投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目1#生产厂房等11项
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投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目1#生产厂房等11项
| 项目基本信息 | |||
| 北京项目代码 | *034 | ||
| 项目名称 | 投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目（1#生产厂房等11项） | ||
| 审批事项信息 | |||
| 事项名称 | 人防工程竣工验收备案 | ||
| 申请单位 | 北京 (略) | ||
| 办结时间 | 2023-12-29 | 办理结果 | 通过 |
| 审批文号 | 京[技审城]防备字*号 | ||
| 项目基本信息 | |||
| 北京项目代码 | *034 | ||
| 项目名称 | 投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目（1#生产厂房等11项） | ||
| 审批事项信息 | |||
| 事项名称 | 人防工程竣工验收备案 | ||
| 申请单位 | 北京 (略) | ||
| 办结时间 | 2023-12-29 | 办理结果 | 通过 |
| 审批文号 | 京[技审城]防备字*号 | ||
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