蓝宝石基单晶金刚石半导体材料制备、大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备
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蓝宝石基单晶金刚石半导体材料制备、大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备
| 项目代码 | 【2407-*-06-02-*】【ZJM*】 | 项目名称 | 蓝宝石基单晶金刚石半导体材料制备、大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备 |
| 项目审批类型 | 备案 | 项目（法人）单位 | 化合积电（厦门） (略) |
| 审批单位 | (略) 集美区科技和工信局 | 审批日期 | 2024-07-18 |
| 审批事项 | 企业投资项目备案 | ||
| 审批结果 | 批复 | 审批文号 | 厦集科工投备[2024]015号 |
| 审批单位 | (略) 集美区科技和工信局 | 审批日期 | 2024-07-18 |
| 审批事项 | 企业投资项目备案 | ||
| 审批结果 | 批复 | 审批文号 | 厦集科工投备[2024]015号 |
| 项目代码 | 【2407-*-06-02-*】【ZJM*】 | 项目名称 | 蓝宝石基单晶金刚石半导体材料制备、大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备 |
| 项目审批类型 | 备案 | 项目（法人）单位 | 化合积电（厦门） (略) |
| 审批单位 | (略) 集美区科技和工信局 | 审批日期 | 2024-07-18 |
| 审批事项 | 企业投资项目备案 | ||
| 审批结果 | 批复 | 审批文号 | 厦集科工投备[2024]015号 |
| 审批单位 | (略) 集美区科技和工信局 | 审批日期 | 2024-07-18 |
| 审批事项 | 企业投资项目备案 | ||
| 审批结果 | 批复 | 审批文号 | 厦集科工投备[2024]015号 |
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