国产半导体附属设备研发及核心部件智能生产项目上海市直辖市崇明县上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄23号楼
国产半导体附属设备研发及核心部件智能生产项目上海市直辖市崇明县上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄23号楼
填表日期:2024-04-12
国产半导体附属设备研发及核心部件智能生产项目 | |||
(略) (略) 崇明区长兴镇江南大道1333弄23号楼 | 2000 | ||
上海 (略) | 陈亮 | ||
1500 | 30 | ||
2024-04-12 | |||
新建 | |||
以自主研发关键设备及配套零部件为核心,在目前的技术基础上,集合研发层、产业层,服务层、针对不同的半导体主设备工艺要求,开发配套附属设备。从原有的CVD,PVD扩展到ETCH,PLASMA,ETCH等。 项目将设立4个研究实验室,铺设7套生产线。配备先进的测试/生产设备,来完善产品的研发与制造,做到真正意义上的国产设备,实现关键技术本土化。 | |||
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填表日期:2024-04-12
国产半导体附属设备研发及核心部件智能生产项目 | |||
(略) (略) 崇明区长兴镇江南大道1333弄23号楼 | (平方米) | 2000 | |
上海 (略) | 陈亮 | ||
1500 | 30 | ||
2024-04-12 | |||
新建 | |||
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以自主研发关键设备及配套零部件为核心,在目前的技术基础上,集合研发层、产业层,服务层、针对不同的半导体主设备工艺要求,开发配套附属设备。从原有的CVD,PVD扩展到ETCH,PLASMA,ETCH等。 项目将设立4个研究实验室,铺设7套生产线。配备先进的测试/生产设备,来完善产品的研发与制造,做到真正意义上的国产设备,实现关键技术本土化。 | |||
环保措施: 单独存放在指定地点,并定期处理,提高固废的回收利用率,实现资源循环利用。 | |||
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