南京宽能半导体有限公司湿法刻蚀废气、废酸液贮存罐挥发废气、废氨液贮存罐挥发废气收集处理项目江苏省南京市浦口区浦口经济开发区中科创新产业园B10栋、B11栋
南京宽能半导体有限公司湿法刻蚀废气、废酸液贮存罐挥发废气、废氨液贮存罐挥发废气收集处理项目江苏省南京市浦口区浦口经济开发区中科创新产业园B10栋、B11栋
填表日期:2024-09-03
南 (略) 湿法刻蚀废气、废酸液贮存罐挥发废气、废氨液贮存罐挥发废气收集处理项目 | |||
(略) 浦口区浦口经济开发区中科创新产业园B10栋、B11栋 | *.8 | ||
南 (略) | 谢慧青 | ||
100 | 100 | ||
2024-02-07 | |||
新建 | |||
(1)本项目产生 G7湿法刻蚀废气(氟化物、氨)、G12湿法刻蚀废气(硫酸雾、磷酸雾、氮氧化物、*酸)由酸性废气洗涤塔处理改为LSC(等离子体/电热燃烧湿式尾气处理器) 酸性废气洗涤塔处理,但均通过FQ001废气排气筒排放。 (2)企业使用的废酸液贮存罐和废氨液贮存罐产生的挥发废气由无组织排放改为有组织收集后分别进入酸性废气洗涤塔、碱性废气洗涤塔处理后排放。 | |||
有环保措施: 湿法刻蚀废气采取LSC(等离子体/电热燃烧湿式尾气处理器)、 酸性废气洗涤塔措施后通过FQ001排放至大气 有环保措施: 废酸液贮存罐挥发废气采取酸性废气洗涤塔措施后通过FQ001排放至大气 有环保措施: 废氨液贮存罐挥发废气采取碱性废气洗涤塔措施后通过FQ002排放至大气 | |||
生产废水 有环保措施: 酸碱废气吸收废水采取废水处理站措施后通 (略) 排放至浦口经济开发区工业废水处理厂 | |||
有环保措施: 隔声减振措施 | |||
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填表日期:2024-09-03
南 (略) 湿法刻蚀废气、废酸液贮存罐挥发废气、废氨液贮存罐挥发废气收集处理项目 | |||
(略) 浦口区浦口经济开发区中科创新产业园B10栋、B11栋 | (平方米) | *.8 | |
南 (略) | 谢慧青 | ||
100 | 100 | ||
2024-02-07 | |||
新建 | |||
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(1)本项目产生 G7湿法刻蚀废气(氟化物、氨)、G12湿法刻蚀废气(硫酸雾、磷酸雾、氮氧化物、*酸)由酸性废气洗涤塔处理改为LSC(等离子体/电热燃烧湿式尾气处理器) 酸性废气洗涤塔处理,但均通过FQ001废气排气筒排放。 (2)企业使用的废酸液贮存罐和废氨液贮存罐产生的挥发废气由无组织排放改为有组织收集后分别进入酸性废气洗涤塔、碱性废气洗涤塔处理后排放。 | |||
有环保措施: 湿法刻蚀废气采取LSC(等离子体/电热燃烧湿式尾气处理器)、 酸性废气洗涤塔措施后通过FQ001排放至大气 有环保措施: 废酸液贮存罐挥发废气采取酸性废气洗涤塔措施后通过FQ001排放至大气 有环保措施: 废氨液贮存罐挥发废气采取碱性废气洗涤塔措施后通过FQ002排放至大气 | |||
生产废水 有环保措施: 酸碱废气吸收废水采取废水处理站措施后通 (略) 排放至浦口经济开发区工业废水处理厂 | |||
有环保措施: 隔声减振措施 | |||
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