序号

项目

名称

建设

地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

相关部门意见（审批或核准意见）

公众参与说明（报告书）

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1

金刚石晶圆片半导体核心材料生产基地项目

(略) 大东区望花南街15号

晶源半导体材料科技（沈阳）有限公司

沈阳 (略)

本项目为金刚石晶圆片半导体核心材料研发，研发目的是寻找高性能的热沉材料，研发工艺以硅片为衬底，钽丝为主要原材料，在微波等离子体化学气相沉积设备（CVD）内导入氢气和*烷，在微波的激励下产生等离子体，在衬底上沉积薄膜制成热沉材料，通过分析试验参数（*烷、氢气、电流、氩气、压强、样品台高度、温度、碳化持续时间等）得出生产金刚石晶圆片半导体核心材料的最佳工艺方案，年实验次数为48次。本项目为新建项目，租用沈阳 (略) 已建成的沈阳大学科技园楼内闲置建筑进行建设。该项目劳动定员7人，实行三班8小时工作制，年工作318天。该项目供电、供暖、供水、 (略) 政设施，实验室纯水外购。

同意

/

一、项目建设主要环境影响

1.水环境影响

项目运营期废水主要包括超声清洗废水和生活污水等。

2.声环境影响

项目运营期噪声主要来自风机、实验仪器等设备运行。

3.固体废物影响

项目运营期固体废物主要为冷却液废包装物、研发品、碳化钽、不合格品、废金刚石、生活垃圾等。

二、减缓项目建设环境影响的主要措施

1.落实废水污染防治保护措施

超声清洗废水和生活污水经 (略) (略) (略) 沈水湾污水处理厂处理。废水中化学需氧量、生化需氧量、氨氮、悬浮物等执行《辽宁省污水综合排放标准》（DB21/1627-2008）表2标准要求，pH执行《污水综合排放标准》（*）表4标准要求。

2.落实噪声污染防治保护措施

项目运营期噪声主要来自风机、实验仪器等设备运行。项目通过采取选用低噪声设备、基础减振、实验设备布置于封闭空间内等措施，再经建筑隔声、距离衰减后，项目厂界四周昼夜间噪声值执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）1类标准要求。

3.落实防止固体废物污染环境措施

项目运营期固体废物主要为冷却液废包装物、研发品、碳化钽、不合格品、废金刚石、生活垃圾等。

冷却液废包装物属于危险废物，收集后装于相应的专用容器内，暂存于按照《危险废物贮存污染控制标准》（*）要求建设的危险废物贮存点内，并按照《危险废物收集贮存运输技术规范》（*）相关要求进行规范管理，定期委托有资质的单位处置。

研发品、碳化钽、不合格品、废金刚石等属于一般工业固体废物，分类分区暂存于满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求设置的一般固体废物暂存间内，按一般工业固体废物处置。

序号

项目

名称

建设

地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

相关部门意见（审批或核准意见）

公众参与说明（报告书）

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1

金刚石晶圆片半导体核心材料生产基地项目

(略) 大东区望花南街15号

晶源半导体材料科技（沈阳）有限公司

沈阳 (略)

本项目为金刚石晶圆片半导体核心材料研发，研发目的是寻找高性能的热沉材料，研发工艺以硅片为衬底，钽丝为主要原材料，在微波等离子体化学气相沉积设备（CVD）内导入氢气和*烷，在微波的激励下产生等离子体，在衬底上沉积薄膜制成热沉材料，通过分析试验参数（*烷、氢气、电流、氩气、压强、样品台高度、温度、碳化持续时间等）得出生产金刚石晶圆片半导体核心材料的最佳工艺方案，年实验次数为48次。本项目为新建项目，租用沈阳 (略) 已建成的沈阳大学科技园楼内闲置建筑进行建设。该项目劳动定员7人，实行三班8小时工作制，年工作318天。该项目供电、供暖、供水、 (略) 政设施，实验室纯水外购。

同意

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一、项目建设主要环境影响

1.水环境影响

项目运营期废水主要包括超声清洗废水和生活污水等。

2.声环境影响

项目运营期噪声主要来自风机、实验仪器等设备运行。

3.固体废物影响

项目运营期固体废物主要为冷却液废包装物、研发品、碳化钽、不合格品、废金刚石、生活垃圾等。

二、减缓项目建设环境影响的主要措施

1.落实废水污染防治保护措施

超声清洗废水和生活污水经 (略) (略) (略) 沈水湾污水处理厂处理。废水中化学需氧量、生化需氧量、氨氮、悬浮物等执行《辽宁省污水综合排放标准》（DB21/1627-2008）表2标准要求，pH执行《污水综合排放标准》（*）表4标准要求。

2.落实噪声污染防治保护措施

项目运营期噪声主要来自风机、实验仪器等设备运行。项目通过采取选用低噪声设备、基础减振、实验设备布置于封闭空间内等措施，再经建筑隔声、距离衰减后，项目厂界四周昼夜间噪声值执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）1类标准要求。

3.落实防止固体废物污染环境措施

项目运营期固体废物主要为冷却液废包装物、研发品、碳化钽、不合格品、废金刚石、生活垃圾等。

冷却液废包装物属于危险废物，收集后装于相应的专用容器内，暂存于按照《危险废物贮存污染控制标准》（*）要求建设的危险废物贮存点内，并按照《危险废物收集贮存运输技术规范》（*）相关要求进行规范管理，定期委托有资质的单位处置。

研发品、碳化钽、不合格品、废金刚石等属于一般工业固体废物，分类分区暂存于满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求设置的一般固体废物暂存间内，按一般工业固体废物处置。