物元半导体技术青岛有限公司离子注入机使用项目山东省青岛市城阳区棘洪滩街道岙东北路786号
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物元半导体技术青岛有限公司离子注入机使用项目山东省青岛市城阳区棘洪滩街道岙东北路786号
填表日期：2024-02-22
| 物元半导体技术（青岛）有限公司离子注入机使用项目 | |||
| (略) 城阳区棘洪滩街 (略) 786号 | 50 | ||
| 物元半导体技术（青岛）有限公司 | 陈为玉 | ||
| 5000 | 200 | ||
| 2024-06-01 | |||
| 新建 | |||
| 一、建设内容 IMP工序使用离子注入机。 二、建设规模 1、使用VIISta810型中束流离子植入设备（最大管电压270kV，最大管电流3mA，数量1台）； 2、使用PARADIGM型高能离子植入设备（最大管电压80kV，最大管电流20mA，数量1台）。 射线装置具体使用位置：2台离子注入机使用地点位于FAB内北侧。 | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施1、警示标识：公司离子注入机工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地。2、屏蔽防护措施：使用的离子注入机为封闭型，机台自带屏蔽措施，钢型外壳及门均内衬铅板防护，设置Interlock联锁。该类型的机台已实现生产自动化。在正常工况下，操作工不直接操作射线装置，仅负责晶圆盒的搬运工作；检修时，射线装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。3、防护用品和监测仪器：公司为2名辐射工作人员配备个人剂量计，配备1台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理。2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射安全管理制度、人员培训计划、监测方案。3、制定辐射事故应急应变流程。4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案。5、2人参加辐射安全和防护知识培训。 | |||
填表日期：2024-02-22
| 物元半导体技术（青岛）有限公司离子注入机使用项目 | |||
| (略) 城阳区棘洪滩街 (略) 786号 | 50 | ||
| 物元半导体技术（青岛）有限公司 | 陈为玉 | ||
| 5000 | 200 | ||
| 2024-06-01 | |||
| 新建 | |||
| 一、建设内容 IMP工序使用离子注入机。 二、建设规模 1、使用VIISta810型中束流离子植入设备（最大管电压270kV，最大管电流3mA，数量1台）； 2、使用PARADIGM型高能离子植入设备（最大管电压80kV，最大管电流20mA，数量1台）。 射线装置具体使用位置：2台离子注入机使用地点位于FAB内北侧。 | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施1、警示标识：公司离子注入机工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地。2、屏蔽防护措施：使用的离子注入机为封闭型，机台自带屏蔽措施，钢型外壳及门均内衬铅板防护，设置Interlock联锁。该类型的机台已实现生产自动化。在正常工况下，操作工不直接操作射线装置，仅负责晶圆盒的搬运工作；检修时，射线装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。3、防护用品和监测仪器：公司为2名辐射工作人员配备个人剂量计，配备1台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理。2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射安全管理制度、人员培训计划、监测方案。3、制定辐射事故应急应变流程。4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案。5、2人参加辐射安全和防护知识培训。 | |||
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