拟批准环境评价报告书的项目

项目名称：

年产*片射频微波光通化合物半导体外延片项目

建设地点：

安徽巢湖经济开发区

建设单位：

合 (略)

环境影响评价机构：

安徽 (略)

公示时间：

2024年04月26日

项目概况：

新增生产设备及配套附属设施，主要建设年产*片射频微波光通化合物半导体外延片生产线

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

（一）严格按照雨污分流、分类收集、分质处理的原则，完善截排水系统，对各类废水进行有效收集处理。项目工艺废水中尾气洗涤系统废水、废气处理系统置换排水、外延片清洗废水经厂区污水处理站预处理达标后，再和地坪冲洗废水、真空系统排水、循环冷却系统废水、纯水制备浓水、生活污 (略) 进入巢湖花山污水处理厂。项目车间废水排口的总砷执行《半导体行业水污染物排放标准》（DB34/ 4294-2022）中的表1第一类水污染物排放限值中特别排放限值，厂区总排口执行《半导体行业水污染物排放标准》（DB34/ 4294-2022）以及巢湖花山污水处理厂的接管限值；巢湖花山污水处理厂处理达到《巢湖流域城镇污水处理厂和工业行业主要水污染物排放限值》（DB34/2710-2016）表2中的城镇污水处理厂Ⅰ排放标准和*中一级A标准后，排入汤河。

（二）严格落实《报告书》提出的大气污染防治措施和要求。MOCVD外延片生长工艺废气主要污染物为CH4、砷烷、磷烷；由设备直连管道收集进入尾气处理设备（Scrubber-1）通过化学反应处理达标后经27m高的DA001排气筒排放；外延片验证工艺中生长 SiO2 掩膜工序产生废气（主要成分为SiH4和N2O）、刻蚀 SiO2 掩膜工序产生废气（主要成分为CF4和Ar）、干法刻蚀芯区工序产生废气（主要成分为Cl2、Ar等）、生长上包层工序产生废气（主要成分为SiH4、N2O 或 NH3）；由设备直连管道收集进入尾气处理设备（Scrubber-2）通过高温裂解+水喷淋进行预处理，再进入酸碱喷淋塔进一步处理经27m高的DA002排气筒排放；清洗、湿法刻蚀过程产生酸碱性废气主要污染物为NOx、HCl、NH3、H2SO4等，经管道密闭收集至酸喷淋塔+碱喷淋塔处理达标后经27m高的DA002排气筒排放；清洗、湿法刻蚀过程产生有机废气主要污染物为*酮、*醇、异*醇等，经管道密闭收集至二级活性炭吸附装置处理达标后排放经27m高的DA003排气筒排放；光刻工序产生废气主要污染物为*酮、非*烷总烃，经操作台负压收集后进入二级活性炭吸附装置进行处理达标后经27m高的DA003排气筒排放；危废库废气主要污染物为非*烷总烃，密闭负压收集进入二级活性炭吸附装置进行处理达标后经15m高的DA004排气筒排放；装置区无组织废气制定泄漏检测与修复(LDAR)计划，定期进行一次检测、及时修复，防止或减少跑、冒、滴、漏现象。本项目工艺废气HF、HCl、NH3、氯、硫酸、*酮、氮氧化物、非*烷总烃排放执行《大气污染物综合排放标准》（*）表2新污染源大气污染物排放限值；NH3排放执行《恶臭污染物排放标准》(GB *-93)中表2排放限值；危废库的非*烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（*）中排放限值要求。厂区内挥发性有机物无组织排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（*）中表A.1排放限值要求。

（三）严格落实各项噪声防治措施，确保项目厂界声环境质量达标。施工期噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB *-2011)；运营期厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(*)3类标准，即昼间65dB(A)，夜间55dB(A)。优先选用低噪声设备，并采取必要的减振、隔声、消声等措施进行降噪处理，做到厂界噪声达标。 （四）固体废物做到分质、分类收集，妥善处理处置。废芯片、纯水制备过程中的废过滤器、废树脂等一般工业固体废物厂内暂存，定期委外处置；执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(*)；MBE外延片生产线中产生固体残渣废、MOCVD外延片生产线中产生固体残渣、废光刻胶、废显影液、废溶剂、废包装材料、废活性炭、废水处理产生的废活性炭过滤器、废石英砂过滤器、废树脂以及污泥等等危险废物，应及时联系有资质单位外运处置。危险废物暂存执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB *-2023)；生活垃圾由环卫部门及时清运。

（五）严格按照《报告书》要求，采取各项防渗措施，防止污染物泄漏、污染地下水体和土壤。对危废暂存间采取重点防渗；加强生产管理，防止出现跑冒滴漏现象，避免发生泄漏事故；按要求布设土壤及地下水监测点位，定期对土壤状况及地下水水质进行监测，发现污染时应立即采取措施阻断污染源，防止污染扩延并清理污染。

（六）加强环境风险预防和控制。本项目设置1个容积为6.54m3的事故池。按照《报告书》要求的执行各项风险防范和应急措施，及时编制、更新环境风险应急预案，报生态环境行政主管部门备案，并纳入县区环境风险应急预案体系，依法开展应急演练，确保突发事故状态下次生环境影响程度可控。

（七）加强环境管理及监测。建立健全企业内部环境管理机制，制定完善的环保规章制度。加强日常运行及维护管理，确保各类污染物稳定达标排放、环境风险得到有效管控。落实《报告书》提出的环境监测计划，定期开展监测。

（八）按《报告书》要求，本项目在厂界外设置50米环境防护距离。你单位应主动告知当地政府做好环境防护距离内规划控制工作，不得在环境防护距离内规划建设不相容的建设项目。

（九）有关本项目其他污染治理及环境影响减缓措施，严格按照《报告书》文本的相关内容认真落实。

公众参与情况：

建设单位或地方政府所作出的相关环境保护措施承诺文件：

听证权利告知：

依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

公众反馈意见的联系方式

受理部门：

(略) 安徽巢湖经济开发区生态环境分局

联系电话：

0551—*

邮箱：

*@*63.com

通讯地址：

(略) (略) (略) 交叉口

拟批准环境评价报告书的项目

项目名称：

年产*片射频微波光通化合物半导体外延片项目

建设地点：

安徽巢湖经济开发区

建设单位：

合 (略)

环境影响评价机构：

安徽 (略)

公示时间：

2024年04月26日

项目概况：

新增生产设备及配套附属设施，主要建设年产*片射频微波光通化合物半导体外延片生产线

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

（一）严格按照雨污分流、分类收集、分质处理的原则，完善截排水系统，对各类废水进行有效收集处理。项目工艺废水中尾气洗涤系统废水、废气处理系统置换排水、外延片清洗废水经厂区污水处理站预处理达标后，再和地坪冲洗废水、真空系统排水、循环冷却系统废水、纯水制备浓水、生活污 (略) 进入巢湖花山污水处理厂。项目车间废水排口的总砷执行《半导体行业水污染物排放标准》（DB34/ 4294-2022）中的表1第一类水污染物排放限值中特别排放限值，厂区总排口执行《半导体行业水污染物排放标准》（DB34/ 4294-2022）以及巢湖花山污水处理厂的接管限值；巢湖花山污水处理厂处理达到《巢湖流域城镇污水处理厂和工业行业主要水污染物排放限值》（DB34/2710-2016）表2中的城镇污水处理厂Ⅰ排放标准和*中一级A标准后，排入汤河。

（二）严格落实《报告书》提出的大气污染防治措施和要求。MOCVD外延片生长工艺废气主要污染物为CH4、砷烷、磷烷；由设备直连管道收集进入尾气处理设备（Scrubber-1）通过化学反应处理达标后经27m高的DA001排气筒排放；外延片验证工艺中生长 SiO2 掩膜工序产生废气（主要成分为SiH4和N2O）、刻蚀 SiO2 掩膜工序产生废气（主要成分为CF4和Ar）、干法刻蚀芯区工序产生废气（主要成分为Cl2、Ar等）、生长上包层工序产生废气（主要成分为SiH4、N2O 或 NH3）；由设备直连管道收集进入尾气处理设备（Scrubber-2）通过高温裂解+水喷淋进行预处理，再进入酸碱喷淋塔进一步处理经27m高的DA002排气筒排放；清洗、湿法刻蚀过程产生酸碱性废气主要污染物为NOx、HCl、NH3、H2SO4等，经管道密闭收集至酸喷淋塔+碱喷淋塔处理达标后经27m高的DA002排气筒排放；清洗、湿法刻蚀过程产生有机废气主要污染物为*酮、*醇、异*醇等，经管道密闭收集至二级活性炭吸附装置处理达标后排放经27m高的DA003排气筒排放；光刻工序产生废气主要污染物为*酮、非*烷总烃，经操作台负压收集后进入二级活性炭吸附装置进行处理达标后经27m高的DA003排气筒排放；危废库废气主要污染物为非*烷总烃，密闭负压收集进入二级活性炭吸附装置进行处理达标后经15m高的DA004排气筒排放；装置区无组织废气制定泄漏检测与修复(LDAR)计划，定期进行一次检测、及时修复，防止或减少跑、冒、滴、漏现象。本项目工艺废气HF、HCl、NH3、氯、硫酸、*酮、氮氧化物、非*烷总烃排放执行《大气污染物综合排放标准》（*）表2新污染源大气污染物排放限值；NH3排放执行《恶臭污染物排放标准》(GB *-93)中表2排放限值；危废库的非*烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（*）中排放限值要求。厂区内挥发性有机物无组织排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（*）中表A.1排放限值要求。

（三）严格落实各项噪声防治措施，确保项目厂界声环境质量达标。施工期噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB *-2011)；运营期厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(*)3类标准，即昼间65dB(A)，夜间55dB(A)。优先选用低噪声设备，并采取必要的减振、隔声、消声等措施进行降噪处理，做到厂界噪声达标。 （四）固体废物做到分质、分类收集，妥善处理处置。废芯片、纯水制备过程中的废过滤器、废树脂等一般工业固体废物厂内暂存，定期委外处置；执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(*)；MBE外延片生产线中产生固体残渣废、MOCVD外延片生产线中产生固体残渣、废光刻胶、废显影液、废溶剂、废包装材料、废活性炭、废水处理产生的废活性炭过滤器、废石英砂过滤器、废树脂以及污泥等等危险废物，应及时联系有资质单位外运处置。危险废物暂存执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB *-2023)；生活垃圾由环卫部门及时清运。

（五）严格按照《报告书》要求，采取各项防渗措施，防止污染物泄漏、污染地下水体和土壤。对危废暂存间采取重点防渗；加强生产管理，防止出现跑冒滴漏现象，避免发生泄漏事故；按要求布设土壤及地下水监测点位，定期对土壤状况及地下水水质进行监测，发现污染时应立即采取措施阻断污染源，防止污染扩延并清理污染。

（六）加强环境风险预防和控制。本项目设置1个容积为6.54m3的事故池。按照《报告书》要求的执行各项风险防范和应急措施，及时编制、更新环境风险应急预案，报生态环境行政主管部门备案，并纳入县区环境风险应急预案体系，依法开展应急演练，确保突发事故状态下次生环境影响程度可控。

（七）加强环境管理及监测。建立健全企业内部环境管理机制，制定完善的环保规章制度。加强日常运行及维护管理，确保各类污染物稳定达标排放、环境风险得到有效管控。落实《报告书》提出的环境监测计划，定期开展监测。

（八）按《报告书》要求，本项目在厂界外设置50米环境防护距离。你单位应主动告知当地政府做好环境防护距离内规划控制工作，不得在环境防护距离内规划建设不相容的建设项目。

（九）有关本项目其他污染治理及环境影响减缓措施，严格按照《报告书》文本的相关内容认真落实。

公众参与情况：

建设单位或地方政府所作出的相关环境保护措施承诺文件：

听证权利告知：

依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

公众反馈意见的联系方式

受理部门：

(略) 安徽巢湖经济开发区生态环境分局

联系电话：

0551—*

邮箱：

*@*63.com

通讯地址：

(略) (略) (略) 交叉口