离子注入与穆斯堡尔谱湖北省宜昌市长阳土家族自治县龙舟坪镇创新产业园发展大道88号
离子注入与穆斯堡尔谱湖北省宜昌市长阳土家族自治县龙舟坪镇创新产业园发展大道88号
填表日期:2023-12-18
离子注入与穆斯堡尔谱 | |||
(略) 长阳土家族自治县龙舟坪镇创新产业园发展大道88号 | 350 | ||
湖北江 (略) | 付鹏 | ||
300 | 10 | ||
2024-02-01 | |||
新建 | |||
购置1台离子注入机和2台穆斯堡尔谱,用于半导体芯片的离子注入工艺试验和穆斯堡尔谱测量。 离子注入机使用B、N、P、Al等离子束,最高能量200keV,属于Ⅲ类放射性装置;穆斯堡尔谱使用Co-57放射源,属于Ⅴ类放射源。 | |||
环保措施: 物理屏蔽 | |||
|
填表日期:2023-12-18
离子注入与穆斯堡尔谱 | |||
(略) 长阳土家族自治县龙舟坪镇创新产业园发展大道88号 | (平方米) | 350 | |
湖北江 (略) | 付鹏 | ||
300 | 10 | ||
2024-02-01 | |||
新建 | |||
| |||
购置1台离子注入机和2台穆斯堡尔谱,用于半导体芯片的离子注入工艺试验和穆斯堡尔谱测量。 离子注入机使用B、N、P、Al等离子束,最高能量200keV,属于Ⅲ类放射性装置;穆斯堡尔谱使用Co-57放射源,属于Ⅴ类放射源。 | |||
环保措施: 物理屏蔽 | |||
| |||
|
最近搜索
无
热门搜索
无