林德电子特种气体苏州有限公司三氟化硼充装设备安全提升技术改造项目江苏省苏州市工业园区春辉路18号
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林德电子特种气体苏州有限公司三氟化硼充装设备安全提升技术改造项目江苏省苏州市工业园区春辉路18号
填表日期：2024-05-07
| 林德电子特种气体（苏州）有限公司三氟化硼充装设备安全提升技术改造项目 | |||
| (略) 工业 (略) 18号 | 55 | ||
| 林德电子特种气体（苏州）有限公司 | 沈栋 | ||
| 1200 | 30 | ||
| 2024-05-06 | |||
| 改建 | |||
| 对现有设备进行更换及提升改造，采购气相色谱仪1台，傅里叶红外光谱仪1台及配套设施，真空泵2台，质量流量计6台，压力变送器25个，纯化器4台，气体泄漏探头5个，调压阀32个，过滤器14个，阀门179个，工艺尾气处理设施1套等等。对原三氟化硼冲装柜的充装设备进行安全提升改造。在分装工艺上，将采购进口的高精度仪表，保证产品质量持续稳定地达到半导体客户要求；增加一些流量开关，在安全阀起跳时关闭相关气源阀门，提升安全性；将一些手阀全部更换成气动阀并且在PLC中增加气动阀门之间的连锁，进一步降低安全风险。三氟化硼尾气经碱喷淋处理后通过现有一根25米高排气筒2＃酸性排气筒（2-1＃）排放。 | |||
填表日期：2024-05-07
| 林德电子特种气体（苏州）有限公司三氟化硼充装设备安全提升技术改造项目 | |||
| (略) 工业 (略) 18号 | 55 | ||
| 林德电子特种气体（苏州）有限公司 | 沈栋 | ||
| 1200 | 30 | ||
| 2024-05-06 | |||
| 改建 | |||
| 对现有设备进行更换及提升改造，采购气相色谱仪1台，傅里叶红外光谱仪1台及配套设施，真空泵2台，质量流量计6台，压力变送器25个，纯化器4台，气体泄漏探头5个，调压阀32个，过滤器14个，阀门179个，工艺尾气处理设施1套等等。对原三氟化硼冲装柜的充装设备进行安全提升改造。在分装工艺上，将采购进口的高精度仪表，保证产品质量持续稳定地达到半导体客户要求；增加一些流量开关，在安全阀起跳时关闭相关气源阀门，提升安全性；将一些手阀全部更换成气动阀并且在PLC中增加气动阀门之间的连锁，进一步降低安全风险。三氟化硼尾气经碱喷淋处理后通过现有一根25米高排气筒2＃酸性排气筒（2-1＃）排放。 | |||
| 有环保措施: 三氟化硼及三氟化硼、氢混合气工艺尾气采取现有碱喷淋措施后通过现有一根25米高排气筒2＃酸性排气筒（2-1＃）排放至大气 | |||
| 环保措施: 废液委托有资质单位处置 | |||
| 有环保措施: 隔声、减振、绿化吸声 | |||
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