备案项目编号:2405-*-04-01-*
项目名称:恒格微电子半导体晶圆等离子刻蚀设备，在线等离子除胶系统设备研产基地
项目所在地: (略) 高新区 (略) 高新区唐家湾 (略) 6号4栋2层
项目总投资:*.*元
项目规模及内容:该项目主要建设为：( 一 ) 碳化硅刻蚀设备替代长期依赖进口的产品，由恒格专家团队合力开发的国产碳化硅刻蚀设备，采用创新技术，提高刻蚀速率及刻蚀均匀性，通过更换部分备件可满足TGV、TCV、TSV等工艺需求，解决半导体高端制造设备的“卡脖子”问题；（二）静电吸盘作为半导体装备的核心部件，长期被国外厂商垄断，公司研发出来静电吸盘，解决国产半导体高端装备核心零部件被“卡脖子”问题，并且研发出独特的设计，可以提高温度均匀性，满足日益严苛的工艺需求。
建设单位:珠海恒 (略)
备案机关:珠海高新区发展改革和财政金融局
备案申报日期:2024/05/20 17:53:13
复核通过日期:2024-05-21
项目起止年限:2024-06-01至2028-07-01
项目当前状态:办结（通过）

备案项目编号:2405-*-04-01-*
项目名称:恒格微电子半导体晶圆等离子刻蚀设备，在线等离子除胶系统设备研产基地
项目所在地: (略) 高新区 (略) 高新区唐家湾 (略) 6号4栋2层
项目总投资:*.*元
项目规模及内容:该项目主要建设为：( 一 ) 碳化硅刻蚀设备替代长期依赖进口的产品，由恒格专家团队合力开发的国产碳化硅刻蚀设备，采用创新技术，提高刻蚀速率及刻蚀均匀性，通过更换部分备件可满足TGV、TCV、TSV等工艺需求，解决半导体高端制造设备的“卡脖子”问题；（二）静电吸盘作为半导体装备的核心部件，长期被国外厂商垄断，公司研发出来静电吸盘，解决国产半导体高端装备核心零部件被“卡脖子”问题，并且研发出独特的设计，可以提高温度均匀性，满足日益严苛的工艺需求。
建设单位:珠海恒 (略)
备案机关:珠海高新区发展改革和财政金融局
备案申报日期:2024/05/20 17:53:13
复核通过日期:2024-05-21
项目起止年限:2024-06-01至2028-07-01
项目当前状态:办结（通过）