28纳米掩模基板上游石英基板备案
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28纳米掩模基板上游石英基板备案
| 项目名称 | 28纳米掩模基板上游石英基板 | ||
| 建设内容及规模 | 购置槽沉炉D800型（自研）、常压退火炉等工艺设备共计8台（套）；应力双折射仪、紫外分光光度计等测试设备5台（套）；建设洁净间300m2，用于石英材料的测试及抛光加工；配套供配电、给排水、环保、消防等设施，掩模基板石英原材料形成量产能力，支撑光掩模版通过28纳米生产线验证。 | ||
| 项目代码 | 2407-*-04-02-* | 项目单位 | 长飞石英技术（武汉）有限公司 |
| 法人代表姓名 | 庄丹 | 项目单位性质 | 其他 |
| 所属行政区划 | 项目所属行业 | 高技术/ | |
| 总投资 | 3100 | 建设性质 | 技改及其他 |
| 拟开工时间 | 2024-08 | 备案证状态 | 尚未审核 |
| 申报日期 | 2024-07-22 13:45:42 |
| 项目名称 | 28纳米掩模基板上游石英基板 | ||
| 建设内容及规模 | 购置槽沉炉D800型（自研）、常压退火炉等工艺设备共计8台（套）；应力双折射仪、紫外分光光度计等测试设备5台（套）；建设洁净间300m2，用于石英材料的测试及抛光加工；配套供配电、给排水、环保、消防等设施，掩模基板石英原材料形成量产能力，支撑光掩模版通过28纳米生产线验证。 | ||
| 项目代码 | 2407-*-04-02-* | 项目单位 | 长飞石英技术（武汉）有限公司 |
| 法人代表姓名 | 庄丹 | 项目单位性质 | 其他 |
| 所属行政区划 | 项目所属行业 | 高技术/ | |
| 总投资 | 3100 | 建设性质 | 技改及其他 |
| 拟开工时间 | 2024-08 | 备案证状态 | 尚未审核 |
| 申报日期 | 2024-07-22 13:45:42 |
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