备案项目编号:2405-*-04-05-*
项目名称:晶圆级微光机电器件研发与中试平台新建项目
项目所在地: (略) 增城区宁西 (略) (略) 交叉口南香雅居南区
项目总投资:*.*元
项目规模及内容:项目建于香山雅苑南区湖大粤港澳大湾 (略) （广州增城），拟建设总面积3000平方米的微光机电器件研 (略) ，其中超净实验室2700平方米，超算机房300平方米。平台将购置电子束光刻机、高速激光直写设备、高分辨接触式光刻机、离子束镀膜与刻蚀、ICP刻蚀等泛半导体制造设备及搭建完 (略) 管理系统。通过四年建设，形成具有定制开发、小批量交付能力的晶圆级微光机电器件研 (略) ，具备快速定制化的先进制造加工能力，有力支撑广东泛半导体相关的新兴产业及未来产业的发展。
建设单位:湖大粤港澳大湾 (略) （广州增城）
备案机关: (略) 增城区发展和改革局
备案申报日期:2024/05/28 17:48:23
复核通过日期:2024-05-30
项目起止年限:2024-11-01至2027-12-01
项目当前状态:办结（通过）

备案项目编号:2405-*-04-05-*
项目名称:晶圆级微光机电器件研发与中试平台新建项目
项目所在地: (略) 增城区宁西 (略) (略) 交叉口南香雅居南区
项目总投资:*.*元
项目规模及内容:项目建于香山雅苑南区湖大粤港澳大湾 (略) （广州增城），拟建设总面积3000平方米的微光机电器件研 (略) ，其中超净实验室2700平方米，超算机房300平方米。平台将购置电子束光刻机、高速激光直写设备、高分辨接触式光刻机、离子束镀膜与刻蚀、ICP刻蚀等泛半导体制造设备及搭建完 (略) 管理系统。通过四年建设，形成具有定制开发、小批量交付能力的晶圆级微光机电器件研 (略) ，具备快速定制化的先进制造加工能力，有力支撑广东泛半导体相关的新兴产业及未来产业的发展。
建设单位:湖大粤港澳大湾 (略) （广州增城）
备案机关: (略) 增城区发展和改革局
备案申报日期:2024/05/28 17:48:23
复核通过日期:2024-05-30
项目起止年限:2024-11-01至2027-12-01
项目当前状态:办结（通过）