序号

项目名称

建设地点

建设单位

环评机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

公众反馈意见的联系方式

1

高端光芯片晶圆和光器件研发及产业化项目

(略) 新吴区梅村 (略) 135号

拓易（无锡） (略)

橙志（上海） (略)

拓易（无锡） (略) 由海外顶级芯片专家于2022年12月发起并创立，本项目将基于垂直整合制造模式进行高端芯片研发和量产。拓易（无锡） (略) 投资*万元人民币，租用 (略) (略) 新吴区梅村 (略) 135号标准厂房*m2，建设高端光芯片晶圆和光器件研发及产业化项目，项目致力于3、4英寸晶圆量产的同时，通过调整、验证关键工艺参数，研发制备可靠性更高、功耗更低、良率更高的激光器芯片，实现“研发-验证-量产-再研发-再验证-量产”核心技术闭环升级，从而保证光芯片晶圆处于国际领先水平。

废气：本项目有机废气、污水处理站恶臭采用二级活性炭吸附装置处理后，由25m高排气筒FQ-01排放；碱法刻蚀、湿法腐蚀产生的酸碱废气单独经设备配套的POU净化装置（水洗）处理，介质膜刻蚀、介质膜沉积1、干法刻蚀工艺尾气单独经设备配套的POU净化装置（高温水洗）处理，上述废气经相应设施处理后，接至酸性废气处理系统进一步处理，由25m高排气筒FQ-02排放；外延片生长工艺尾气单独经设备配套的POU净化装置（二级干式吸附）处理，由25m高排气筒FQ-02排放。氟化物、氯化氢、氯气、氨、异*醇、TVOC、非*烷总烃、硫酸雾、氮氧化物、砷化氢、磷化氢排放浓度均满足江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3的标准；二氧化硫排放浓度、排放速率均满足江苏省《大气污染物综合排放标准》 （DB32/4041-2021）表1的标准；污水处理站的硫化氢排放速率满足《恶臭污染物排放标准》（GB *-93）表2排放限值。厂界浓度氨、非*烷总烃达到江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表4的标准，硫化氢达到《恶臭污染物排放标准》（GB *-93）表1的标准。厂区内浓度执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（*）表A.1中特别排放限值要求。废水：本项目含氮、磷生产废水经污水处理站处理后由WS-002排放口接管梅村水处理厂；生活污水经化粪池预处理后和反冲洗废水、工艺冷却废水、设备冷却废水、初期雨水一起由WS-001排放口接管梅村水处理厂。接管水质均达到江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表1中间接排放限值要求；含砷废水经含砷废水处理系统处理后回用于冷水机组，RO浓水回用于冷却塔，空调冷凝水回用于冲厕。噪声：选用低噪声设备，合理布局并采取有效的减振、隔声、消声等降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）3类排放标准；固废：按“减量化、资源化、无害化”的处置原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施，固体废物零排放。一般废物综合利用处置；生活垃圾委托环卫部门处理；危险废物须委托有资质单位处置。

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1

高端光芯片晶圆和光器件研发及产业化项目

(略) 新吴区梅村 (略) 135号

拓易（无锡） (略)

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拓易（无锡） (略) 由海外顶级芯片专家于2022年12月发起并创立，本项目将基于垂直整合制造模式进行高端芯片研发和量产。拓易（无锡） (略) 投资*万元人民币，租用 (略) (略) 新吴区梅村 (略) 135号标准厂房*m2，建设高端光芯片晶圆和光器件研发及产业化项目，项目致力于3、4英寸晶圆量产的同时，通过调整、验证关键工艺参数，研发制备可靠性更高、功耗更低、良率更高的激光器芯片，实现“研发-验证-量产-再研发-再验证-量产”核心技术闭环升级，从而保证光芯片晶圆处于国际领先水平。

废气：本项目有机废气、污水处理站恶臭采用二级活性炭吸附装置处理后，由25m高排气筒FQ-01排放；碱法刻蚀、湿法腐蚀产生的酸碱废气单独经设备配套的POU净化装置（水洗）处理，介质膜刻蚀、介质膜沉积1、干法刻蚀工艺尾气单独经设备配套的POU净化装置（高温水洗）处理，上述废气经相应设施处理后，接至酸性废气处理系统进一步处理，由25m高排气筒FQ-02排放；外延片生长工艺尾气单独经设备配套的POU净化装置（二级干式吸附）处理，由25m高排气筒FQ-02排放。氟化物、氯化氢、氯气、氨、异*醇、TVOC、非*烷总烃、硫酸雾、氮氧化物、砷化氢、磷化氢排放浓度均满足江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3的标准；二氧化硫排放浓度、排放速率均满足江苏省《大气污染物综合排放标准》 （DB32/4041-2021）表1的标准；污水处理站的硫化氢排放速率满足《恶臭污染物排放标准》（GB *-93）表2排放限值。厂界浓度氨、非*烷总烃达到江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表4的标准，硫化氢达到《恶臭污染物排放标准》（GB *-93）表1的标准。厂区内浓度执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（*）表A.1中特别排放限值要求。废水：本项目含氮、磷生产废水经污水处理站处理后由WS-002排放口接管梅村水处理厂；生活污水经化粪池预处理后和反冲洗废水、工艺冷却废水、设备冷却废水、初期雨水一起由WS-001排放口接管梅村水处理厂。接管水质均达到江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表1中间接排放限值要求；含砷废水经含砷废水处理系统处理后回用于冷水机组，RO浓水回用于冷却塔，空调冷凝水回用于冲厕。噪声：选用低噪声设备，合理布局并采取有效的减振、隔声、消声等降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）3类排放标准；固废：按“减量化、资源化、无害化”的处置原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施，固体废物零排放。一般废物综合利用处置；生活垃圾委托环卫部门处理；危险废物须委托有资质单位处置。

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