江苏晶利恒半导体科技有限公司6英寸硅基功率分立器件电子芯片项目一期含大气专项评价环境影响报告表拟批准公示

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江苏晶利恒半导体科技有限公司6英寸硅基功率分立器件电子芯片项目一期含大气专项评价环境影响报告表拟批准公示

项目名称:6英寸硅基功率分立器件电子芯片项目(一期);

建设地点: (略) 如东经济开发区富春江路198号(华睿智能制造产业园);

建设单位:江苏晶利 (略) ;

环境影响评价机构:南通鑫睿环境 (略) ;

项目概况:江苏晶利 (略) 拟投资52943万元, (略) 如东经济开发区富春江路198号 (略) 制造产业园15号楼12315.72平方米,新引进注入机、立式炉、光刻机等核心主要工艺设备62余台(套),采用涂胶、曝光、显影、刻蚀、退火、掺杂、氧化、金属、薄膜、去胶、研磨、背金、清洗、划片、测试等工艺,建设6英寸硅基功率分立器件电子芯片项目(一期)。项目建成后,预计可形成年产6英寸硅基功率分立器件电子芯片3.6万片/年的生产规模。该项目 (略) 如东经济开发区管理委员会备案(东管审备[2023]11号 )。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施:

1、废气

该项目运营期废气主要为清洗工序产生的酸雾(硫酸雾、氟化物、氯化氢)、氨气、臭气浓度、有机废气(异*醇、*酮、非*烷总烃),湿法刻蚀工序产生的氮氧化物,光刻废气(非*烷总烃、*醛),干法刻蚀废气(氟化物、氯气),污水站废气(氨气、硫化氢、臭气浓度),危废仓库废气(非*烷总烃),打印粉尘。其中,清洗工序废气、湿法刻蚀工序废气、光刻废气、干法刻蚀废气分别通过密闭设备内置风管收集后经二级碱喷淋+除雾器+二级活性炭吸附装置处理后通过25米高排气筒FQ01排放。污水站废气经加盖封闭收集后通过二级碱喷淋+除雾器+二级活性炭吸附装置处理后通过25米高排气筒FQ01排放。危废仓库废气经密闭负压收集后通过活性炭吸附装置处理后通过25米高排气筒FQ02排放。打印粉尘产生量极少,不做定量分析。此外,建设项目需分别以生产车间、功能区为边界设置100m的卫生防护距离,据现场调查,该范围内无敏感目标。同时你公司须按《报告表》提出的要求对全场无组织废气进行控制,确保恶臭气体达标排放且不扰民。综上所述,该项目排放的有组织和无组织废气对周边环境影响较小,不会降低周边大气环境质量,环境影响可以接受。

2、废水

该项目厂区实行“雨污分流,清污分流”,雨水经雨水管 (略) 政雨水管网排入芳泉河。项目设备安装期会产生生活污水,你公司须对施工单位进行有效监督,严禁生活污水直排外环境,须对其进行有效收集处理。运营期废水主要为生活污水、生产废水(含氟废水、酸碱废水、含镍废水、有机废水、减薄废水、纯水制备浓水)。生活污水经化粪池处理,含氟废水、酸碱废水、含镍废水、有机废水、减薄废水经厂区污水处理站处理,废水处理达《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表1水污染排放限值标准后和纯水制备浓水一并接入如东县东 (略) 集中处理,达标尾水排入环东河,经串场河最终汇入如泰运河。

3、噪声

该项目施工期须合理安排施工时间,施工阶段的建筑施工场界噪声须符合《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB12523-2011)中相关标准。运营期生产设备产生的噪声通过厂房隔声、设备减振等降噪措施后,各厂界噪声均能够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准的要求,不会对周围区域的声环境质量产生不良影响,不会改变周围环境噪声现状。

4、固废

该项目施工期和运营期产生的固体废弃物均得到妥善处理,对周围环境影响较小,也不会产生二次污染。

5、地下水、土壤

该项目在建设过程中,应加强源头控制和末端控制,严格废水管理,采取分区防控措施,将项目区域划分为重点污染防渗区、一般防渗区、简单防渗区。综上,该项目不会对地下水和土壤造成影响。

6、环境风险

建设单位须采取必要的风险防范措施,加强项目风险管理,制定应急预案,并准备必要的防护物资,加强管理,可将事故发生概率和影响程度降至最低。

受理公示反馈情况:无意见

公示时间:2023年12月1日~2023年12月8日

公众反馈意见联系方式:0513-*

听证告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公告起五日内申请人、利害关系人可对上述拟作出建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。

(略) 如东经济开发区管理委员会

2023年12月1日

项目名称:6英寸硅基功率分立器件电子芯片项目(一期);

建设地点: (略) 如东经济开发区富春江路198号(华睿智能制造产业园);

建设单位:江苏晶利 (略) ;

环境影响评价机构:南通鑫睿环境 (略) ;

项目概况:江苏晶利 (略) 拟投资52943万元, (略) 如东经济开发区富春江路198号 (略) 制造产业园15号楼12315.72平方米,新引进注入机、立式炉、光刻机等核心主要工艺设备62余台(套),采用涂胶、曝光、显影、刻蚀、退火、掺杂、氧化、金属、薄膜、去胶、研磨、背金、清洗、划片、测试等工艺,建设6英寸硅基功率分立器件电子芯片项目(一期)。项目建成后,预计可形成年产6英寸硅基功率分立器件电子芯片3.6万片/年的生产规模。该项目 (略) 如东经济开发区管理委员会备案(东管审备[2023]11号 )。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施:

1、废气

该项目运营期废气主要为清洗工序产生的酸雾(硫酸雾、氟化物、氯化氢)、氨气、臭气浓度、有机废气(异*醇、*酮、非*烷总烃),湿法刻蚀工序产生的氮氧化物,光刻废气(非*烷总烃、*醛),干法刻蚀废气(氟化物、氯气),污水站废气(氨气、硫化氢、臭气浓度),危废仓库废气(非*烷总烃),打印粉尘。其中,清洗工序废气、湿法刻蚀工序废气、光刻废气、干法刻蚀废气分别通过密闭设备内置风管收集后经二级碱喷淋+除雾器+二级活性炭吸附装置处理后通过25米高排气筒FQ01排放。污水站废气经加盖封闭收集后通过二级碱喷淋+除雾器+二级活性炭吸附装置处理后通过25米高排气筒FQ01排放。危废仓库废气经密闭负压收集后通过活性炭吸附装置处理后通过25米高排气筒FQ02排放。打印粉尘产生量极少,不做定量分析。此外,建设项目需分别以生产车间、功能区为边界设置100m的卫生防护距离,据现场调查,该范围内无敏感目标。同时你公司须按《报告表》提出的要求对全场无组织废气进行控制,确保恶臭气体达标排放且不扰民。综上所述,该项目排放的有组织和无组织废气对周边环境影响较小,不会降低周边大气环境质量,环境影响可以接受。

2、废水

该项目厂区实行“雨污分流,清污分流”,雨水经雨水管 (略) 政雨水管网排入芳泉河。项目设备安装期会产生生活污水,你公司须对施工单位进行有效监督,严禁生活污水直排外环境,须对其进行有效收集处理。运营期废水主要为生活污水、生产废水(含氟废水、酸碱废水、含镍废水、有机废水、减薄废水、纯水制备浓水)。生活污水经化粪池处理,含氟废水、酸碱废水、含镍废水、有机废水、减薄废水经厂区污水处理站处理,废水处理达《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表1水污染排放限值标准后和纯水制备浓水一并接入如东县东 (略) 集中处理,达标尾水排入环东河,经串场河最终汇入如泰运河。

3、噪声

该项目施工期须合理安排施工时间,施工阶段的建筑施工场界噪声须符合《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB12523-2011)中相关标准。运营期生产设备产生的噪声通过厂房隔声、设备减振等降噪措施后,各厂界噪声均能够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准的要求,不会对周围区域的声环境质量产生不良影响,不会改变周围环境噪声现状。

4、固废

该项目施工期和运营期产生的固体废弃物均得到妥善处理,对周围环境影响较小,也不会产生二次污染。

5、地下水、土壤

该项目在建设过程中,应加强源头控制和末端控制,严格废水管理,采取分区防控措施,将项目区域划分为重点污染防渗区、一般防渗区、简单防渗区。综上,该项目不会对地下水和土壤造成影响。

6、环境风险

建设单位须采取必要的风险防范措施,加强项目风险管理,制定应急预案,并准备必要的防护物资,加强管理,可将事故发生概率和影响程度降至最低。

受理公示反馈情况:无意见

公示时间:2023年12月1日~2023年12月8日

公众反馈意见联系方式:0513-*

听证告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公告起五日内申请人、利害关系人可对上述拟作出建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。

(略) 如东经济开发区管理委员会

2023年12月1日

    
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