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上海先进半导体制造有限公司射线装置上海市直辖市徐汇区虹漕路385号

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上海先进半导体制造有限公司射线装置上海市直辖市徐汇区虹漕路385号

建设项目环境影响登记表

填表日期：2024-04-25

项目名称	上海先 (略) 射线装置
建设地点	(略) 徐 (略) 385号	占地面积（平方米）	*
建设单位	上海先进半 (略)	法定代表人	陈·勇
项目投资(万元)	5000	环保投资(万元)	5000
拟投入生产运营日期	2024-05-06
建设性质	新建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	本项目拟建设30台射线装置，现已建设28台： 1、FAB2净化车间已建设15台离子注入机，其中7台型号9500，管电压200KV，管电流10mA；2台型号9500XR，管电压200KV，管电流10mA；2台型E500,其中1台管电压250KV，管电流2mA，另1台管电压200KV，管电流2mA；1台型号6200A，管电压200KV，管电流1.5mA；2台型号NV-10-80，管电压80KV，管电流4mA；1台型号SOPHI-260，管电压35-260KV，管电流1.9mA。 2、FAB3净化车间已建设11台离子注入机和1台薄膜测量仪，其中离子注入机1台型号PI9500RX，管电压200KV，管电流10mA；1台型号GSD100，管电压180KV，管电流10mA；4台型号GSD200E2，管电压180KV，管电流20mA；3台型号E500，管电压250KV，管电流2mA；1台型号900XP，管电压300KV，管电流3mA；1台型号VHE，管电压1400KV，管电流1mA；薄膜测量仪1台型号3640，管电压40KV，管电流70MA。 3、质量部实验室已建设1台扫描电子显微镜，型号S-4800，管电压1-30KV，管电流10nA。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向






	环保措施: 一、污染防治措施1、警示标识：在射线装置使用场所设置明显的电离辐射警告标志，并用中文注明“当心电离辐射”；2、防护用品和监测仪器：公司为30名辐射工作人员配备30只个人剂量计，2台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理；2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、放射性同位素使用登记制度、人员培训计划、监测方案；3、辐射事故应急措施；4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案；5、30人参加辐射安全和防护知识培训。
??承诺：上海先进半 (略) 陈·勇承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由上海先进半 (略) ，陈·勇承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：*299。

建设项目环境影响登记表

填表日期：2024-04-25

项目名称	上海先 (略) 射线装置
建设地点	(略) 徐 (略) 385号	占地面积（平方米）	*
建设单位	上海先进半 (略)	法定代表人	陈·勇
项目投资(万元)	5000	环保投资(万元)	5000
拟投入生产运营日期	2024-05-06
建设性质	新建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	本项目拟建设30台射线装置，现已建设28台： 1、FAB2净化车间已建设15台离子注入机，其中7台型号9500，管电压200KV，管电流10mA；2台型号9500XR，管电压200KV，管电流10mA；2台型E500,其中1台管电压250KV，管电流2mA，另1台管电压200KV，管电流2mA；1台型号6200A，管电压200KV，管电流1.5mA；2台型号NV-10-80，管电压80KV，管电流4mA；1台型号SOPHI-260，管电压35-260KV，管电流1.9mA。 2、FAB3净化车间已建设11台离子注入机和1台薄膜测量仪，其中离子注入机1台型号PI9500RX，管电压200KV，管电流10mA；1台型号GSD100，管电压180KV，管电流10mA；4台型号GSD200E2，管电压180KV，管电流20mA；3台型号E500，管电压250KV，管电流2mA；1台型号900XP，管电压300KV，管电流3mA；1台型号VHE，管电压1400KV，管电流1mA；薄膜测量仪1台型号3640，管电压40KV，管电流70MA。 3、质量部实验室已建设1台扫描电子显微镜，型号S-4800，管电压1-30KV，管电流10nA。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向






	环保措施: 一、污染防治措施1、警示标识：在射线装置使用场所设置明显的电离辐射警告标志，并用中文注明“当心电离辐射”；2、防护用品和监测仪器：公司为30名辐射工作人员配备30只个人剂量计，2台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理；2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、放射性同位素使用登记制度、人员培训计划、监测方案；3、辐射事故应急措施；4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案；5、30人参加辐射安全和防护知识培训。
??承诺：上海先进半 (略) 陈·勇承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由上海先进半 (略) ，陈·勇承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：*299。

, (略) ,徐汇区,上海

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