台积电中国有限公司69台离子注植入装置及3台X射线荧光仪上海市直辖市松江区文翔路4000号
台积电中国有限公司69台离子注植入装置及3台X射线荧光仪上海市直辖市松江区文翔路4000号
填表日期:2024-05-28
台积电(中国)有限公司69台离子注(植)入装置及3台X射线荧光仪 | |||
(略) 松 (略) 4000号 | *.72 | ||
台积电(中国)有限公司 | 曾繁城 | ||
*.8149 | 0 | ||
2024-05-31 | |||
扩建 | |||
本次扩建在生产厂房三层共新装设9台离子注(植)入装置,分别为:BIMIVD、CIMIV5、HIMIVE、BIHIV4、BIHIV5、CIHEA2、BIHEA3、BIHEA4、BIHEA5;另外原有离子注(植)入装置 HIMIV9更改编号为BIMIVE,原有X射线荧光仪 BCXR01升级成为BCXR02。因新增装置均可利用厂区原有环保处理设施,故环保投资无新增。 | |||
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填表日期:2024-05-28
台积电(中国)有限公司69台离子注(植)入装置及3台X射线荧光仪 | |||
(略) 松 (略) 4000号 | (平方米) | *.72 | |
台积电(中国)有限公司 | 曾繁城 | ||
*.8149 | 0 | ||
2024-05-31 | |||
扩建 | |||
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本次扩建在生产厂房三层共新装设9台离子注(植)入装置,分别为:BIMIVD、CIMIV5、HIMIVE、BIHIV4、BIHIV5、CIHEA2、BIHEA3、BIHEA4、BIHEA5;另外原有离子注(植)入装置 HIMIV9更改编号为BIMIVE,原有X射线荧光仪 BCXR01升级成为BCXR02。因新增装置均可利用厂区原有环保处理设施,故环保投资无新增。 | |||
环保措施: 环保措施:环保措施:1、良好的屏蔽,所有离子注入装置及X射线荧光光谱仪均为自屏蔽装置,装置采用铅板进行屏蔽2、较完善的管理制度,按照《放射性同位素与射线装置安全许可管理办法》建立操作规程、岗位职责、辐射防护制度、安全保卫制度、设备检修维护制度、人员培训制度、台账管理制度和监测方案3、适当的辐射分区,按照《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》(*),划定辐射控制区、辐射监督区。辐射控制区和辐射监督区以外的区域人员活动不受限制4、设置报警装置及电离辐射警告标志,且含中文警示说明 | |||
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