苏环审〔2024〕40号

中环领先半 (略) ：

你公司报送的《中环领先半 (略) 集成电路用半导体大硅片扩建项目环境影响报告书》（以下简称《报告书》）收悉。经研究，现批复如下：

项 (略) 经济技术开发区，拟在公司现有厂区内实施“集成电路用半导体大硅片扩建项目”，扩大12英寸抛光、外延片生产规模。项目除新建废气治理设施、酸碱废水回用系统、含氟废水回用系统等外，其他配套环保工程、公用工程、贮存工程均依托中环领先半 (略) 现有设施。项目建成后，月产12英寸抛光片10万片、12英寸外延片25万片。

该项目符合国家、省产业 (略) 经济技术开发区产业定位。项目实施将对周边生态环境产生一定不利影响，在全面落实《报告书》和本批复提出的生态环境保护措施后，不利生态环境影响能够得到减缓和控制。我厅原则同意《报告书》的环境影响评价总体结论和拟采取的生态环境保护措施。

二、在项目设计、建设和运行管理中，你公司须落实《报告书》提出的生态环境保护措施，重点落实以下要求：

（一）全过程贯彻清洁生产原则和循环经济理念，采用先进工艺和设备，加强生产和环境管理，落实“以新带老”措施，减少污染物产生量和排放量，项目单位产品水耗、物耗、能耗和污染物排放等指标应达国际清洁生产领先水平。

（二）落实《报告书》提出的各项废气治理措施，确保各类废气的处理效率及排气筒高度达到《报告书》提出的要求，采取有效措施控制无组织废气排放。项目外延、清洗等工艺废气中颗粒物、二氧化硫、氟化氢、氯化氢、非*烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1排放限值，三氯氢硅参 (略) 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）排放限值，硅片外延、清洗等生产工艺和废水处理站废气中产生的氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2排放标准。厂界颗粒物、氟化氢、氯化氢、非*烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3排放限值，氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中二级新扩改建标准值，厂区内挥发性有机物执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表2标准。

（三）按“清污分流、雨污分流、一水多用、分质处理”原则设计、建设、完善厂区给排水系统。含氟废水、含氟碱喷淋废水经“二级除氟沉淀系统+A/O”工艺处理后，经含氟废水专 (略) 工业污水处理厂，出水氟化物接管执行10 mg/L浓度限值，其他因子接管标准执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放限值。硅片臭氧冲洗排水回用于臭氧冲洗，漂洗水回用于纯水制备系统，倒角、减薄、抛光等工序含砂废水经“中和+超滤+反渗透”工艺处理后70%回用于循环冷却水、废气喷淋水、车间地面冲洗水等。含氨废水、含砂废水分别经含氨废水处理系统、含砂废水处理系统预处理后，与脱胶废水、外延尾气处理器排水、酸喷淋废水、地面冲洗水、倒角及减薄等工序含砂废水回用系统浓水一并进入综合废水处理系统处理。综合废水处理系统出水与纯水制备系统排水、循环冷却水排水、酸碱中和剩余废水一并 (略) 工业污水处理厂集中处理，常规因 (略) 工业污水处理厂接管标准，特征因子总有机炭（TOC）接管执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放限值，单位产品基准排水量执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表2电子专用材料-硅单晶材料要求。生活污水单独接 (略) 污水处理厂。

（四）选用低噪声设备并采取有效的减振、隔声、消声等降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）3类标准。施工期噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB 12523-2011）要求。

（五）按“资源化、减量化、无害化”原则落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。固体废物在厂内的堆放、贮存、转移应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB 18599-2020）、《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597-2023）相关管理要求，防止产生二次污染。危险废物转移应当遵循就近原则，及时清运并委托有资质单位规范处置。

（六）做好土壤和地下水污染防治工作。落实《报告书》中提出的分区防渗要求，危险废物暂存间、污水处理站、事故池、初期雨水池、污水排水管道等应采取重点防渗措施，制定并落实土壤、地下水跟踪监测计划。

（七）强化各项环境风险防范措施，有效防范环境风险。落实《全省生态环境安全与应急管理“强基提能”三年行动计划》相关要求。落实《报告书》提出的环境风险防范措施，按照最新管理要求及时修订突发环境事件应急预案，定期排查突发环境事件隐患，采取切实可行的工程控制和管理措施，配备环境应急设备和物资，依托现有事故污染物收集系统和足够容量的事故废水收集池、初期雨水池等设施，确保事故废水不进入外环境。

（八）按要求规范设置各类排污口及其标志，并按污染源自动控制相关管理要求建设、安装自动监控设备及其配套设施。按《报告书》提出的环境管理与监测计划实施日常环境管理与监测，监测结果及相关资料备查。

（九）落实《报告书》提出的以厂界四周设置200米卫生防护距离的要求，该范围内目前无居民住宅、学校、医院等环境敏感目标，以后亦不得建设居民住宅、学校、医院等环境敏感目标。

（十）你公司应对污水处理等环保设施设备开展安全风险辨识管控，健全内部环保设施设备稳定运行和管理责任制度，严格依据标准规范建设环保设施设备，确保环保设施设备安全、稳定、有效运行。

三、本项目实施后，污染物年排放总量初步核定为：

（一）本项目大气污染物（有组织）：二氧化硫≤0.10吨、颗粒物≤0.18吨、挥发性有机物≤1.69吨、氯化氢≤0.56吨、氟化氢≤0.53吨、氨气≤1.10吨、三氯氢硅≤0.026吨、四*基氢氧化铵≤0.048吨、*硅烷≤0.0053吨。

全厂大气污染物（有组织）：颗粒物≤6.91吨、二氧化硫≤1.50吨、氮氧化物≤23.41吨、氯化氢≤5.87吨、氟化氢≤1.89吨、氯气≤0.027吨、氨气≤11.99吨、三氯氢硅 ≤0.25吨、四*基氢氧化铵≤0.54吨、*酸 ≤0.81吨、异*醇≤1.24吨、*苯≤0.022吨、挥发性有机物≤5.55吨、*硅烷≤0.0143吨、硫化氢≤0.057吨。

本项目大气污染物（无组织）：挥发性有机物≤0.046吨、氯化氢≤0.011吨、氟化氢≤0.053吨、氨气≤0.11吨、四*基氢氧化铵≤0.0048吨。

全厂大气污染物（无组织）：氯化氢≤0.41吨、氟化氢≤0.19吨、氯气≤0.0006吨、氨气≤1.29吨、四*基氢氧化铵≤0.054吨、氮氧化物≤0.26吨、*酸≤0.29吨、异*醇≤0.067吨、*苯≤0.0012吨、挥发性有机物≤1.37吨、*硅烷≤0.0075吨、*醇≤1.0吨、硫化氢≤0.03吨、硫酸雾 ≤0.1吨。

（二）本项目生产废水（接管量/外排环境量）：废水量≤*/*吨、化学需氧量≤71.8/15.7吨、悬浮物≤10.74/3.92吨、氨氮≤2.492/1.177吨、总氮≤7.536/3.703吨、总磷≤0.027/0.027吨、氟化物≤0.48/0.086吨。

全厂生产废水（接管量/外排环境量）：废水量≤ */*吨、COD≤ 1850.27/260.59吨、SS≤ 1621.98/65.15吨、氨氮≤137.499/19.495吨、总磷≤ 1.459/1.392吨、总氮 ≤154.512/62.338吨、氟化物≤ 17.05/9.77吨。生产废水量及污染物全厂不新增。

本项目生活污水（接管量/外排环境量）：废水量≤13806/13806吨、化学需氧量≤4.83/0.55吨、悬浮物≤3.45/0.14吨、氨氮≤0.35/0.041吨、总氮≤0.483/0.138吨、总磷≤0.041/0.0041吨。

全厂生活污水（接管量/外排环境量）废水量≤ 77754/77754吨、化学需氧量≤ 27.21/3.11吨、SS ≤19.44/0.78吨、氨氮≤ 2.174/0.233吨、总磷≤ 0.302/0.024吨、总氮 ≤3.183/0.778吨。

（三）固体废物：全部综合利用或规范处置。

四、严格落实生态环境保护主体责任，你公司应当对《报告书》的内容和结论负责。

五、你公司应当依照《排污许可管理条例》、《排污许可管理办法》规定，重新申请排污许可证；未取得排污许可证的，不得排放污染物。项目建设必须严格执行配套的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。施工招标文件和施工合同中应明确环保条款和责任，须按规定程序实施竣工环境保护验收。

六、我 (略) 生态环境局组织开展该项目的“三同时”监督检查及相关管理工作。你公司应在收到本批复后20个工作日内，将批准后的《报告书》 (略) 生态环境局、 (略) 宜兴生态环境局，并按规定接受各级生态环境部门的日常监督检查。

七、项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，应当重新报批项目的环境影响评价文件。自本批复文件批准之日起满5年，建设项目方开工建设的，其环境影响报告书应当报我厅重新审核。

(略) 生态环境厅

**日

（此件公开发布）

（项目代码：2402-*-89-05-*）

苏环审〔2024〕40号

中环领先半 (略) ：

你公司报送的《中环领先半 (略) 集成电路用半导体大硅片扩建项目环境影响报告书》（以下简称《报告书》）收悉。经研究，现批复如下：

项 (略) 经济技术开发区，拟在公司现有厂区内实施“集成电路用半导体大硅片扩建项目”，扩大12英寸抛光、外延片生产规模。项目除新建废气治理设施、酸碱废水回用系统、含氟废水回用系统等外，其他配套环保工程、公用工程、贮存工程均依托中环领先半 (略) 现有设施。项目建成后，月产12英寸抛光片10万片、12英寸外延片25万片。

该项目符合国家、省产业 (略) 经济技术开发区产业定位。项目实施将对周边生态环境产生一定不利影响，在全面落实《报告书》和本批复提出的生态环境保护措施后，不利生态环境影响能够得到减缓和控制。我厅原则同意《报告书》的环境影响评价总体结论和拟采取的生态环境保护措施。

二、在项目设计、建设和运行管理中，你公司须落实《报告书》提出的生态环境保护措施，重点落实以下要求：

（一）全过程贯彻清洁生产原则和循环经济理念，采用先进工艺和设备，加强生产和环境管理，落实“以新带老”措施，减少污染物产生量和排放量，项目单位产品水耗、物耗、能耗和污染物排放等指标应达国际清洁生产领先水平。

（二）落实《报告书》提出的各项废气治理措施，确保各类废气的处理效率及排气筒高度达到《报告书》提出的要求，采取有效措施控制无组织废气排放。项目外延、清洗等工艺废气中颗粒物、二氧化硫、氟化氢、氯化氢、非*烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1排放限值，三氯氢硅参 (略) 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）排放限值，硅片外延、清洗等生产工艺和废水处理站废气中产生的氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2排放标准。厂界颗粒物、氟化氢、氯化氢、非*烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3排放限值，氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中二级新扩改建标准值，厂区内挥发性有机物执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表2标准。

（三）按“清污分流、雨污分流、一水多用、分质处理”原则设计、建设、完善厂区给排水系统。含氟废水、含氟碱喷淋废水经“二级除氟沉淀系统+A/O”工艺处理后，经含氟废水专 (略) 工业污水处理厂，出水氟化物接管执行10 mg/L浓度限值，其他因子接管标准执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放限值。硅片臭氧冲洗排水回用于臭氧冲洗，漂洗水回用于纯水制备系统，倒角、减薄、抛光等工序含砂废水经“中和+超滤+反渗透”工艺处理后70%回用于循环冷却水、废气喷淋水、车间地面冲洗水等。含氨废水、含砂废水分别经含氨废水处理系统、含砂废水处理系统预处理后，与脱胶废水、外延尾气处理器排水、酸喷淋废水、地面冲洗水、倒角及减薄等工序含砂废水回用系统浓水一并进入综合废水处理系统处理。综合废水处理系统出水与纯水制备系统排水、循环冷却水排水、酸碱中和剩余废水一并 (略) 工业污水处理厂集中处理，常规因 (略) 工业污水处理厂接管标准，特征因子总有机炭（TOC）接管执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放限值，单位产品基准排水量执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表2电子专用材料-硅单晶材料要求。生活污水单独接 (略) 污水处理厂。

（四）选用低噪声设备并采取有效的减振、隔声、消声等降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）3类标准。施工期噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB 12523-2011）要求。

（五）按“资源化、减量化、无害化”原则落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。固体废物在厂内的堆放、贮存、转移应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB 18599-2020）、《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597-2023）相关管理要求，防止产生二次污染。危险废物转移应当遵循就近原则，及时清运并委托有资质单位规范处置。

（六）做好土壤和地下水污染防治工作。落实《报告书》中提出的分区防渗要求，危险废物暂存间、污水处理站、事故池、初期雨水池、污水排水管道等应采取重点防渗措施，制定并落实土壤、地下水跟踪监测计划。

（七）强化各项环境风险防范措施，有效防范环境风险。落实《全省生态环境安全与应急管理“强基提能”三年行动计划》相关要求。落实《报告书》提出的环境风险防范措施，按照最新管理要求及时修订突发环境事件应急预案，定期排查突发环境事件隐患，采取切实可行的工程控制和管理措施，配备环境应急设备和物资，依托现有事故污染物收集系统和足够容量的事故废水收集池、初期雨水池等设施，确保事故废水不进入外环境。

（八）按要求规范设置各类排污口及其标志，并按污染源自动控制相关管理要求建设、安装自动监控设备及其配套设施。按《报告书》提出的环境管理与监测计划实施日常环境管理与监测，监测结果及相关资料备查。

（九）落实《报告书》提出的以厂界四周设置200米卫生防护距离的要求，该范围内目前无居民住宅、学校、医院等环境敏感目标，以后亦不得建设居民住宅、学校、医院等环境敏感目标。

（十）你公司应对污水处理等环保设施设备开展安全风险辨识管控，健全内部环保设施设备稳定运行和管理责任制度，严格依据标准规范建设环保设施设备，确保环保设施设备安全、稳定、有效运行。

三、本项目实施后，污染物年排放总量初步核定为：

（一）本项目大气污染物（有组织）：二氧化硫≤0.10吨、颗粒物≤0.18吨、挥发性有机物≤1.69吨、氯化氢≤0.56吨、氟化氢≤0.53吨、氨气≤1.10吨、三氯氢硅≤0.026吨、四*基氢氧化铵≤0.048吨、*硅烷≤0.0053吨。

全厂大气污染物（有组织）：颗粒物≤6.91吨、二氧化硫≤1.50吨、氮氧化物≤23.41吨、氯化氢≤5.87吨、氟化氢≤1.89吨、氯气≤0.027吨、氨气≤11.99吨、三氯氢硅 ≤0.25吨、四*基氢氧化铵≤0.54吨、*酸 ≤0.81吨、异*醇≤1.24吨、*苯≤0.022吨、挥发性有机物≤5.55吨、*硅烷≤0.0143吨、硫化氢≤0.057吨。

本项目大气污染物（无组织）：挥发性有机物≤0.046吨、氯化氢≤0.011吨、氟化氢≤0.053吨、氨气≤0.11吨、四*基氢氧化铵≤0.0048吨。

全厂大气污染物（无组织）：氯化氢≤0.41吨、氟化氢≤0.19吨、氯气≤0.0006吨、氨气≤1.29吨、四*基氢氧化铵≤0.054吨、氮氧化物≤0.26吨、*酸≤0.29吨、异*醇≤0.067吨、*苯≤0.0012吨、挥发性有机物≤1.37吨、*硅烷≤0.0075吨、*醇≤1.0吨、硫化氢≤0.03吨、硫酸雾 ≤0.1吨。

（二）本项目生产废水（接管量/外排环境量）：废水量≤*/*吨、化学需氧量≤71.8/15.7吨、悬浮物≤10.74/3.92吨、氨氮≤2.492/1.177吨、总氮≤7.536/3.703吨、总磷≤0.027/0.027吨、氟化物≤0.48/0.086吨。

全厂生产废水（接管量/外排环境量）：废水量≤ */*吨、COD≤ 1850.27/260.59吨、SS≤ 1621.98/65.15吨、氨氮≤137.499/19.495吨、总磷≤ 1.459/1.392吨、总氮 ≤154.512/62.338吨、氟化物≤ 17.05/9.77吨。生产废水量及污染物全厂不新增。

本项目生活污水（接管量/外排环境量）：废水量≤13806/13806吨、化学需氧量≤4.83/0.55吨、悬浮物≤3.45/0.14吨、氨氮≤0.35/0.041吨、总氮≤0.483/0.138吨、总磷≤0.041/0.0041吨。

全厂生活污水（接管量/外排环境量）废水量≤ 77754/77754吨、化学需氧量≤ 27.21/3.11吨、SS ≤19.44/0.78吨、氨氮≤ 2.174/0.233吨、总磷≤ 0.302/0.024吨、总氮 ≤3.183/0.778吨。

（三）固体废物：全部综合利用或规范处置。

四、严格落实生态环境保护主体责任，你公司应当对《报告书》的内容和结论负责。

五、你公司应当依照《排污许可管理条例》、《排污许可管理办法》规定，重新申请排污许可证；未取得排污许可证的，不得排放污染物。项目建设必须严格执行配套的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。施工招标文件和施工合同中应明确环保条款和责任，须按规定程序实施竣工环境保护验收。

六、我 (略) 生态环境局组织开展该项目的“三同时”监督检查及相关管理工作。你公司应在收到本批复后20个工作日内，将批准后的《报告书》 (略) 生态环境局、 (略) 宜兴生态环境局，并按规定接受各级生态环境部门的日常监督检查。

七、项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，应当重新报批项目的环境影响评价文件。自本批复文件批准之日起满5年，建设项目方开工建设的，其环境影响报告书应当报我厅重新审核。

(略) 生态环境厅

**日

（此件公开发布）

（项目代码：2402-*-89-05-*）