上海鼎泰匠芯科技有限公司离子注入机台、荧光分析仪应用项目上海市直辖市中国上海自由贸易试验区鸿音路600号
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上海鼎泰匠芯科技有限公司离子注入机台、荧光分析仪应用项目上海市直辖市中国上海自由贸易试验区鸿音路600号
填表日期：2024-07-08
| 上海 (略) 离子注入机台、荧光分析仪应用项目 | |||
| (略) 中国（上海）自由贸易试 (略) 600号 | * | ||
| 上海 (略) | 张锦源 | ||
| * | * | ||
| 2023-04-01 | |||
| 新建 | |||
| 一、建设内容 上海 (略) 在生产厂房IMP区域、Litho-量测区域使用离子注入机台和X射线荧光分析仪设备。 二、建设规模 高电流离子注入机台：型号 VIISta Trident ，最大管电压80kV，最大管电流30mA，数量3。 中电流离子注入机台：型号VIISTA 900 3D / VIISTA 900 3D MEHD2 II，最大管电压600kV，最大管电流14.5mA ，数量4。 高能离子注入机台：型号Purion XE ，最大管电压3000kV，最大管电流1.5mA ，数量2。 全反射X射线荧光分析仪：型号TXRF-V310，最大管电压35kV，最大管电流300mA ，数量1。 射线装置具体使用位置，九台离子注入机台位于生产厂房3房3楼IMP区域，荧光分析仪使用地点位于生产厂房3楼Litho-量测区域。 | |||
| 环保措施: 环保措施:一、污染防治措施1、警示标志：公司X射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，告诫无关人员勿靠近照射场地。2、屏蔽防护措施：设备为自屏蔽设备；射线装置使用结束后及时关闭；发现故障时，及时将射线装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。每年对射线机台安全运行情况进行一次年度检测和评估。3、防护用品和监测仪器：公司为辐射工作人员每人配备个人剂量计，配备10台辐射剂量报警仪，1台辐射巡检仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理；2、制定规章制度：辐射机台安全操作规程、射线机台操作人员培训制度、自行检查和年度评估制度、监测方案；3、制定辐射事故应急管理措施；4、个人剂量检定、个人剂量档案，职业健康体检、建立个人健康档案；5、辐射操作人员定期安排参加辐射安全和防护知识培训。 | |||
填表日期：2024-07-08
| 上海 (略) 离子注入机台、荧光分析仪应用项目 | |||
| (略) 中国（上海）自由贸易试 (略) 600号 | * | ||
| 上海 (略) | 张锦源 | ||
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| 2023-04-01 | |||
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| 一、建设内容 上海 (略) 在生产厂房IMP区域、Litho-量测区域使用离子注入机台和X射线荧光分析仪设备。 二、建设规模 高电流离子注入机台：型号 VIISta Trident ，最大管电压80kV，最大管电流30mA，数量3。 中电流离子注入机台：型号VIISTA 900 3D / VIISTA 900 3D MEHD2 II，最大管电压600kV，最大管电流14.5mA ，数量4。 高能离子注入机台：型号Purion XE ，最大管电压3000kV，最大管电流1.5mA ，数量2。 全反射X射线荧光分析仪：型号TXRF-V310，最大管电压35kV，最大管电流300mA ，数量1。 射线装置具体使用位置，九台离子注入机台位于生产厂房3房3楼IMP区域，荧光分析仪使用地点位于生产厂房3楼Litho-量测区域。 | |||
| 环保措施: 环保措施:一、污染防治措施1、警示标志：公司X射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，告诫无关人员勿靠近照射场地。2、屏蔽防护措施：设备为自屏蔽设备；射线装置使用结束后及时关闭；发现故障时，及时将射线装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。每年对射线机台安全运行情况进行一次年度检测和评估。3、防护用品和监测仪器：公司为辐射工作人员每人配备个人剂量计，配备10台辐射剂量报警仪，1台辐射巡检仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理；2、制定规章制度：辐射机台安全操作规程、射线机台操作人员培训制度、自行检查和年度评估制度、监测方案；3、制定辐射事故应急管理措施；4、个人剂量检定、个人剂量档案，职业健康体检、建立个人健康档案；5、辐射操作人员定期安排参加辐射安全和防护知识培训。 | |||
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