12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线新建项目广东省广州市增城区宁西街创优路333号
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12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线新建项目广东省广州市增城区宁西街创优路333号
填表日期：2024-07-18
| 12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线新建项目 | |||
| (略) 增城区宁 (略) 333号 | *.815 | ||
| (略) | 陈晓飞 | ||
| * | * | ||
| 2024-06-28 | |||
| 新建 | |||
| 一、 (略) 新增3台离子注入机利用建设项目。二、建设规模：1、使用高束流离子注入机（最大管电压85KV，最大管电流35mA，数量1台）；中束流离子注入机（最大管电压900KV，最大管电流18mA，数量1台）；高能量离子注入机（最大管电压3000KV，最大管电流5mA，数量1台）；射线装置具体使用位置：离子注入机使用地点位于12英寸芯片生产厂房3楼洁净车间离子注入区域。 2.使用X射线荧光光谱仪（最大管电压40KV，最大管电流90mA），数量2台；射线装置具体使用位置：X射线荧光光谱仪使用地点位于12英寸芯片生产厂房3楼洁净车间薄膜沉积区域. | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施：1.警示标识：公司X射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地。2.屏蔽防护措施：离子注入机安装在8mm的钢板底座上，底座上铺设铅板，厚度6.45mm，其中铅的厚度为2.0mm。三边为隔离门，每个门都含2.0mm厚的铅板。另一边为隔离墙。中间为钢结构，两边铺以铅板，天花板也为钢结构,铺以2.0mm的铅版。所有的接缝都铺以额外的铅条以密封。由于离子辐射主要来自离子的加速过程，离子注入机将离子源、吸极、线性加速单元组成一个独立的空间,该空间的地板，门，隔离墙，天花板都含有2.0mm厚的铅板，组成一个铅密闭的空间。离子注入机工作时有高压，辐射危险，机台工作时禁止人员进入机台，整个机台四周有隔离门，所有的门都有连锁装置，当门没有完全关闭时，高压将不能开启，当高压开启后，所有的门将自动上锁，防止人员误入机台。同时机台有警告的黄灯亮起。X射线管所在量测腔体装有铅板隔绝，整个机台四周有隔离门，所有的门都有连锁装置，当门没有完全关闭时，X射线将不能开启，同时机台有警告的黄灯关闭。3、防护用品和监测仪器:公司为辐射工作人员配备个人剂量计，配备1台辐射监测仪。二、安全管理措施1.有专职管理人员负责辐射安全管理；2.建立规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案；4.有辐射事故应急措施及定期进行演习；5.个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案；6.调试仪器时，工作人员需佩戴个人剂量检测器，上岗前参加辐射安全和防护知识培训并通过考核。 | |||
填表日期：2024-07-18
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| (略) 增城区宁 (略) 333号 | *.815 | ||
| (略) | 陈晓飞 | ||
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| 2024-06-28 | |||
| 新建 | |||
| 一、 (略) 新增3台离子注入机利用建设项目。二、建设规模：1、使用高束流离子注入机（最大管电压85KV，最大管电流35mA，数量1台）；中束流离子注入机（最大管电压900KV，最大管电流18mA，数量1台）；高能量离子注入机（最大管电压3000KV，最大管电流5mA，数量1台）；射线装置具体使用位置：离子注入机使用地点位于12英寸芯片生产厂房3楼洁净车间离子注入区域。 2.使用X射线荧光光谱仪（最大管电压40KV，最大管电流90mA），数量2台；射线装置具体使用位置：X射线荧光光谱仪使用地点位于12英寸芯片生产厂房3楼洁净车间薄膜沉积区域. | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施：1.警示标识：公司X射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地。2.屏蔽防护措施：离子注入机安装在8mm的钢板底座上，底座上铺设铅板，厚度6.45mm，其中铅的厚度为2.0mm。三边为隔离门，每个门都含2.0mm厚的铅板。另一边为隔离墙。中间为钢结构，两边铺以铅板，天花板也为钢结构,铺以2.0mm的铅版。所有的接缝都铺以额外的铅条以密封。由于离子辐射主要来自离子的加速过程，离子注入机将离子源、吸极、线性加速单元组成一个独立的空间,该空间的地板，门，隔离墙，天花板都含有2.0mm厚的铅板，组成一个铅密闭的空间。离子注入机工作时有高压，辐射危险，机台工作时禁止人员进入机台，整个机台四周有隔离门，所有的门都有连锁装置，当门没有完全关闭时，高压将不能开启，当高压开启后，所有的门将自动上锁，防止人员误入机台。同时机台有警告的黄灯亮起。X射线管所在量测腔体装有铅板隔绝，整个机台四周有隔离门，所有的门都有连锁装置，当门没有完全关闭时，X射线将不能开启，同时机台有警告的黄灯关闭。3、防护用品和监测仪器:公司为辐射工作人员配备个人剂量计，配备1台辐射监测仪。二、安全管理措施1.有专职管理人员负责辐射安全管理；2.建立规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案；4.有辐射事故应急措施及定期进行演习；5.个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案；6.调试仪器时，工作人员需佩戴个人剂量检测器，上岗前参加辐射安全和防护知识培训并通过考核。 | |||
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