上海新进半导体制造有限公司离子注入机应用项目上海市直辖市徐汇区宜山路800号
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上海新进半导体制造有限公司离子注入机应用项目上海市直辖市徐汇区宜山路800号
填表日期：2024-04-30
| 上海新 (略) 离子注入机应用项目 | |||
| (略) 徐 (略) 800号 | 7000 | ||
| 上海新 (略) | 沈金龙 | ||
| 2551 | 15 | ||
| 2024-05-09 | |||
| 新建 | |||
| 一、建设内容：芯片制造生产线使用离子注入机进行工艺 二、建设规模： 该项目为共有11台离子注入机，分别布置在洁净厂房的一楼和三楼 ，其中，一楼布置了8台，三楼布置了3台。 三楼的3台注入机，型号分别为 NV6200A-6（管电压160KeV，管电流5mA）NV10SD-4 （管电压160KeV，管电流0.5mA）和 NV10SD-1 （管电压160KeV，管电流0.5mA） ； 一楼的8台离子注入机，型号分别是NV6200A-5（管电压160KeV，管电流5mA），NV6200A-3（管电压160KeV，管电流0.5mA），NV6200A-2（管电压160KeV，管电流0.5mA），NV6200A-1（管电压160KeV，管电流5mA），NV10SD-3（管电压160KeV，管电流0.5mA），E500（管电压80KeV，管电流5mA），GSD-80 （管电压180KeV，管电流10mA）和 GSD-200E（管电压180KeV，管电流1.0mA） | |||
填表日期：2024-04-30
| 上海新 (略) 离子注入机应用项目 | |||
| (略) 徐 (略) 800号 | 7000 | ||
| 上海新 (略) | 沈金龙 | ||
| 2551 | 15 | ||
| 2024-05-09 | |||
| 新建 | |||
| 一、建设内容：芯片制造生产线使用离子注入机进行工艺 二、建设规模： 该项目为共有11台离子注入机，分别布置在洁净厂房的一楼和三楼 ，其中，一楼布置了8台，三楼布置了3台。 三楼的3台注入机，型号分别为 NV6200A-6（管电压160KeV，管电流5mA）NV10SD-4 （管电压160KeV，管电流0.5mA）和 NV10SD-1 （管电压160KeV，管电流0.5mA） ； 一楼的8台离子注入机，型号分别是NV6200A-5（管电压160KeV，管电流5mA），NV6200A-3（管电压160KeV，管电流0.5mA），NV6200A-2（管电压160KeV，管电流0.5mA），NV6200A-1（管电压160KeV，管电流5mA），NV10SD-3（管电压160KeV，管电流0.5mA），E500（管电压80KeV，管电流5mA），GSD-80 （管电压180KeV，管电流10mA）和 GSD-200E（管电压180KeV，管电流1.0mA） | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施 1、警示标识：公司离子注入机辐射工作场所设置电离辐射警示标志； 2. 离子注入机配备了铅板防护装置。公司设备待机状态时、人员近距离对合金板材试片测试时以及偶尔人工对合金板材进行片头处理时，须对射线装置进行关闭后才可实行运作；或者发现故障时，射线装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。 3、防护用品和监测仪器：公司为 28名辐射工作人员配备个人剂量计，配备2台辐射监测报警仪。 二、安全管理措施 1、有专职管理人员负责辐射安全管理 2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、人员培训计划、监测方案 3、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案 4、28人参加辐射安全和防护知识培训 | |||
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