项目名称

万里晖技术研发中心升级项目

项目名称

万里晖技术研发中心升级项目

建设地点

浦东新区南汇新城镇临港重装备产业区内江山路2699弄翡翠园3＃厂房

所属行业

研究和试验发展

项目内容

(略) 拟在临港重装备产业区内江山路2699弄翡翠园3＃厂房进行扩建，主要建设内容为：1.通过新增设备，扩大原有光伏工艺研发实验规模；2.新增以半导体PECVD 设备为基础的半导体工艺研发实验。扩建后光伏工艺研发实验规模为年使用硅片23000 片、玻璃片300 片、载玻片9200 片，半导体工艺研发实验规模为年使用硅片2000 片、载玻片800 片。项目总投资65592 万元，其中环保投资300 万元。工艺研发实验均属小试规模，用于获得更优的PECVD 设备参数，为PECVD 设备生产所服务。

建设单位名称

理想万里晖半导体设备（上海） (略)

建设单位地址

中国（上海）自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄3号厂房

建设单位联系人

孙滢

联系电话

*

电子邮箱

*@*dealenergy-wlh.com

传真

*

环评机构名称

上海达恩贝拉 (略)

拟报批的环境影响报告表全文

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项目名称

万里晖技术研发中心升级项目

项目名称

万里晖技术研发中心升级项目

建设单位

理想万里晖半导体设备（上海） (略)

所属行业

研究和试验发展

建设地点

浦东新区南汇新城镇临港重装备产业区内江山路2699弄翡翠园3＃厂房

项目基本信息

理想万里晖半导体设备（上海） (略) （以下简称“ (略) ”）是一家集研究、开发、设计、生产、制造、销售于一身的制造高端设备的企业，致力于光伏电池、平板显示屏、集成电路半导体、石墨烯等生产过程中需要的关键设备——PECVD的研发和生产，为以上各领域厂商提供更先进、价格更合理的高端制造设备。公司坚持自主创新，研制出系列平板型PECVD设备，多次打破国外垄断，填补国内空白。 2019年9月12日， (略) 作为中国（上海）自由贸易试验区临港新片区首批重点项目，签约落户临港，以推动我国在集成电路半导体、泛半导体领域装备制造的发展，打破国际厂商的垄断，创立电子专用装备领域的国产品牌，站在世界的前列。 (略) 租赁临港重装备产业区内江山路2699弄翡翠园3＃厂房，租赁建筑面积3624平方米，主要从事光伏PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备的生产及其工艺研发实验：年生产光伏PECVD设备53台；工艺研发实验包括以光伏PECVD设备为基础的光伏工艺研发实验，和以高效异质结晶体硅太阳能电池实验线为基础的光伏工艺研发实验，年使用玻璃片300片、硅片10000片。 (略) 拟以其在PECVD领域内积累的自主核心技术为基础，通过建设洁净室，购置先进的研发、测试设备，并引进专业技术人才，对公司高端半导体设备研发中心进行全面升级，优化公司研发条件，提升技术研发基础设施，全面优化提升技术研发效率，为公司未来技术研发活动的开展提供有效支持， (略) 现有高效光伏电池高端装备及工艺进行持续研发升级，推进光伏PECVD设备升级迭代， (略) 核心产品技术实力；同时，公司展开半导体PECVD设备领域的新产品、新技术研发，拓宽核心技术应用领域，为公司未来主营业务的发展提供源源不断的技术动力。 因此， (略) 拟在现有3＃厂房进行扩建，主要建设内容为：1.通过新增设备，扩大原有光伏工艺研发实验规模；2.新增以半导体PECVD设备为基础的半导体工艺研发实验。扩建后全厂光伏工艺研发实验规模为年使用硅片23000片、玻璃片300片、载玻片9200片，半导体工艺研发实验规模为年使用硅片2000片、载玻片800片。项目总投资65592万元，其中环保投资300万元。工艺研发实验均属小试规模，用于获得更优的PECVD设备参数，为PECVD设备生产所服务。 本项目分阶段建设，一阶段建设内容为现有光伏工艺研发实验规模的扩大，二阶段建设内容为新增半导体工艺研发实验。

设计单位

理想万里晖半导体设备（上海） (略)

计划开工日期

2023-05-22

环评项目登记号

沪自贸临管环保许评[2023]43号

环评批文文号

沪自贸临管环保许评[2023]43号

环评批文日期

2023-05-18

联系人

孙滢

联系电话

*

电子邮箱

*@*dealenergy-wlh.com

实际开工日期

2023-05-22

实际开工日期

2023-05-22

施工期环保措施落实情况（pdf）

万里晖技术研发中心升级项目施工期环保措施.pdf

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施工期环境监测结果（pdf）

开始调试日期

竣工日期

开始调试日期

联系人

联系电话

非重大调整报告（pdf）

环保措施落实情况（pdf）

公示起始日期

公示起始日期

验收报告

项目名称

万里晖技术研发中心升级项目

项目名称

万里晖技术研发中心升级项目

建设地点

浦东新区南汇新城镇临港重装备产业区内江山路2699弄翡翠园3＃厂房

所属行业

研究和试验发展

项目内容

(略) 拟在临港重装备产业区内江山路2699弄翡翠园3＃厂房进行扩建，主要建设内容为：1.通过新增设备，扩大原有光伏工艺研发实验规模；2.新增以半导体PECVD 设备为基础的半导体工艺研发实验。扩建后光伏工艺研发实验规模为年使用硅片23000 片、玻璃片300 片、载玻片9200 片，半导体工艺研发实验规模为年使用硅片2000 片、载玻片800 片。项目总投资65592 万元，其中环保投资300 万元。工艺研发实验均属小试规模，用于获得更优的PECVD 设备参数，为PECVD 设备生产所服务。

建设单位名称

理想万里晖半导体设备（上海） (略)

建设单位地址

中国（上海）自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄3号厂房

建设单位联系人

孙滢

联系电话

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*@*dealenergy-wlh.com

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环评机构名称

上海达恩贝拉 (略)

拟报批的环境影响报告表全文

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项目名称

万里晖技术研发中心升级项目

项目名称

万里晖技术研发中心升级项目

建设单位

理想万里晖半导体设备（上海） (略)

所属行业

研究和试验发展

建设地点

浦东新区南汇新城镇临港重装备产业区内江山路2699弄翡翠园3＃厂房

项目基本信息

理想万里晖半导体设备（上海） (略) （以下简称“ (略) ”）是一家集研究、开发、设计、生产、制造、销售于一身的制造高端设备的企业，致力于光伏电池、平板显示屏、集成电路半导体、石墨烯等生产过程中需要的关键设备——PECVD的研发和生产，为以上各领域厂商提供更先进、价格更合理的高端制造设备。公司坚持自主创新，研制出系列平板型PECVD设备，多次打破国外垄断，填补国内空白。 2019年9月12日， (略) 作为中国（上海）自由贸易试验区临港新片区首批重点项目，签约落户临港，以推动我国在集成电路半导体、泛半导体领域装备制造的发展，打破国际厂商的垄断，创立电子专用装备领域的国产品牌，站在世界的前列。 (略) 租赁临港重装备产业区内江山路2699弄翡翠园3＃厂房，租赁建筑面积3624平方米，主要从事光伏PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备的生产及其工艺研发实验：年生产光伏PECVD设备53台；工艺研发实验包括以光伏PECVD设备为基础的光伏工艺研发实验，和以高效异质结晶体硅太阳能电池实验线为基础的光伏工艺研发实验，年使用玻璃片300片、硅片10000片。 (略) 拟以其在PECVD领域内积累的自主核心技术为基础，通过建设洁净室，购置先进的研发、测试设备，并引进专业技术人才，对公司高端半导体设备研发中心进行全面升级，优化公司研发条件，提升技术研发基础设施，全面优化提升技术研发效率，为公司未来技术研发活动的开展提供有效支持， (略) 现有高效光伏电池高端装备及工艺进行持续研发升级，推进光伏PECVD设备升级迭代， (略) 核心产品技术实力；同时，公司展开半导体PECVD设备领域的新产品、新技术研发，拓宽核心技术应用领域，为公司未来主营业务的发展提供源源不断的技术动力。 因此， (略) 拟在现有3＃厂房进行扩建，主要建设内容为：1.通过新增设备，扩大原有光伏工艺研发实验规模；2.新增以半导体PECVD设备为基础的半导体工艺研发实验。扩建后全厂光伏工艺研发实验规模为年使用硅片23000片、玻璃片300片、载玻片9200片，半导体工艺研发实验规模为年使用硅片2000片、载玻片800片。项目总投资65592万元，其中环保投资300万元。工艺研发实验均属小试规模，用于获得更优的PECVD设备参数，为PECVD设备生产所服务。 本项目分阶段建设，一阶段建设内容为现有光伏工艺研发实验规模的扩大，二阶段建设内容为新增半导体工艺研发实验。

设计单位

理想万里晖半导体设备（上海） (略)

计划开工日期

2023-05-22

环评项目登记号

沪自贸临管环保许评[2023]43号

环评批文文号

沪自贸临管环保许评[2023]43号

环评批文日期

2023-05-18

联系人

孙滢

联系电话

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电子邮箱

*@*dealenergy-wlh.com

实际开工日期

2023-05-22

实际开工日期

2023-05-22

施工期环保措施落实情况（pdf）

万里晖技术研发中心升级项目施工期环保措施.pdf

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施工期环境监测结果（pdf）

开始调试日期

竣工日期

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联系人

联系电话

非重大调整报告（pdf）

环保措施落实情况（pdf）

公示起始日期

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验收报告