序号

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1

半导体光罩产业项目

(略) 柯桥区钱清街道钱清村

兴华芯（绍兴） (略)

新建厂房，购置曝光机、烘烤机、蚀刻机、显影机、光阻涂布机、清洗机等设备，实施半导体光罩产业项目。

/

企业承诺按环评落实环保治理措施

1、废水：项目运营期废水主要为显影及清洗废水、湿式蚀刻及清洗废水、干式蚀刻预处理废水、光阻剥离废水、光阻剥离后清洗废水、光阻涂布前清洗废水、修补检查后清洗废水、废气喷淋塔排污、超纯水系统产生的浓排水、循环冷却水系统排污、员工生活污水等。项目含铬废水单独收集处理达标后，与其他废水经厂区内污水处理系统处理达标后纳管。

2、废气：项目工艺废气主要为干式蚀刻、光阻剥离后清洗、修补检查后清洗等工序产生的酸性废气，碱性废气、光阻涂布、烘干、修补检查工序产生的有机废气、燃气锅炉烟气、污水站臭气等。酸性废气采用2套碱喷淋塔进行处理（一用一备）达标后排气筒高空排放；碱性废气采用2套酸喷淋塔进行处理（一用一备）达标后排气筒高空排放；有机废气收集后通过活性炭吸附装置处理达标后排气筒高空排放；燃气锅炉废气收集后通过排气筒高空达标排放；对污水站易产生臭气的单元进行加盖，污水站废气收集后经“次氯酸钠喷淋+碱液喷淋”废气处理装置处理达标后排气筒高空排放。

3、噪声：厂区合理布局，落实相应的隔声降噪措施，确保项目所在地四面厂界外排噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）中的3类标准。

4、固废：废光阻液、沾染化学品的包装桶、无尘布、手套、机台滤芯，废活性炭、污水池清理污泥、废机械润滑油等危废经收集后委托有资质单位处理；不合格产品、废膜、废一般包装材料、纯水制备废过滤介质为一般固废，经 (略) 回收综合利用；生活垃圾由环卫部门统一收集后统一处置。

序号

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1

半导体光罩产业项目

(略) 柯桥区钱清街道钱清村

兴华芯（绍兴） (略)

新建厂房，购置曝光机、烘烤机、蚀刻机、显影机、光阻涂布机、清洗机等设备，实施半导体光罩产业项目。

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企业承诺按环评落实环保治理措施

1、废水：项目运营期废水主要为显影及清洗废水、湿式蚀刻及清洗废水、干式蚀刻预处理废水、光阻剥离废水、光阻剥离后清洗废水、光阻涂布前清洗废水、修补检查后清洗废水、废气喷淋塔排污、超纯水系统产生的浓排水、循环冷却水系统排污、员工生活污水等。项目含铬废水单独收集处理达标后，与其他废水经厂区内污水处理系统处理达标后纳管。

2、废气：项目工艺废气主要为干式蚀刻、光阻剥离后清洗、修补检查后清洗等工序产生的酸性废气，碱性废气、光阻涂布、烘干、修补检查工序产生的有机废气、燃气锅炉烟气、污水站臭气等。酸性废气采用2套碱喷淋塔进行处理（一用一备）达标后排气筒高空排放；碱性废气采用2套酸喷淋塔进行处理（一用一备）达标后排气筒高空排放；有机废气收集后通过活性炭吸附装置处理达标后排气筒高空排放；燃气锅炉废气收集后通过排气筒高空达标排放；对污水站易产生臭气的单元进行加盖，污水站废气收集后经“次氯酸钠喷淋+碱液喷淋”废气处理装置处理达标后排气筒高空排放。

3、噪声：厂区合理布局，落实相应的隔声降噪措施，确保项目所在地四面厂界外排噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）中的3类标准。

4、固废：废光阻液、沾染化学品的包装桶、无尘布、手套、机台滤芯，废活性炭、污水池清理污泥、废机械润滑油等危废经收集后委托有资质单位处理；不合格产品、废膜、废一般包装材料、纯水制备废过滤介质为一般固废，经 (略) 回收综合利用；生活垃圾由环卫部门统一收集后统一处置。