备案项目编号:2406-*-17-05-*
项目名称:第三代半导体离子注入机项目
项目所在地: (略) 白云区太 (略) 1633号广州民营科 (略) 1号3栋
项目总投资:*.*元
项目规模及内容:本项目符合《“十四五”国家信息化规划》，项目拟着力研制国产化第三代半导体离子注入机，解决离子源、低能束线、静电吸盘等关键部件的卡脖子问题，建成第三代半导体离子注入机的生产线，实现国产化替代。项目总投资2亿元，占地面积约1500平方米。
建设单位:广东省新兴激光等离子 (略)
备案机关:白云区发展和改革局
备案申报日期:2024/06/05 10:54:11
复核通过日期:2024-06-06
项目起止年限:2024-07-01至2029-06-01
项目当前状态:办结（通过）

备案项目编号:2406-*-17-05-*
项目名称:第三代半导体离子注入机项目
项目所在地: (略) 白云区太 (略) 1633号广州民营科 (略) 1号3栋
项目总投资:*.*元
项目规模及内容:本项目符合《“十四五”国家信息化规划》，项目拟着力研制国产化第三代半导体离子注入机，解决离子源、低能束线、静电吸盘等关键部件的卡脖子问题，建成第三代半导体离子注入机的生产线，实现国产化替代。项目总投资2亿元，占地面积约1500平方米。
建设单位:广东省新兴激光等离子 (略)
备案机关:白云区发展和改革局
备案申报日期:2024/06/05 10:54:11
复核通过日期:2024-06-06
项目起止年限:2024-07-01至2029-06-01
项目当前状态:办结（通过）