强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工
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强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工
项目概况
| 项目名称 | 强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工 | 项目编号 | BF* |
| 开始时间 | 2024-06-18 14:55 | 结束时间 | 2024-06-23 14:55 |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额（元） | *.00 |
| 采购方式 | 竞价 | ||
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工 | 9 | 套 | * | ||
| 技术参数 | 1.靶耐受功率在300-1000W连续可调，800W可长期工作100小时； 2.靶绝缘电阻大于50MΩ； 3.靶冷却背板为高纯铜材料； 4.带屏蔽射频电缆，长度为1米； 5.带强制水冷结构，能承受5公斤的冷却水压力； 6.靶座结构件:304奥氏体不锈钢； 靶材：可安装各类金属靶、陶瓷靶； 磁铁：钕铁硼强磁磁铁； 密封、转动件：NSK、UKS等。 | |||||
| 相关材料 | ||||||
项目概况
| 项目名称 | 强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工 | 项目编号 | BF* |
| 开始时间 | 2024-06-18 14:55 | 结束时间 | 2024-06-23 14:55 |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额（元） | *.00 |
| 采购方式 | 竞价 | ||
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工 | 9 | 套 | * | ||
| 技术参数 | 1.靶耐受功率在300-1000W连续可调，800W可长期工作100小时； 2.靶绝缘电阻大于50MΩ； 3.靶冷却背板为高纯铜材料； 4.带屏蔽射频电缆，长度为1米； 5.带强制水冷结构，能承受5公斤的冷却水压力； 6.靶座结构件:304奥氏体不锈钢； 靶材：可安装各类金属靶、陶瓷靶； 磁铁：钕铁硼强磁磁铁； 密封、转动件：NSK、UKS等。 | |||||
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