半导体先进装备研发及国产化项目二期工程-审批拟批准情况公示
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半导体先进装备研发及国产化项目二期工程-审批拟批准情况公示
| 项目名称： | 半导体先进装备研发及国产化项目二期工程 | |
| 建设地点： | (略) 西海岸新 (略) 11 号 3#厂房 | |
| 建设单位： | 青岛四方 (略) | |
| 环境影响评价机构： | 汇清（山东） (略) | |
| 公示时间： | 2024年06月13日 至 2024年06月19日 | |
| 项目概况： | 在现有厂房1层东南侧新建离子注入机区域1处，用于对现有项目的10台离子注入机（IMP设备）进行通气测试；在现有厂房3层北侧新建特气库一处，用于储存本项目所需部分气体原料。 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | 项目设计、建设和运行过程中要认真落实《报告表》提出的各项环境污染防治和风险防范措施，并做好以下工作： （一）严格落实水污染防治措施。项目无工业废水产生， (略) (略) 排入龙泉河污水处理厂处理。外排废水执行《污水综合排放标准》（*）中相应标准限值要求，其中氨氮排放浓度执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T*-2015）中相应标准限值要求。项目须按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”原则，运行过程加强管理，做好分区防渗，防止污染地下水和土壤。 （二）严格落实大气污染防治措施。项目生产车间封闭，电离废气经尾气处理设备LocalSCR（TA001）+CenterSCR（TA003）处理，通过20m高排气筒DA001排放。 （三）严格落实噪声污染防治措施。生产设备须合理布局，采取减振、隔声等有效的噪声污染防治措施，厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(*)中3类标准。 （四）严格落实固体废物污染防治措施。晶圆废样、废滤芯、废活性炭、废机油、废油桶、清洗废水等危险废物分类暂存于新建5m2危废暂存间内，及时委托有危废处置资质单位处置。废包装材料等工业固体废物，暂存于新建5m2工业固体废物暂存间，外售综合利用；生活垃圾分类收集后定期清运。 各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。工业固体废物贮存过程应满足相应防扬散、防流失、防渗漏等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（*）要求。按规范建立工业固体废物和危险废物固体废物污染环境防治责任制度、管理台账，确保可溯源并存档备查。 （五）严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，修订突发环境事件应急预案并向我局备案。严格依据标准规范建设环境污染防治设施，健全内部管理责任制度，依法依规对污染防治设施和项目开展安全评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产行业主管部门。配备充足的环境应急物资，加强巡查巡检和应急培训演练，有效防范、科学处置突发环境事件。 （六）严格落实《报告表》提出的环境管理与监测制度。建立健全环境管理制度，明确专人专责，加强环境日常管理，确保设施正常运行，实现污染物稳定达标排放。按照《排污口规范化整治技术要求（试行）》《山东省污水排放口环境信息公开技术规范》等规定设置规范的污染物排放口和标志牌，废气排气筒设置永久采样孔、 (略) 。 （七）建立畅通的公众参与途径，主动接受社会监督，并及时回应和解决公众关切的环境问题，切实维护公众合法的环境权益。 （八）按照《山东省生态环境厅关于印发山东省重点排污单位名录制定和污染源自动监 (略) 管理规定的通知》（鲁环发〔2019〕134号）要求，适时安装在线监测设备。 （九）严格落实《报告表》提出的“以新带老”问题整改要求，按期完成整改，并纳入竣工环境保护验收。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局西海岸新区分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | (略) 西海岸 (略) 166号2号楼3楼 | |
| 邮政编码： | * | |
| 项目名称： | 半导体先进装备研发及国产化项目二期工程 | |
| 建设地点： | (略) 西海岸新 (略) 11 号 3#厂房 | |
| 建设单位： | 青岛四方 (略) | |
| 环境影响评价机构： | 汇清（山东） (略) | |
| 公示时间： | 2024年06月13日 至 2024年06月19日 | |
| 项目概况： | 在现有厂房1层东南侧新建离子注入机区域1处，用于对现有项目的10台离子注入机（IMP设备）进行通气测试；在现有厂房3层北侧新建特气库一处，用于储存本项目所需部分气体原料。 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | 项目设计、建设和运行过程中要认真落实《报告表》提出的各项环境污染防治和风险防范措施，并做好以下工作： （一）严格落实水污染防治措施。项目无工业废水产生， (略) (略) 排入龙泉河污水处理厂处理。外排废水执行《污水综合排放标准》（*）中相应标准限值要求，其中氨氮排放浓度执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T*-2015）中相应标准限值要求。项目须按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”原则，运行过程加强管理，做好分区防渗，防止污染地下水和土壤。 （二）严格落实大气污染防治措施。项目生产车间封闭，电离废气经尾气处理设备LocalSCR（TA001）+CenterSCR（TA003）处理，通过20m高排气筒DA001排放。 （三）严格落实噪声污染防治措施。生产设备须合理布局，采取减振、隔声等有效的噪声污染防治措施，厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(*)中3类标准。 （四）严格落实固体废物污染防治措施。晶圆废样、废滤芯、废活性炭、废机油、废油桶、清洗废水等危险废物分类暂存于新建5m2危废暂存间内，及时委托有危废处置资质单位处置。废包装材料等工业固体废物，暂存于新建5m2工业固体废物暂存间，外售综合利用；生活垃圾分类收集后定期清运。 各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。工业固体废物贮存过程应满足相应防扬散、防流失、防渗漏等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（*）要求。按规范建立工业固体废物和危险废物固体废物污染环境防治责任制度、管理台账，确保可溯源并存档备查。 （五）严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，修订突发环境事件应急预案并向我局备案。严格依据标准规范建设环境污染防治设施，健全内部管理责任制度，依法依规对污染防治设施和项目开展安全评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产行业主管部门。配备充足的环境应急物资，加强巡查巡检和应急培训演练，有效防范、科学处置突发环境事件。 （六）严格落实《报告表》提出的环境管理与监测制度。建立健全环境管理制度，明确专人专责，加强环境日常管理，确保设施正常运行，实现污染物稳定达标排放。按照《排污口规范化整治技术要求（试行）》《山东省污水排放口环境信息公开技术规范》等规定设置规范的污染物排放口和标志牌，废气排气筒设置永久采样孔、 (略) 。 （七）建立畅通的公众参与途径，主动接受社会监督，并及时回应和解决公众关切的环境问题，切实维护公众合法的环境权益。 （八）按照《山东省生态环境厅关于印发山东省重点排污单位名录制定和污染源自动监 (略) 管理规定的通知》（鲁环发〔2019〕134号）要求，适时安装在线监测设备。 （九）严格落实《报告表》提出的“以新带老”问题整改要求，按期完成整改，并纳入竣工环境保护验收。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局西海岸新区分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | (略) 西海岸 (略) 166号2号楼3楼 | |
| 邮政编码： | * | |
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