集成电路制造用300毫米砷硅片及外延改造项目一阶段

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集成电路制造用300毫米砷硅片及外延改造项目一阶段

项目名称
(略) 制造用300 毫米砷硅片及外延改造项目（一阶段）
项目名称
(略) 制造用300 毫米砷硅片及外延改造项目（一阶段）
建设单位
上海新 (略)
所属行业
计算机、通信和其他电子设备制造业
建设地点
浦东新区泥城镇浦东 (略) 1000号
项目基本信息
本项目对现有一期项目进行技术改造，改造内容包括： 1）将部分硅片原料由自制硅棒改为外购含砷晶段，进行含砷硅片的生产（即硅片掺砷技改）； 2）将现有使用（混氢）磷烷和（混氢）硼烷的外延工艺，改为全部使用（混氢）砷烷，少量添加（混氢）磷烷和（混氢）硼烷的掺砷外延（即外延片掺砷技改）。 3）环保设施新增一套含砷废水处理系统，以及配备含砷废气处理设施。 项目分两阶段建设，其中硅片掺砷技改全部在二阶段实施，外延片掺砷技改分两阶段实施。
设计单位
／
计划开工日期
2021-02-22
环评项目登记号
115-32-21-78
环评批文文号
沪自贸临管环保许评[2021]12号
环评批文日期
2021-02-10
联系人
王先生
联系电话
*
电子邮箱
binbing.*@*ingsemi.com
实际开工日期
2021-12-01
实际开工日期
2021-12-01
施工期环保措施落实情况（pdf）
02 施工期环保措施落实报告 (略) 制造用300毫米砷硅片及外延改造项目.pdf 点击下载
施工期环境监测结果（pdf）
开始调试日期
竣工日期
开始调试日期
联系人
联系电话
非重大调整报告（pdf）
环保措施落实情况（pdf）
公示起始日期
公示起始日期
验收报告
项目名称
(略) 制造用300 毫米砷硅片及外延改造项目（一阶段）
项目名称
(略) 制造用300 毫米砷硅片及外延改造项目（一阶段）
建设单位
上海新 (略)
所属行业
计算机、通信和其他电子设备制造业
建设地点
浦东新区泥城镇浦东 (略) 1000号
项目基本信息
本项目对现有一期项目进行技术改造，改造内容包括： 1）将部分硅片原料由自制硅棒改为外购含砷晶段，进行含砷硅片的生产（即硅片掺砷技改）； 2）将现有使用（混氢）磷烷和（混氢）硼烷的外延工艺，改为全部使用（混氢）砷烷，少量添加（混氢）磷烷和（混氢）硼烷的掺砷外延（即外延片掺砷技改）。 3）环保设施新增一套含砷废水处理系统，以及配备含砷废气处理设施。 项目分两阶段建设，其中硅片掺砷技改全部在二阶段实施，外延片掺砷技改分两阶段实施。
设计单位
／
计划开工日期
2021-02-22
环评项目登记号
115-32-21-78
环评批文文号
沪自贸临管环保许评[2021]12号
环评批文日期
2021-02-10
联系人
王先生
联系电话
*
电子邮箱
binbing.*@*ingsemi.com
实际开工日期
2021-12-01
实际开工日期
2021-12-01
施工期环保措施落实情况（pdf）
02 施工期环保措施落实报告 (略) 制造用300毫米砷硅片及外延改造项目.pdf 点击下载
施工期环境监测结果（pdf）
开始调试日期
竣工日期
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