绵阳惠科光电科技有限公司清洁生产审核公示

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绵阳惠科光电科技有限公司清洁生产审核公示

根据《中华人民共和国清洁生产促进法》《清洁生产审核办法》相关规定,绵阳 (略) 拟开展自愿性清洁生产审核工作,按照《清洁生产审核办法》第十一条要求,现将绵阳 (略) 相关信息公示,接受公众监督。

1、企业名称

绵阳 (略)

2、法人代表

杭井强

3、企业所在地址

(略) 涪城区高端装备制造产业集中发展区(吴 (略) 1号)

4、使用有毒有害原料的名称、数量、用途

全厂达产状态(年投片量210K)有毒有害原料的使用情况如下表所示。

表1 使用有毒有害原料的名称、数量、用途

工艺类别

原辅材料

中文名称

主要化学成分及浓度

用途

单位

年消耗量(210K)

形态

阵列工程

铜靶材

Cu

PVD

kg

*

固体

MTD靶材

Mo:60%,Ti:20%,Ni:20%

PVD

kg

*

固体

MoNb靶材

Mo:90%、Nb:10%

PVD

Kg

634

固体

ITO靶材

氧化铟锡

PVD

kg

*

固体

IGZO靶材

铟镓锌氧化物

PVD

kg

9263

固体

银靶材

Ag

PVD

kg

172.8

固体

铜蚀刻液

过氧化氢:14~23%,硝酸:<5%,HF 0.1~0.3%

湿法蚀刻

kg

*

液体

MTD(钼、钛)蚀刻液

过氧化氢 12~18%、水 81~89%、HF 0.1~0.3%

湿法蚀刻

kg

*

液体

CuMoNb蚀刻液

过氧化氢7-10%,有机酸5-20%,水 60-80%

湿法蚀刻

L

*

液体

ITO刻蚀液

硝酸4-9%,硫酸0.1-7%

湿法蚀刻

L

*

液体

IGZO刻蚀液

草酸2%-4%

湿法蚀刻

L

*

液体

银蚀刻液

硝酸5-15%,*酸20-30%,有机酸20-25%,水20-40%

湿法蚀刻

L

96

液体

光刻胶

*二醇*醚醋酸酯 65~70%,二*二醇**醚5~10%,树脂及助剂≤20%

光刻

L

*

液体

PFA光阻

*酸-1-*氧基-2-*基酯65~75%,2-*基-2-*烯酸苯基*基酯与2-*基-2-*烯酸的聚合物10~20%,二甘醇*基*基醚5~10%,二苯基(2,4,6-三*基苯*酰基)氧化膦1~5%

光刻

L

*

液体

显影液

TMAH 25%, 水75%

光刻

L

*

液体

稀释剂

100%*二醇单*醚*酸酯PGMEA

光刻

kg

*

液体

光阻剥离剂(剥离液Stripper Cu)

N-*基*酰胺50~60%、二*二醇单*醚40~50%、Amine(胺)1~10%

剥离

L

*

液体

IGZO剥离液

二*二醇*醚:40-60%、有机醇胺:5-15%

剥离

L

*

液体

三氟化氮NF3

≥99.9%

CVD-腔体清洁

kg

*

气体

六氟化硫SF6

≥99.999%

干法蚀刻

kg

*

气体

CHF3

≥99.9%

IGZO-干法蚀刻

kg

4025

气体

CF4

≥99.9%

IGZO-干法蚀刻

kg

*

气体

硅烷SiH4

≥99.99%

CVD

kg

*

气体

氨气NH3

≥99.999%

CVD

kg

*

液化气

PH3/H2

磷化氢1%

CVD

NL

*

气体

氯气Cl2

≥99.0%

干法蚀刻

kg

*

气体

笑气N2O

≥99.999%

IGZO-CVD

kg

*

气体

彩膜工程

显影剂

KOH 4~5%,介面活性剂<15%

光刻

L

*

液体

ITO靶材(CF)

In2O3+10%SnO2

溅射沉积

ea

*

固体

稀释剂

*二醇*醚醋酸酯(PGMEA)100%

清边

L

*

液体

ITO剥离液

FeCl3 20~40%,HCl 8~14%,水>30%

重做

L

*

液体

RGB剥离液(CF Rework)

氢氧化钾10~15%,*醇胺10~15%,醇醚类溶剂20~30%,介面活性剂<5%,水<50%

重做

L

*

液体

COA Rework剥离液

TMAH:2~7%,有机碱5~10%,其他助剂

重做

L

*

液体

黑矩阵光阻胶(BMPR)

*烯酸树脂,炭黑、PGMEA:55~65%,EDM:15~25%

光刻

L

*

液体

红色光阻胶(RPR)

树脂,R颜料、PGMEA:65~70%,PGDA:5~10%,3-MBA:5~10%

光刻

L

*

液体

蓝色光阻胶(BPR)

树脂,B颜料、PGMEA:75~80%,PGDA: 1~5%

光刻

L

*

液体

绿色光阻胶(GPR)

树脂,G颜料PGMEA:70~75%,MEDG :9~15%

光刻

L

*

液体

PS光阻胶

*烯酸树脂、光引发剂、PGMEA 60~70%、EDM:5~10%

光刻

L

*

液体

OC光阻

*烯酸树脂、环氧树脂、3-*氧基*酸*酯 (MMP)65~75%、二*二醇**醚 (MEC)10~20%

光刻

L

*

液体

成盒工程

聚酰亚胺(PI )

*二醇*醚50~60%,NMP 40~50%,聚酰亚胺1~10%

PI涂覆

kg

*

液体

清洗剂(剥离液Stripper Cu)

N-*基*酰胺50~60%、二*二醇单*醚40~50%、Amine(胺)1~10%

清洗

L

*

液体

NMP

≥99.5%

PI重做

L

*

液体

*酮

≥99%

清洗

L

*

液体

液晶材料

ZAUType5069series

液晶滴注

kg

*

液体

IPA

100%IPA

清洗

L

*

液体

KR-40D(PI返工使用)

四*基氢氧化铵0.1~5%、KOH 0.1~5%、有机溶剂 40~60%,多元醇1~10%、胺20~30%

PI返工

L

*

液体

IC压著

导电银浆(Ag-paste) 溶剂挥发型

改性酚醛环氧树脂25-45%、银粉35-55%,三*胺1-3%、二*二醇*醚<0.5%

模组

g

*

将膏状

防湿绝缘胶(Tuffy) UV型

*烯酸低聚物45-55%、异冰片基*烯酸酯34-45%、月桂醇*烯酸脂1-10%、硅烷偶联剂1-10%、光敏剂1-10%

模组

L

1225

液体


5、排放有毒有害物质的名称、浓度和数量

2023年度废水排放的有毒有害物质情况如下表所示。

表 2-1 排放有毒有害物质的名称、浓度和数量(废水2023年度

废水排放口

污染物名称

浓度(mg/L)

排放量(t/a)

含氟废水排放口

化学需氧量

38-230

11.428

氨氮

0.491-26.3

1.157

氟化物

1.06-13.2

0.722

其他废水排放口

化学需氧量

33-204

421.51

氨氮

1.08-20.7

27.2

氟化物

0.58-1.46

4.71

0-0.88

0.799

0-0.06

0.0229

0.02

0.055

未检出

/

含铜废水处理设施出口

/

/

0-0.28


/

/

含银废水车间排口

未检出

/

合计外排量

化学需氧量

/

461.65

氨氮

/

28.35

氟化物

/

5.42

/

0.81

/

0.02

/

0.06

/

/


2023年度废气排放的有毒有害物质情况如下表所示。

表 2-2 排放有毒有害物质的名称、浓度和数量(废气2023年度

废气排放口

污染物名称

浓度范围(mg/m3

排放量(t/a)

有机废气排放口

非*烷总烃

3.45-51

28.08

二氧化硫

0-15

3.84

氮氧化物

0-16

12.18

剥离废气排放口

非*烷总烃

3.37-9.43

1.49

特殊废气排放口

氟化物

0.38-0.95

0.44

0.26-4.83

0.72

二氧化硫

0-6

0.43

氮氧化物

5-21

6.26

酸性废气排放口

氟化物

0.4-0.93

1.19

氯气

0.2-8.5

2.50

氯化氢

0.29-31.7

6.58

硫酸雾

0.26-3.37

1.21

二氧化硫

0-7

0.73

氮氧化物

3-8

7.51

碱性废气排放口

0.29-4.19

0.55

锅炉烟气排放口

二氧化硫

0

0.00

氮氧化物

12-50

0.49

污水处理无机废气排放口

氟化物

0.46-0.96

0.29

氯化氢

0.31-18.3

2.92

污水处理恶臭废气排放口

0.29-1.13

0.41

硫化氢

0.013-0.07

0.05

非*烷总烃

4.04-40.3

5.28

合计外排量

非*烷总烃

/

34.85

氟化物

/

1.92

氯气

/

2.50

氯化氢

/

9.50

硫酸雾

/

1.21

二氧化硫

/

4.99

氮氧化物

/

26.45

/

1.68

硫化氢

/

0.05


6、危险废物的产生和处置情况

2023年度危险废物产生处置情况如下表所示,全厂危险废物均委托有资质单位处置。为确保项目危险废物及时转移处置,公司针对大宗危险废物签订两家接收处置单位,分为第一中标人和第二中标人,当危险废物在转运周期内第一中标人无剩余处理能力时由第二中标人接收处置该类危险废物。

表 3 危险废物的产生和处置情况2023年度

序号

危险废物名称

危险废物代码

产生量(t/a)

第一中标人

第二中标人

1

沾染化学品包装桶

900-041-49

81.04

四川格润 (略)

四川 (略)

2

沾染化学品废弃物(无尘布、滤芯)

900-041-49

110.55

四川格润 (略)

/

3

溶剂精馏残渣

900-407-06

79.68

四川九洲 (略)

四川格润 (略)

4

废机油等含油废物

900-249-08

3.03

四川 (略)

四川格润 (略)

5

含铜污泥

398-051-22

1449.52

湖北中 (略)

(略)

6

Cu stripper 废液(异常液)

900-404-06

386.7

四川九洲 (略)

(略)

8

0xide stripper 废液(异常液)

900-404-06

79.11

四川九洲 (略)

(略)

9

CF-Rework 废液

900-404-06

322.63

四川九洲 (略)

(略)

10

IPA 废液

900-402-06

2811.89

四川九洲 (略)

(略)

11

杂排放液

900-404-06

492.19

四川九洲 (略)

(略)

12

PGMEA废液

900-404-06

954.88

四川九洲 (略)

(略)

13

NMP 废液

900-404-06

95.55

(略)

/

14

ITO蚀刻废液(银)

398-007-34

4.08

四川 (略)

陕西 (略)

15

PCB电子废弃物

900-045-49

1.94

蚌埠亿钢 (略)

四川 (略)

16

含汞灯管

900-023-29

1.1

四川 (略)

(略) 环境资源开发〈自贡)有限公司

17

CVD粉尘

900-041-49

410.76

(略)

江油 (略)

18

实验室废液

900-047-49

0.18

江油 (略)

四川 (略)


7、依法落实环境风险防控措施情况

绵阳 (略) 针对绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210k技改扩能项目修订了《企业突发生态环境事件应急预案》, (略) 生态环境局进行了备案,备案风险级别为较大环境风险([较大-大气(Q2-M1-E1)+较大-水(Q2-M1-E1)]),备案号:*-2022-119-M,绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210k技改扩能项目于2023年12月已完成环保设施竣工验收,企业依法落实了环境风险防控措施。

,绵阳

根据《中华人民共和国清洁生产促进法》《清洁生产审核办法》相关规定,绵阳 (略) 拟开展自愿性清洁生产审核工作,按照《清洁生产审核办法》第十一条要求,现将绵阳 (略) 相关信息公示,接受公众监督。

1、企业名称

绵阳 (略)

2、法人代表

杭井强

3、企业所在地址

(略) 涪城区高端装备制造产业集中发展区(吴 (略) 1号)

4、使用有毒有害原料的名称、数量、用途

全厂达产状态(年投片量210K)有毒有害原料的使用情况如下表所示。

表1 使用有毒有害原料的名称、数量、用途

工艺类别

原辅材料

中文名称

主要化学成分及浓度

用途

单位

年消耗量(210K)

形态

阵列工程

铜靶材

Cu

PVD

kg

*

固体

MTD靶材

Mo:60%,Ti:20%,Ni:20%

PVD

kg

*

固体

MoNb靶材

Mo:90%、Nb:10%

PVD

Kg

634

固体

ITO靶材

氧化铟锡

PVD

kg

*

固体

IGZO靶材

铟镓锌氧化物

PVD

kg

9263

固体

银靶材

Ag

PVD

kg

172.8

固体

铜蚀刻液

过氧化氢:14~23%,硝酸:<5%,HF 0.1~0.3%

湿法蚀刻

kg

*

液体

MTD(钼、钛)蚀刻液

过氧化氢 12~18%、水 81~89%、HF 0.1~0.3%

湿法蚀刻

kg

*

液体

CuMoNb蚀刻液

过氧化氢7-10%,有机酸5-20%,水 60-80%

湿法蚀刻

L

*

液体

ITO刻蚀液

硝酸4-9%,硫酸0.1-7%

湿法蚀刻

L

*

液体

IGZO刻蚀液

草酸2%-4%

湿法蚀刻

L

*

液体

银蚀刻液

硝酸5-15%,*酸20-30%,有机酸20-25%,水20-40%

湿法蚀刻

L

96

液体

光刻胶

*二醇*醚醋酸酯 65~70%,二*二醇**醚5~10%,树脂及助剂≤20%

光刻

L

*

液体

PFA光阻

*酸-1-*氧基-2-*基酯65~75%,2-*基-2-*烯酸苯基*基酯与2-*基-2-*烯酸的聚合物10~20%,二甘醇*基*基醚5~10%,二苯基(2,4,6-三*基苯*酰基)氧化膦1~5%

光刻

L

*

液体

显影液

TMAH 25%, 水75%

光刻

L

*

液体

稀释剂

100%*二醇单*醚*酸酯PGMEA

光刻

kg

*

液体

光阻剥离剂(剥离液Stripper Cu)

N-*基*酰胺50~60%、二*二醇单*醚40~50%、Amine(胺)1~10%

剥离

L

*

液体

IGZO剥离液

二*二醇*醚:40-60%、有机醇胺:5-15%

剥离

L

*

液体

三氟化氮NF3

≥99.9%

CVD-腔体清洁

kg

*

气体

六氟化硫SF6

≥99.999%

干法蚀刻

kg

*

气体

CHF3

≥99.9%

IGZO-干法蚀刻

kg

4025

气体

CF4

≥99.9%

IGZO-干法蚀刻

kg

*

气体

硅烷SiH4

≥99.99%

CVD

kg

*

气体

氨气NH3

≥99.999%

CVD

kg

*

液化气

PH3/H2

磷化氢1%

CVD

NL

*

气体

氯气Cl2

≥99.0%

干法蚀刻

kg

*

气体

笑气N2O

≥99.999%

IGZO-CVD

kg

*

气体

彩膜工程

显影剂

KOH 4~5%,介面活性剂<15%

光刻

L

*

液体

ITO靶材(CF)

In2O3+10%SnO2

溅射沉积

ea

*

固体

稀释剂

*二醇*醚醋酸酯(PGMEA)100%

清边

L

*

液体

ITO剥离液

FeCl3 20~40%,HCl 8~14%,水>30%

重做

L

*

液体

RGB剥离液(CF Rework)

氢氧化钾10~15%,*醇胺10~15%,醇醚类溶剂20~30%,介面活性剂<5%,水<50%

重做

L

*

液体

COA Rework剥离液

TMAH:2~7%,有机碱5~10%,其他助剂

重做

L

*

液体

黑矩阵光阻胶(BMPR)

*烯酸树脂,炭黑、PGMEA:55~65%,EDM:15~25%

光刻

L

*

液体

红色光阻胶(RPR)

树脂,R颜料、PGMEA:65~70%,PGDA:5~10%,3-MBA:5~10%

光刻

L

*

液体

蓝色光阻胶(BPR)

树脂,B颜料、PGMEA:75~80%,PGDA: 1~5%

光刻

L

*

液体

绿色光阻胶(GPR)

树脂,G颜料PGMEA:70~75%,MEDG :9~15%

光刻

L

*

液体

PS光阻胶

*烯酸树脂、光引发剂、PGMEA 60~70%、EDM:5~10%

光刻

L

*

液体

OC光阻

*烯酸树脂、环氧树脂、3-*氧基*酸*酯 (MMP)65~75%、二*二醇**醚 (MEC)10~20%

光刻

L

*

液体

成盒工程

聚酰亚胺(PI )

*二醇*醚50~60%,NMP 40~50%,聚酰亚胺1~10%

PI涂覆

kg

*

液体

清洗剂(剥离液Stripper Cu)

N-*基*酰胺50~60%、二*二醇单*醚40~50%、Amine(胺)1~10%

清洗

L

*

液体

NMP

≥99.5%

PI重做

L

*

液体

*酮

≥99%

清洗

L

*

液体

液晶材料

ZAUType5069series

液晶滴注

kg

*

液体

IPA

100%IPA

清洗

L

*

液体

KR-40D(PI返工使用)

四*基氢氧化铵0.1~5%、KOH 0.1~5%、有机溶剂 40~60%,多元醇1~10%、胺20~30%

PI返工

L

*

液体

IC压著

导电银浆(Ag-paste) 溶剂挥发型

改性酚醛环氧树脂25-45%、银粉35-55%,三*胺1-3%、二*二醇*醚<0.5%

模组

g

*

将膏状

防湿绝缘胶(Tuffy) UV型

*烯酸低聚物45-55%、异冰片基*烯酸酯34-45%、月桂醇*烯酸脂1-10%、硅烷偶联剂1-10%、光敏剂1-10%

模组

L

1225

液体


5、排放有毒有害物质的名称、浓度和数量

2023年度废水排放的有毒有害物质情况如下表所示。

表 2-1 排放有毒有害物质的名称、浓度和数量(废水2023年度

废水排放口

污染物名称

浓度(mg/L)

排放量(t/a)

含氟废水排放口

化学需氧量

38-230

11.428

氨氮

0.491-26.3

1.157

氟化物

1.06-13.2

0.722

其他废水排放口

化学需氧量

33-204

421.51

氨氮

1.08-20.7

27.2

氟化物

0.58-1.46

4.71

0-0.88

0.799

0-0.06

0.0229

0.02

0.055

未检出

/

含铜废水处理设施出口

/

/

0-0.28


/

/

含银废水车间排口

未检出

/

合计外排量

化学需氧量

/

461.65

氨氮

/

28.35

氟化物

/

5.42

/

0.81

/

0.02

/

0.06

/

/


2023年度废气排放的有毒有害物质情况如下表所示。

表 2-2 排放有毒有害物质的名称、浓度和数量(废气2023年度

废气排放口

污染物名称

浓度范围(mg/m3

排放量(t/a)

有机废气排放口

非*烷总烃

3.45-51

28.08

二氧化硫

0-15

3.84

氮氧化物

0-16

12.18

剥离废气排放口

非*烷总烃

3.37-9.43

1.49

特殊废气排放口

氟化物

0.38-0.95

0.44

0.26-4.83

0.72

二氧化硫

0-6

0.43

氮氧化物

5-21

6.26

酸性废气排放口

氟化物

0.4-0.93

1.19

氯气

0.2-8.5

2.50

氯化氢

0.29-31.7

6.58

硫酸雾

0.26-3.37

1.21

二氧化硫

0-7

0.73

氮氧化物

3-8

7.51

碱性废气排放口

0.29-4.19

0.55

锅炉烟气排放口

二氧化硫

0

0.00

氮氧化物

12-50

0.49

污水处理无机废气排放口

氟化物

0.46-0.96

0.29

氯化氢

0.31-18.3

2.92

污水处理恶臭废气排放口

0.29-1.13

0.41

硫化氢

0.013-0.07

0.05

非*烷总烃

4.04-40.3

5.28

合计外排量

非*烷总烃

/

34.85

氟化物

/

1.92

氯气

/

2.50

氯化氢

/

9.50

硫酸雾

/

1.21

二氧化硫

/

4.99

氮氧化物

/

26.45

/

1.68

硫化氢

/

0.05


6、危险废物的产生和处置情况

2023年度危险废物产生处置情况如下表所示,全厂危险废物均委托有资质单位处置。为确保项目危险废物及时转移处置,公司针对大宗危险废物签订两家接收处置单位,分为第一中标人和第二中标人,当危险废物在转运周期内第一中标人无剩余处理能力时由第二中标人接收处置该类危险废物。

表 3 危险废物的产生和处置情况2023年度

序号

危险废物名称

危险废物代码

产生量(t/a)

第一中标人

第二中标人

1

沾染化学品包装桶

900-041-49

81.04

四川格润 (略)

四川 (略)

2

沾染化学品废弃物(无尘布、滤芯)

900-041-49

110.55

四川格润 (略)

/

3

溶剂精馏残渣

900-407-06

79.68

四川九洲 (略)

四川格润 (略)

4

废机油等含油废物

900-249-08

3.03

四川 (略)

四川格润 (略)

5

含铜污泥

398-051-22

1449.52

湖北中 (略)

(略)

6

Cu stripper 废液(异常液)

900-404-06

386.7

四川九洲 (略)

(略)

8

0xide stripper 废液(异常液)

900-404-06

79.11

四川九洲 (略)

(略)

9

CF-Rework 废液

900-404-06

322.63

四川九洲 (略)

(略)

10

IPA 废液

900-402-06

2811.89

四川九洲 (略)

(略)

11

杂排放液

900-404-06

492.19

四川九洲 (略)

(略)

12

PGMEA废液

900-404-06

954.88

四川九洲 (略)

(略)

13

NMP 废液

900-404-06

95.55

(略)

/

14

ITO蚀刻废液(银)

398-007-34

4.08

四川 (略)

陕西 (略)

15

PCB电子废弃物

900-045-49

1.94

蚌埠亿钢 (略)

四川 (略)

16

含汞灯管

900-023-29

1.1

四川 (略)

(略) 环境资源开发〈自贡)有限公司

17

CVD粉尘

900-041-49

410.76

(略)

江油 (略)

18

实验室废液

900-047-49

0.18

江油 (略)

四川 (略)


7、依法落实环境风险防控措施情况

绵阳 (略) 针对绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210k技改扩能项目修订了《企业突发生态环境事件应急预案》, (略) 生态环境局进行了备案,备案风险级别为较大环境风险([较大-大气(Q2-M1-E1)+较大-水(Q2-M1-E1)]),备案号:*-2022-119-M,绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210k技改扩能项目于2023年12月已完成环保设施竣工验收,企业依法落实了环境风险防控措施。

,绵阳
    
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