为保证此次审查工作的严肃性和公正性，维护公众环境权益， 2024年8月13日拟对1个建设项目环境影响评价文件作出审批意见的公告。现将拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期为2024年8月14日－2024年8月20日（5个工作日）。

严格执行环保“三同时”制度，严格落实环评报告表提出的各项污染防治措施：

（一）废气：MOCVD设备废气经“干式过滤+等离子电加热水洗”处理设施处理达标后高空排放，MBE设备、VPD设备、金属溅射台等产生的废气经“水喷淋”处理设施处理达标后高空排放，ICP-CVD设备废气经“等离子水洗”尾气处理设备处理达标后高空排放，ICP-Etch设备废气经“干式吸附”装置处理后和去胶机、PECVD设备等产生的废气一起经“等离子水洗”尾气处理设备处理后高空排放，湿法腐蚀台、倒装键合机产生的废气经“碱喷淋”装置处理达标后高空排放，显影机、光刻机、有机清洗湿台、lift off机台、reflow机台、点胶机等产生的废气分别收集后和实验废气一起通过“沸石转轮+RTO”有机废气处理装置处理后高空排放，颗粒物、氯化氢、氟化物、氯气、铅及其化合物、铍及其化合物、镍及其化合物、非*烷总烃、铬酸雾执行《大气污染物综合排放标准》（*）表2新污染源大气污染物排放限值等（详见环评）。

（二）废水：生产废水经污水处理设施处理达标后纳管排放，执行《电子工业水污染物排放标准》（*）表1半导体器件水污染物间接排放限值，其中重金属废水经车间重金属废水处理系统处理后纳管排放，执行表1直接排放限值。

（三）噪声：合理布局，选用低噪声设备，采取减震降噪措施，噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(*)3类标准。

（四）固废：各类固废必须妥善收集、综合处置，不得随意倾倒。废沉积液、废靶材、废有机溶液、废异*醇、废酸、废污泥等危险固废，必须按规范要求设置暂存场所并按实际产生量委托有资质单位处置。

联系电话：0571-*

联系地址：桐庐县 (略) 258号行政服务中心2楼综合受理窗口

(略) 生态环境局

2024年8月13日

为保证此次审查工作的严肃性和公正性，维护公众环境权益， 2024年8月13日拟对1个建设项目环境影响评价文件作出审批意见的公告。现将拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期为2024年8月14日－2024年8月20日（5个工作日）。

严格执行环保“三同时”制度，严格落实环评报告表提出的各项污染防治措施：

（一）废气：MOCVD设备废气经“干式过滤+等离子电加热水洗”处理设施处理达标后高空排放，MBE设备、VPD设备、金属溅射台等产生的废气经“水喷淋”处理设施处理达标后高空排放，ICP-CVD设备废气经“等离子水洗”尾气处理设备处理达标后高空排放，ICP-Etch设备废气经“干式吸附”装置处理后和去胶机、PECVD设备等产生的废气一起经“等离子水洗”尾气处理设备处理后高空排放，湿法腐蚀台、倒装键合机产生的废气经“碱喷淋”装置处理达标后高空排放，显影机、光刻机、有机清洗湿台、lift off机台、reflow机台、点胶机等产生的废气分别收集后和实验废气一起通过“沸石转轮+RTO”有机废气处理装置处理后高空排放，颗粒物、氯化氢、氟化物、氯气、铅及其化合物、铍及其化合物、镍及其化合物、非*烷总烃、铬酸雾执行《大气污染物综合排放标准》（*）表2新污染源大气污染物排放限值等（详见环评）。

（二）废水：生产废水经污水处理设施处理达标后纳管排放，执行《电子工业水污染物排放标准》（*）表1半导体器件水污染物间接排放限值，其中重金属废水经车间重金属废水处理系统处理后纳管排放，执行表1直接排放限值。

（三）噪声：合理布局，选用低噪声设备，采取减震降噪措施，噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(*)3类标准。

（四）固废：各类固废必须妥善收集、综合处置，不得随意倾倒。废沉积液、废靶材、废有机溶液、废异*醇、废酸、废污泥等危险固废，必须按规范要求设置暂存场所并按实际产生量委托有资质单位处置。

联系电话：0571-*

联系地址：桐庐县 (略) 258号行政服务中心2楼综合受理窗口

(略) 生态环境局

2024年8月13日