安徽华鑫微纳集成电路有限公司射线装置应用项目安徽省蚌埠市经开区东海大道888号
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安徽华鑫微纳集成电路有限公司射线装置应用项目安徽省蚌埠市经开区东海大道888号
填表日期：2024-08-08
| 安徽华鑫 (略) 射线装置应用项目 | |||
| (略) 经开区东海大道888号 | 133 | ||
| 安徽华鑫 (略) | 喻磊 | ||
| 9200 | 10 | ||
| 2024-12-25 | |||
| 新建 | |||
| 一、建设内容及规模 MEMS晶圆加工无尘室使用离子注入机。 二、建设规模 1、使用 GSD200E2 型大束流离子注入机（最大管电压 180keV，最大管电流 20mA，数量 1 台）； 2、使用 NV8250型中束流离子注入机（最大管电压 250keV，最大管电流 5mA，数量 1 台）； 3、石英GSD HE型高能离子注入机（最大管电压2MeV,最大管电流1mA,数量1台）；离子注入装置具体使用位置：3楼无尘车间东侧。 | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施 1、警示标识：公司离子注入装置工作场所设置单独房间，设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地；公司应在射线装置周围1m处设置警戒线，以防止无关人员进入。 2、屏蔽防护措施：离子注入设备已有内置铅板隔离；公司设备待机状态时、人员近距离对内部装置处理时，须对注入装置进行关闭后才可实行运作；或者发现故障时，装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。 3、防护用品和监测仪器：公司为 8名辐射工作人员配备个人剂量计，配备3台辐射监测仪。 二、安全管理措施 1、有专职管理人员负责辐射安全管理 2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案 3、辐射事故应急措施 4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案 5、8人参加辐射安全和防护知识培训 | |||
填表日期：2024-08-08
| 安徽华鑫 (略) 射线装置应用项目 | |||
| (略) 经开区东海大道888号 | 133 | ||
| 安徽华鑫 (略) | 喻磊 | ||
| 9200 | 10 | ||
| 2024-12-25 | |||
| 新建 | |||
| 一、建设内容及规模 MEMS晶圆加工无尘室使用离子注入机。 二、建设规模 1、使用 GSD200E2 型大束流离子注入机（最大管电压 180keV，最大管电流 20mA，数量 1 台）； 2、使用 NV8250型中束流离子注入机（最大管电压 250keV，最大管电流 5mA，数量 1 台）； 3、石英GSD HE型高能离子注入机（最大管电压2MeV,最大管电流1mA,数量1台）；离子注入装置具体使用位置：3楼无尘车间东侧。 | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施 1、警示标识：公司离子注入装置工作场所设置单独房间，设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地；公司应在射线装置周围1m处设置警戒线，以防止无关人员进入。 2、屏蔽防护措施：离子注入设备已有内置铅板隔离；公司设备待机状态时、人员近距离对内部装置处理时，须对注入装置进行关闭后才可实行运作；或者发现故障时，装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。 3、防护用品和监测仪器：公司为 8名辐射工作人员配备个人剂量计，配备3台辐射监测仪。 二、安全管理措施 1、有专职管理人员负责辐射安全管理 2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案 3、辐射事故应急措施 4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案 5、8人参加辐射安全和防护知识培训 | |||
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