宁波比亚迪半导体离子注入机X射线装置应用项目浙江省宁波市北仑区北仑区庐山西路155号
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宁波比亚迪半导体离子注入机X射线装置应用项目浙江省宁波市北仑区北仑区庐山西路155号
填表日期：2024-02-26
| 宁波比亚迪半导体离子注入机X射线装置应用项目 | |||
| (略) 北仑区北仑区庐山西路155号 | 315 | ||
| 宁波 (略) | 陈刚 | ||
| 36834 | 20 | ||
| 2024-04-01 | |||
| 新建 | |||
| 宁波比亚迪半导体FABl车间新增15台离子注入机X射线装置项目 拟使用的15台离子注入机放置在宁波比亚迪半导体FAB车间前道工序离子注入区域 15台离子注入机情况如下 7 台Axcelis PurionM注入机的管电压900kv 管电流500ua ，用于前道工序芯片离子植入 6 台Applied VIISta-900-3D 注入机的管电压900kv 管电流1.5ma，用于前道工序芯片离子植入 2 台ulvac IH-860PSIC 注入机的管电压900kv 管电流1ma，用于前道工序芯片离子植入 | |||
填表日期：2024-02-26
| 宁波比亚迪半导体离子注入机X射线装置应用项目 | |||
| (略) 北仑区北仑区庐山西路155号 | 315 | ||
| 宁波 (略) | 陈刚 | ||
| 36834 | 20 | ||
| 2024-04-01 | |||
| 新建 | |||
| 宁波比亚迪半导体FABl车间新增15台离子注入机X射线装置项目 拟使用的15台离子注入机放置在宁波比亚迪半导体FAB车间前道工序离子注入区域 15台离子注入机情况如下 7 台Axcelis PurionM注入机的管电压900kv 管电流500ua ，用于前道工序芯片离子植入 6 台Applied VIISta-900-3D 注入机的管电压900kv 管电流1.5ma，用于前道工序芯片离子植入 2 台ulvac IH-860PSIC 注入机的管电压900kv 管电流1ma，用于前道工序芯片离子植入 | |||
| 环保措施: 一 辐射影响防治措施1源项控制：设备有较为完善的辐射防护措施，注入区域有铅板进行防护，并且注入区域的工作环境要求为真空状态，如出现漏缝，空气进入注入区，高能电子束无法开启，也不会伴随辐射产生。注入机通电运行时有联锁装置无法打开铅门，只有在断电后联锁装置才会释放才能打开防护门。机身前后四周及内部设有紧急停止按钮，异常情况下周围工作人员可立即切断电源。2距离防护： 离子注入区域X射线装置工作场所设置明显的电离辐射警示标志，设备上安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯及工作状态指示灯，告诫无关人员匆靠近此场所。射线装置操作区域与设备工作区隔离，防止无关人员进入。3屏蔽防护措施：注入机进行离子注入时芯片均在装置内部进行操作，主射线不朝向机门，设离子源部分，束线管道部分设有铅板防护，设备机身门板含有铅板进行屏蔽防护。二规范管理 1根据相关辐射安全管理规定，进行日常管理，并根据辐射事故应急预案组 (略) 设备维护保养和检修规范，由专职工程师定期保养维护和安全检查，有专职管理人员负责辐射安全管理4 防护用品和监测仪器：公司为50 名辐射工作人员配备50只个人剂量计，5 台辐射监测仪。5有辐射工作人员的职业安全档案，个人剂量贴每季度按时送检并建立个人剂量档案，辐射工作人员按照法规进 (略) 定期对全体辐射工作人员进行辐射安全和防护知识培训。三噪声影响本射线装置工作时将产生一定的噪声，其噪声值小于60db，经装置机壳及车间墙壁隔声，工作区域满足声环境要求 | |||
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