关于对江苏芯梦半导体设备有限公司TSV先进封装技术实验项目拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见的公示
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关于对江苏芯梦半导体设备有限公司TSV先进封装技术实验项目拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见的公示
根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，经审议，我局拟对建设项目环境影响报告书（表）进行审查。为保证此次审查工作的严肃性和公正性,现将拟审查环境影响评价文件的基本情况予以公示。公示期：从即日起，5个工作日。
联系电话： 0512-*（苏州吴中经开区政务服务中心环保窗口）
通讯地址： 中国· (略) 吴中区 (略) 18号
邮 编： *
联系单位： 苏州吴中经济技术开发区行政审批局
听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示之日起5个工作日内本行政许可申请人、利害关系人可提出书面听证申请。
拟审查的建设项目环境影响报告书（表）：
| 序号 | 项目名称 | 建设地点 | 建设单位 | 环境影响评价机构 | 项目概况 | 主要环境影响及预防或者 减轻不良环境影响的对策和措施 | 公众参与情况 | 建设单位或地方政府所作出的相关环境保护措施承诺文件（链接） |
| 1 | 江苏芯 (略) TSV先进封装技术实验项目 | 江苏省苏州吴中经济开 (略) 333号1号楼401室 | 江苏芯 (略) | 苏州吴环 (略) | 江苏芯 (略) 租赁苏州中吴润 (略) 位于苏州吴中经济开 (略) 333号新建1号楼401室建设配套TSV先进 (略) ，租赁建筑面积约1232.83平方米，探究电镀设备的电镀速率参数、镀层表面均匀性和氧化程度参数及填孔质量等相关参数，以研发、测试、验证数据来优化升级TSV电镀设备。 | （1）废气 本项目酸碱废气经密闭管道收集后汇入酸碱喷淋塔处理，经35米高DA001排气筒排放，总风机风量*m3/h，废气收集及处理效率均为90%；含氰废气经密闭管道/集气罩收集后汇入碱+次钠喷淋塔处理，经35米高DA002排气筒排放，总风机风量3500m3/h，废气收集及处理效率均为90%；有机废气经密闭管道收集后汇入二级活性炭吸附装置处理，经35米高DA003排气筒排放，总风机风量1200m3/h，废气收集及处理效率均为90%。少量未收集的部分废气在实验室内无组织排放。 本项目以厂界为执行边界设置100m卫生防护距离。经现场踏勘，项目卫生防护距离范围内无居民、医院、学校等环境敏感目标，能满足项目卫生防护距离的要求。 （2）废水 本项目厂区排水实行“雨污分流”制，雨水经 (略) (略) 。清洗废水分质分类处理，晶圆盒清洗废水（不含氮磷）与生活污水、纯水制备浓水直接接管；其余清洗废水收集后经配套污水处理设施处理后尾水部分回用、 (略) (略) 排入河东污水厂处理集中处理。 （3）噪声 本项目厂界外50米范围内无声环境保护目标。项目经合理平面布局，采取墙体隔声、距离衰减等措施后，厂界噪声可达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）3类标准的要求，对周围敏感点噪声影响较小。 （4）固废 本项目产生的固废中，废滤材由项目方统一收集后外卖；清洗废液、废光阻剂、显影废液、镀铜废液、镀金废液、去光阻废液、蚀刻废液、实验次品、实验废液、废实验耗材、废包装容器、含金树脂、含金滤芯、废活性炭、蒸发浓缩液、废滤膜委托有资质单位处置；生活垃圾由环卫部门定期清运。固废得到有效处置，不产生二次污染。 | 2024年3月18日至3月19日在苏州建设项目 (略) 网站进行业主主动公示，公示时间2个工作日。公示期间，未接到对本项目有关情况的意见和建议。 |
根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，经审议，我局拟对建设项目环境影响报告书（表）进行审查。为保证此次审查工作的严肃性和公正性,现将拟审查环境影响评价文件的基本情况予以公示。公示期：从即日起，5个工作日。
联系电话： 0512-*（苏州吴中经开区政务服务中心环保窗口）
通讯地址： 中国· (略) 吴中区 (略) 18号
邮 编： *
联系单位： 苏州吴中经济技术开发区行政审批局
听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示之日起5个工作日内本行政许可申请人、利害关系人可提出书面听证申请。
拟审查的建设项目环境影响报告书（表）：
| 序号 | 项目名称 | 建设地点 | 建设单位 | 环境影响评价机构 | 项目概况 | 主要环境影响及预防或者 减轻不良环境影响的对策和措施 | 公众参与情况 | 建设单位或地方政府所作出的相关环境保护措施承诺文件（链接） |
| 1 | 江苏芯 (略) TSV先进封装技术实验项目 | 江苏省苏州吴中经济开 (略) 333号1号楼401室 | 江苏芯 (略) | 苏州吴环 (略) | 江苏芯 (略) 租赁苏州中吴润 (略) 位于苏州吴中经济开 (略) 333号新建1号楼401室建设配套TSV先进 (略) ，租赁建筑面积约1232.83平方米，探究电镀设备的电镀速率参数、镀层表面均匀性和氧化程度参数及填孔质量等相关参数，以研发、测试、验证数据来优化升级TSV电镀设备。 | （1）废气 本项目酸碱废气经密闭管道收集后汇入酸碱喷淋塔处理，经35米高DA001排气筒排放，总风机风量*m3/h，废气收集及处理效率均为90%；含氰废气经密闭管道/集气罩收集后汇入碱+次钠喷淋塔处理，经35米高DA002排气筒排放，总风机风量3500m3/h，废气收集及处理效率均为90%；有机废气经密闭管道收集后汇入二级活性炭吸附装置处理，经35米高DA003排气筒排放，总风机风量1200m3/h，废气收集及处理效率均为90%。少量未收集的部分废气在实验室内无组织排放。 本项目以厂界为执行边界设置100m卫生防护距离。经现场踏勘，项目卫生防护距离范围内无居民、医院、学校等环境敏感目标，能满足项目卫生防护距离的要求。 （2）废水 本项目厂区排水实行“雨污分流”制，雨水经 (略) (略) 。清洗废水分质分类处理，晶圆盒清洗废水（不含氮磷）与生活污水、纯水制备浓水直接接管；其余清洗废水收集后经配套污水处理设施处理后尾水部分回用、 (略) (略) 排入河东污水厂处理集中处理。 （3）噪声 本项目厂界外50米范围内无声环境保护目标。项目经合理平面布局，采取墙体隔声、距离衰减等措施后，厂界噪声可达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）3类标准的要求，对周围敏感点噪声影响较小。 （4）固废 本项目产生的固废中，废滤材由项目方统一收集后外卖；清洗废液、废光阻剂、显影废液、镀铜废液、镀金废液、去光阻废液、蚀刻废液、实验次品、实验废液、废实验耗材、废包装容器、含金树脂、含金滤芯、废活性炭、蒸发浓缩液、废滤膜委托有资质单位处置；生活垃圾由环卫部门定期清运。固废得到有效处置，不产生二次污染。 | 2024年3月18日至3月19日在苏州建设项目 (略) 网站进行业主主动公示，公示时间2个工作日。公示期间，未接到对本项目有关情况的意见和建议。 |
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