D栋晶圆制备废气处理设施改扩建项目江苏省苏州市张家港市保税区广东路7号
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D栋晶圆制备废气处理设施改扩建项目江苏省苏州市张家港市保税区广东路7号
填表日期：2024-04-07
| D栋晶圆制备废气处理设施改扩建项目 | |||
| (略) (略) 保 (略) 7号 | 50 | ||
| (略) | 薛松生 | ||
| 50 | 50 | ||
| 2024-04-08 | |||
| 改建 | |||
| 因现有生产车间场地限制，将晶圆制备部分设备搬迁至D栋厂房一层，涉及到设备包括氧化炉、真空溅射镀膜机、激光打标机、匀胶显影机、光刻机（曝光）、光刻胶灰化机、去胶剂机、剥离机、等离子体刻蚀机（具有刻蚀和去胶功能）、化学气相沉积、电镀机、湿法刻蚀机、CMP抛光机、激光退火炉、退火炉、AOI测试仪、芯片特性测试仪等。D栋的晶圆制备废气涉及两套废气处理设备，有机废气是依托封 (略) 活性炭吸附装备处理后经19米高排气筒排放，刻蚀段废气经等离子燃烧后进入碱喷淋设备处理后经过25米排气筒排放。 | |||
填表日期：2024-04-07
| D栋晶圆制备废气处理设施改扩建项目 | |||
| (略) (略) 保 (略) 7号 | 50 | ||
| (略) | 薛松生 | ||
| 50 | 50 | ||
| 2024-04-08 | |||
| 改建 | |||
| 因现有生产车间场地限制，将晶圆制备部分设备搬迁至D栋厂房一层，涉及到设备包括氧化炉、真空溅射镀膜机、激光打标机、匀胶显影机、光刻机（曝光）、光刻胶灰化机、去胶剂机、剥离机、等离子体刻蚀机（具有刻蚀和去胶功能）、化学气相沉积、电镀机、湿法刻蚀机、CMP抛光机、激光退火炉、退火炉、AOI测试仪、芯片特性测试仪等。D栋的晶圆制备废气涉及两套废气处理设备，有机废气是依托封 (略) 活性炭吸附装备处理后经19米高排气筒排放，刻蚀段废气经等离子燃烧后进入碱喷淋设备处理后经过25米排气筒排放。 | |||
| 有环保措施: 有机废气 (略) 活性炭措施后通过19米高排气筒排放至大气 有环保措施: 刻蚀段废气采取等离子燃烧后进入碱喷淋措施后通过25米高排气筒排放至大气 | |||
| 环保措施: (略) 、废活性炭等危废委托有资质单位处置 | |||
| 有环保措施: 合理布局，隔声降噪 | |||
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