联芯集成电路增加使用III类射线装置项目福建省厦门市翔安区福建省厦门市翔安区万家春路899号
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联芯集成电路增加使用III类射线装置项目福建省厦门市翔安区福建省厦门市翔安区万家春路899号
填表日期：**
| 联芯集成电路增加使用III类射线装置项目 | |||
| (略) (略) (略) 翔安区万家春路899号 | 300 | ||
| 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 | 刘启东 | ||
| 39100 | 11.73 | ||
| ** | |||
| 新建 | |||
| 申请使用III类射线装置14台，其中，HI高束流离子注入机9台（额定功率1200w,管电压60kv，管电流20mA），MI中束流离子注入机4台（额定功率1200w,管电压50kv，管电流18mA），TEM透射电子显微镜1台（额定功率20W，管电压200kv，管电流0.1mA）。 | |||
| 环保措施: 环保措施:离子植入机属于III类射线装置，在正常工况下，不产生放射性的废水、废气和固体废弃物，其主要污染物为设备产生的X射线、γ射线、特征X射线；事故工况的污染途径仍然为X射线、γ射线、特征X射线。公司拟采取的环保措施如下：1.严格控制采购规格:公司采购制程设备时即要求执行ESH规范，从源头加以管控。要求a、距离子植入机器外表面5cm处检测射线剂量应小于0.06mR/H,并需厂商提供检测数据。b、提供植入机侦烟探测器能连动移除高压电源，关闭机台内气体供应箱之气体供应，并发出警报。c、变压器内应有温度监测装置，当过温时能警报及连动关闭电源供应。d、离子植入机加速器设施内应有良好的通风，以保证臭氧的浓度低于0.3mg/m3。e、X-Ray：源套安装在分析仪的机壳或防护罩内时，在X射线管处于最高管电压、最大功率下，距源套外表面5cm的任何位置，射线的空气比释动能率不得超过25μGy/h。f、X-Ray：人体可能到达的距闭束型分析仪一切外表面（包括高压电源、分析仪外壳等）5cm的位置，射线的空气比释动能率均不得超过2.5μGy/h。2. 射线装置自身屏蔽措施和安全联锁装置：射线装置出厂时均有自身屏蔽结构，屏蔽结构四周和顶部为钢型外壳，内衬铅板，其防护性能符合相关要求。此外，所有射线装置均有内部安全联锁装置，设备运行过程中一旦打开设备的门设备自动停止。3. OHT自动传输系统：通过该系统，人员只需在监控室以远程遥控就能实现操作，而不直接接触射线装置。4. 辐射工作场所实行划区管理：把需要或可能需要专门防护手段或安全措施的区域定为控制区，控制正常工作条件下的正常照射，并预防潜在照射或限制潜在照射的范围，并在控制区进出口及其它适当位置设警示标识。5. 通风措施：针对射线装置伴生的非辐射污染物（臭氧和氮氧化物），采用两种排风系统：一般废气负压抽气排放系统和酸性废气负压抽气排放系统。对于设备产生的废热，则采用一般废气负压抽气排放系统，不需经过处理，经屋顶直接排放。对于设备产生的含酸废气（氮氧化物），则采用既有的酸性废气负压抽气排放系统排放，废气经废气洗涤塔处理，达到国家排放标准后，通过42m 排气筒排放，影响能降到最低。 | |||
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| (略) (略) (略) 翔安区万家春路899号 | 300 | ||
| 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 | 刘启东 | ||
| 39100 | 11.73 | ||
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| 申请使用III类射线装置14台，其中，HI高束流离子注入机9台（额定功率1200w,管电压60kv，管电流20mA），MI中束流离子注入机4台（额定功率1200w,管电压50kv，管电流18mA），TEM透射电子显微镜1台（额定功率20W，管电压200kv，管电流0.1mA）。 | |||
| 环保措施: 环保措施:离子植入机属于III类射线装置，在正常工况下，不产生放射性的废水、废气和固体废弃物，其主要污染物为设备产生的X射线、γ射线、特征X射线；事故工况的污染途径仍然为X射线、γ射线、特征X射线。公司拟采取的环保措施如下：1.严格控制采购规格:公司采购制程设备时即要求执行ESH规范，从源头加以管控。要求a、距离子植入机器外表面5cm处检测射线剂量应小于0.06mR/H,并需厂商提供检测数据。b、提供植入机侦烟探测器能连动移除高压电源，关闭机台内气体供应箱之气体供应，并发出警报。c、变压器内应有温度监测装置，当过温时能警报及连动关闭电源供应。d、离子植入机加速器设施内应有良好的通风，以保证臭氧的浓度低于0.3mg/m3。e、X-Ray：源套安装在分析仪的机壳或防护罩内时，在X射线管处于最高管电压、最大功率下，距源套外表面5cm的任何位置，射线的空气比释动能率不得超过25μGy/h。f、X-Ray：人体可能到达的距闭束型分析仪一切外表面（包括高压电源、分析仪外壳等）5cm的位置，射线的空气比释动能率均不得超过2.5μGy/h。2. 射线装置自身屏蔽措施和安全联锁装置：射线装置出厂时均有自身屏蔽结构，屏蔽结构四周和顶部为钢型外壳，内衬铅板，其防护性能符合相关要求。此外，所有射线装置均有内部安全联锁装置，设备运行过程中一旦打开设备的门设备自动停止。3. OHT自动传输系统：通过该系统，人员只需在监控室以远程遥控就能实现操作，而不直接接触射线装置。4. 辐射工作场所实行划区管理：把需要或可能需要专门防护手段或安全措施的区域定为控制区，控制正常工作条件下的正常照射，并预防潜在照射或限制潜在照射的范围，并在控制区进出口及其它适当位置设警示标识。5. 通风措施：针对射线装置伴生的非辐射污染物（臭氧和氮氧化物），采用两种排风系统：一般废气负压抽气排放系统和酸性废气负压抽气排放系统。对于设备产生的废热，则采用一般废气负压抽气排放系统，不需经过处理，经屋顶直接排放。对于设备产生的含酸废气（氮氧化物），则采用既有的酸性废气负压抽气排放系统排放，废气经废气洗涤塔处理，达到国家排放标准后，通过42m 排气筒排放，影响能降到最低。 | |||
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