项目名称：碳化硅/碳化钽等半导体涂层件项目；

建设地点： (略) 如东经济开发区牡丹江路159号；

建设单位：沉积半导体材料（南通）有限公司；

环境影响评价机构：南通鑫睿环境 (略) ；

项目概况：沉积半导体材料（南通）有限公司成立于2023年2月16日， (略) 如东经济开发区牡丹江路159号南通敦宏科创园D1一层。企业拟投资5000万元，自主研发SiC沉积炉440型4台、自主研发SiC沉积炉60型1台、自主研发TaC沉积炉440型2台，专用清洗机2台、专用烘干机1台，以及多台检测设备等，从事碳化硅/碳化钽等半导体涂层件项目建设。项目建成后，预计可形成年产半导体级SiC涂层件3000件、半导体级TaC涂层件14200件、半导体级新型热解碳涂层件2000件的生产规模。该项目 (略) 如东经济开发区管理委员会备案（东管审备[2023]145号 ）。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

1、废气

该项目运营期废气主要为CVD碳化硅废气（氯化氢、颗粒物、NMHC）、CVD碳化钽废气（氯化氢）、CVD热解碳废气（颗粒物、NMHC）、发电机废气（二氧化硫、氮氧化物、颗粒物）。其中CVD碳化硅废气、CVD热解碳废气通过管道收集经炉尾自带过滤器处理后与CVD碳化钽废气一并通过三级碱液喷淋塔（自带除雾）+二级活性炭吸附装置处理后通过28米高排气筒DA001排放。发电机废气通过28米高排气筒DA002排放。同时你公司须按《报告表》提出的要求对全场无组织废气进行控制，确保气体达标排放且不扰民。综上所述，该项目排放的有组织和无组织废气对周边环境影响较小，不会降低周边大气环境质量，环境影响可以接受。

2、废水

该项目厂区实行“雨污分流，清污分流”，雨水经雨水管 (略) 政雨水管网。项目运营期废水主要为生活污水、超声波清洗废水、纯水制备浓水、碱喷淋废水。超声波清洗废水、纯水制备浓水、碱喷淋废水经厂内污水处理站处理后与经化粪池处理后的生活污 (略) 政工业污水管网送如 (略) 集中处理，达标尾水排入掘苴河。废水接管标准执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准及《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中B级标准。

3、噪声

该项目施工期须合理安排施工时间，施工阶段的建筑施工场界噪声须符合《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）中相关标准。运营期生产设备产生的噪声通过厂房隔声、设备减振等降噪措施后，各厂界噪声均能够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准的要求，不会对周围区域的声环境质量产生不良影响，不会改变周围环境噪声现状。

4、固废

该项目运营期产生的固体废弃物均得到妥善处理，对周围环境影响较小，也不会产生二次污染。

5、地下水、土壤

该项目在建设过程中，应加强源头控制，采取分区防渗措施，将项目区域划分为重点防渗区、一般防渗区、简单防渗区。同时加强厂区内绿化管理，种植具有较强吸附能力的植物。综上，该项目不会对地下水和土壤造成影响。

6、环境风险

建设单位须采取必要的风险防范措施，加强项目风险管理，制定应急预案，并准备必要的防护物资，加强管理，可将事故发生概率和影响程度降至最低。

受理公示反馈情况：无意见

公示时间：2024年1月5日~2024年1月12日

公众反馈意见联系方式：0513-*

听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公告起五日内申请人、利害关系人可对上述拟作出建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。

(略) 如东经济开发区管理委员会

2024年1月5日

项目名称：碳化硅/碳化钽等半导体涂层件项目；

建设地点： (略) 如东经济开发区牡丹江路159号；

建设单位：沉积半导体材料（南通）有限公司；

环境影响评价机构：南通鑫睿环境 (略) ；

项目概况：沉积半导体材料（南通）有限公司成立于2023年2月16日， (略) 如东经济开发区牡丹江路159号南通敦宏科创园D1一层。企业拟投资5000万元，自主研发SiC沉积炉440型4台、自主研发SiC沉积炉60型1台、自主研发TaC沉积炉440型2台，专用清洗机2台、专用烘干机1台，以及多台检测设备等，从事碳化硅/碳化钽等半导体涂层件项目建设。项目建成后，预计可形成年产半导体级SiC涂层件3000件、半导体级TaC涂层件14200件、半导体级新型热解碳涂层件2000件的生产规模。该项目 (略) 如东经济开发区管理委员会备案（东管审备[2023]145号 ）。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

1、废气

该项目运营期废气主要为CVD碳化硅废气（氯化氢、颗粒物、NMHC）、CVD碳化钽废气（氯化氢）、CVD热解碳废气（颗粒物、NMHC）、发电机废气（二氧化硫、氮氧化物、颗粒物）。其中CVD碳化硅废气、CVD热解碳废气通过管道收集经炉尾自带过滤器处理后与CVD碳化钽废气一并通过三级碱液喷淋塔（自带除雾）+二级活性炭吸附装置处理后通过28米高排气筒DA001排放。发电机废气通过28米高排气筒DA002排放。同时你公司须按《报告表》提出的要求对全场无组织废气进行控制，确保气体达标排放且不扰民。综上所述，该项目排放的有组织和无组织废气对周边环境影响较小，不会降低周边大气环境质量，环境影响可以接受。

2、废水

该项目厂区实行“雨污分流，清污分流”，雨水经雨水管 (略) 政雨水管网。项目运营期废水主要为生活污水、超声波清洗废水、纯水制备浓水、碱喷淋废水。超声波清洗废水、纯水制备浓水、碱喷淋废水经厂内污水处理站处理后与经化粪池处理后的生活污 (略) 政工业污水管网送如 (略) 集中处理，达标尾水排入掘苴河。废水接管标准执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准及《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中B级标准。

3、噪声

该项目施工期须合理安排施工时间，施工阶段的建筑施工场界噪声须符合《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）中相关标准。运营期生产设备产生的噪声通过厂房隔声、设备减振等降噪措施后，各厂界噪声均能够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准的要求，不会对周围区域的声环境质量产生不良影响，不会改变周围环境噪声现状。

4、固废

该项目运营期产生的固体废弃物均得到妥善处理，对周围环境影响较小，也不会产生二次污染。

5、地下水、土壤

该项目在建设过程中，应加强源头控制，采取分区防渗措施，将项目区域划分为重点防渗区、一般防渗区、简单防渗区。同时加强厂区内绿化管理，种植具有较强吸附能力的植物。综上，该项目不会对地下水和土壤造成影响。

6、环境风险

建设单位须采取必要的风险防范措施，加强项目风险管理，制定应急预案，并准备必要的防护物资，加强管理，可将事故发生概率和影响程度降至最低。

受理公示反馈情况：无意见

公示时间：2024年1月5日~2024年1月12日

公众反馈意见联系方式：0513-*

听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公告起五日内申请人、利害关系人可对上述拟作出建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。

(略) 如东经济开发区管理委员会

2024年1月5日