活性炭吸附装置处理后，通过1支15米高排气筒DA002排放。 2、水环境。项目生产废水采取分质处理。湿法刻蚀废水进入含氨废水处理系统处理后，与化学机械研磨及水洗废水、水喷淋塔废水、碱液喷淋塔废水（含砷）、POU水洗废水进入含氟及研磨废水处理系统处理，出水进入深度除氟系统进一步处理；铜金属化后清边废水进入含铜废水处理系统处理。深度除氟系统和含铜废水处理系统出水与显影及清洗、湿法刻蚀后酸洗、湿法去胶及清洗、化学机械研磨及碱洗、背面减薄水洗等工序产生的废水以及纯水制备废水、冷却塔排水、空调冷凝水一并进入酸碱废水处理系统处理后，与生活污 (略) 政污水管网进入高新区污水处理厂处理排放。 3、固体废物。项目生产过程中产生的废铜电极、不合格芯片、废研磨轮及刀片、废研磨耗材、废光罩、废外包装材料、纯水制备废过滤材料、含氟污泥、硫酸铵废液、空调及回风系统废过滤材料等一般工业固废外售或综合利用；有机废液、废稀释剂、硫酸废液、混酸废液、废异*醇、废刻蚀清洗液、硫酸铜废液、含铜污泥、废包装桶及废内包装材料、废活性炭、废吸附材料、沾染化学物质的杂物、废铅蓄电池、废灯管等属于危险废物，交由有危险废物处理资质的单位妥善处置。 4、环境风险。本项目风险源主要为环境风险物质泄漏、火灾事故风险、废气、废水处理设施发生故障对环境造成影响。编制突发环境事件应急预案，严格落实安全生产主体责任。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局城阳分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | (略) 城阳区德阳路197号 | |
| 邮政编码： | * | |
| 项目名称： | 物元先进封装实验线项目 | |
| 建设地点： | (略) 城阳区棘洪滩街道办事处岙东北路786号 | |
| 建设单位： | 物元半导体技术（青岛）有限公司 | |
| 环境影响评价机构： | 青岛 (略) | |
| 公示时间： | 2023年12月18日 至 2023年12月22日 | |
| 项目概况： | 总投资97686万元，总占地面积15914m2，建筑面积15914m2 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | （一）施工期 （二）营运期 1、大气环境。项目生产设备均密闭运行，机台腔体或槽体保持密闭负压状态。化学气相沉积尾气采用POU电热水洗装置预处理，干法蚀刻尾气采用POU等离子电离水洗装置预处理，离子注入工序产生的含砷尾气采用POU干式吸附装置预处理。上述预处理后的废气，与湿法刻蚀、湿法刻蚀后酸洗、湿法去胶及清洗、铜金属化后清边酸洗产生的酸性废气以及化学机械研磨后碱洗产生的碱性废气，一并汇入1套酸碱废气处理系统（碱液喷淋塔）处理后，通过1支25米高排气筒DA001排放。涂光阻剂、软烘干、曝光后烘干、显影及清洗、坚膜、湿法刻蚀后有机洗及干燥洗、化学机械研磨后有机洗及干燥洗产生的有机废气汇入1套水喷淋塔+活性炭吸附装置处理后，通过1支15米高排气筒DA002排放。 2、水环境。项目生产废水采取分质处理。湿法刻蚀废水进入含氨废水处理系统处理后，与化学机械研磨及水洗废水、水喷淋塔废水、碱液喷淋塔废水（含砷）、POU水洗废水进入含氟及研磨废水处理系统处理，出水进入深度除氟系统进一步处理；铜金属化后清边废水进入含铜废水处理系统处理。深度除氟系统和含铜废水处理系统出水与显影及清洗、湿法刻蚀后酸洗、湿法去胶及清洗、化学机械研磨及碱洗、背面减薄水洗等工序产生的废水以及纯水制备废水、冷却塔排水、空调冷凝水一并进入酸碱废水处理系统处理后，与生活污 (略) 政污水管网进入高新区污水处理厂处理排放。 3、固体废物。项目生产过程中产生的废铜电极、不合格芯片、废研磨轮及刀片、废研磨耗材、废光罩、废外包装材料、纯水制备废过滤材料、含氟污泥、硫酸铵废液、空调及回风系统废过滤材料等一般工业固废外售或综合利用；有机废液、废稀释剂、硫酸废液、混酸废液、废异*醇、废刻蚀清洗液、硫酸铜废液、含铜污泥、废包装桶及废内包装材料、废活性炭、废吸附材料、沾染化学物质的杂物、废铅蓄电池、废灯管等属于危险废物，交由有危险废物处理资质的单位妥善处置。 4、环境风险。本项目风险源主要为环境风险物质泄漏、火灾事故风险、废气、废水处理设施发生故障对环境造成影响。编制突发环境事件应急预案，严格落实安全生产主体责任。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局城阳分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | (略) 城阳区德阳路197号 | |
| 邮政编码： | * | |
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