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上海新进半导体制造有限公司内置电离辐射装置的离子注入机安装项目上海市直辖市徐汇区宜山路800号

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上海新进半导体制造有限公司内置电离辐射装置的离子注入机安装项目上海市直辖市徐汇区宜山路800号

建设项目环境影响登记表

填表日期：2024-04-22

项目名称	上海新 (略) 内置电离辐射装置的离子注入机安装项目
建设地点	(略) 徐 (略) 800号	建筑面积（平方米）	7000
建设单位	上海新 (略)	法定代表人	沈金龙
项目投资(万元)	2551	环保投资(万元)	50
拟投入生产运营日期	2024-05-09
建设性质	新建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	该项目为 11台内置X射线装置的离子注入机安装项目，芯片制造过程的离子注入工艺，需要离子注入机。离子注入工艺，高压时段，短时间会产生电离辐射。11台注入机，分别布置在洁净厂房的一楼和三楼，其中，一楼布置了8台，三楼布置了3台。离子注入机配备了铅板防护装置，有严格的防护措施和安全操作规范。操作维修人员和管理人员，都经过专业的安全培训和考核，操作人员，定期进行职业健康检测，机台和周围辐射状况，安排了定期的专业第三方检测。现场也配备了2台手持式辐射报警仪，对机台周围环境，进行检测和报警。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向






	环保措施: 离子注入机配备了铅板防护装置，有严格的防护措施和安全操作规范。操作维修人员和管理人员，都经过专业的安全培训和考核，操作人员，定期进行职业健康检测，机台和周围辐射状况，安排了定期的专业第三方检测。现场也配备了2台手持式辐射报警仪，对机台周围环境，进行检测和报警。
??承诺：上海新 (略) 沈金龙承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由上海新 (略) ，沈金龙承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：*295。

建设项目环境影响登记表

填表日期：2024-04-22

项目名称	上海新 (略) 内置电离辐射装置的离子注入机安装项目
建设地点	(略) 徐 (略) 800号	建筑面积（平方米）	7000
建设单位	上海新 (略)	法定代表人	沈金龙
项目投资(万元)	2551	环保投资(万元)	50
拟投入生产运营日期	2024-05-09
建设性质	新建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	该项目为 11台内置X射线装置的离子注入机安装项目，芯片制造过程的离子注入工艺，需要离子注入机。离子注入工艺，高压时段，短时间会产生电离辐射。11台注入机，分别布置在洁净厂房的一楼和三楼，其中，一楼布置了8台，三楼布置了3台。离子注入机配备了铅板防护装置，有严格的防护措施和安全操作规范。操作维修人员和管理人员，都经过专业的安全培训和考核，操作人员，定期进行职业健康检测，机台和周围辐射状况，安排了定期的专业第三方检测。现场也配备了2台手持式辐射报警仪，对机台周围环境，进行检测和报警。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向






	环保措施: 离子注入机配备了铅板防护装置，有严格的防护措施和安全操作规范。操作维修人员和管理人员，都经过专业的安全培训和考核，操作人员，定期进行职业健康检测，机台和周围辐射状况，安排了定期的专业第三方检测。现场也配备了2台手持式辐射报警仪，对机台周围环境，进行检测和报警。
??承诺：上海新 (略) 沈金龙承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由上海新 (略) ，沈金龙承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：*295。

, (略) ,徐汇区,上海

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内置电离辐射装置

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