序号

项目名称

建设地点

建设单位

环评单位

建设项目概况

主要环境影响及对策措施

公众参与情况

1

先进 (略) 项目

(略) 高新区长安通讯产 (略) 以东、 (略) 以西、绕城大环线以北

陕西 (略) (略)

陕西 (略)

项 (略) 高新区长安通讯产 (略) 以东、 (略) 以西、绕城大环线以北，改造建筑面积2700m2，项目在现有厂区内生产车间内布设生产设备，为各类硅光芯片创新主体的研发、中试、测试、工程化提供技术服务。现有生产车间1楼布设化学品供给柜、氧气供给间及其他辅助设施，2楼设置硅光光刻、刻蚀、涂胶显影等硅光电子芯片集中研发、中试、测试、 (略) 1条，同时增设1台3.5MW燃气真空热水锅炉，其余辅助设施依托原有。项目建成后新增硅光芯片产能*片/年，项目总投资*万元，环保投资*元。

（一）废气：项目有机废气经二级活性炭吸附处理后通过现有25m高排气筒排放（DA002）；酸性废气经酸性废气洗涤塔处理，刻蚀、薄膜、离子注入、外延工序尾气经等离子体水洗尾气处理后经酸性气体洗涤塔处理通过1根25m高排气筒排放（DA006）；碱性废气经碱性气体洗涤塔处理后通过1根25m高排气筒排放（DA007）；锅炉配备低氮燃烧器，烟气通过1根21m高排气筒排放（DA008）；氟化物、硫酸雾、氯化氢、氯气、氮氧化物排放执行《大气污染物综合排放标准》（*）标准，非*烷总烃执行《挥发性有机物排放控制标准》（DB61/T1061-2017），氨执行《恶臭污染物排放标准》(*)，颗粒物、二氧化硫执行《锅炉大气污染物排放标准》（DB61 1226-2018）标准，氮氧化物执行《 (略) 大气污染治理专项行动方案（2023—2027年）》（市字〔2023〕32号）要求限值。

（二）废水：生产废水依托现有废水处理 (略) (略) 排入高新第二污水处理厂。生产废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（*），生活污水排放执行《污水综合排放标准》（*）三级标准、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T*-2015）B级标准。

（三）噪声：合理设置高噪声设备，确保运营期厂界噪声达标排放。

（四）固体废弃物：项目产生的废靶材、纯水制备废RO膜、新风系统废滤芯、废晶圆、废包装（不沾染危化品）等一般工业固体废物按照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（*）有关规定分类暂存后外售；废显影液、废光刻胶、含氟废液、废清洗剂、废酸、废碱、废研磨液、废铝腐蚀液、废硅腐蚀液、检修废物、废包装（沾染危化品）、废活性炭等危险废物分类收集，按照《危险废物贮存污染控制标准》(*)要求，暂存在危废贮存库，定期将交由有资质单位处置。

报告表类项目，未开展公众调查意见。

序号

项目名称

建设地点

建设单位

环评单位

建设项目概况

主要环境影响及对策措施

公众参与情况

1

先进 (略) 项目

(略) 高新区长安通讯产 (略) 以东、 (略) 以西、绕城大环线以北

陕西 (略) (略)

陕西 (略)

项 (略) 高新区长安通讯产 (略) 以东、 (略) 以西、绕城大环线以北，改造建筑面积2700m2，项目在现有厂区内生产车间内布设生产设备，为各类硅光芯片创新主体的研发、中试、测试、工程化提供技术服务。现有生产车间1楼布设化学品供给柜、氧气供给间及其他辅助设施，2楼设置硅光光刻、刻蚀、涂胶显影等硅光电子芯片集中研发、中试、测试、 (略) 1条，同时增设1台3.5MW燃气真空热水锅炉，其余辅助设施依托原有。项目建成后新增硅光芯片产能*片/年，项目总投资*万元，环保投资*元。

（一）废气：项目有机废气经二级活性炭吸附处理后通过现有25m高排气筒排放（DA002）；酸性废气经酸性废气洗涤塔处理，刻蚀、薄膜、离子注入、外延工序尾气经等离子体水洗尾气处理后经酸性气体洗涤塔处理通过1根25m高排气筒排放（DA006）；碱性废气经碱性气体洗涤塔处理后通过1根25m高排气筒排放（DA007）；锅炉配备低氮燃烧器，烟气通过1根21m高排气筒排放（DA008）；氟化物、硫酸雾、氯化氢、氯气、氮氧化物排放执行《大气污染物综合排放标准》（*）标准，非*烷总烃执行《挥发性有机物排放控制标准》（DB61/T1061-2017），氨执行《恶臭污染物排放标准》(*)，颗粒物、二氧化硫执行《锅炉大气污染物排放标准》（DB61 1226-2018）标准，氮氧化物执行《 (略) 大气污染治理专项行动方案（2023—2027年）》（市字〔2023〕32号）要求限值。

（二）废水：生产废水依托现有废水处理 (略) (略) 排入高新第二污水处理厂。生产废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（*），生活污水排放执行《污水综合排放标准》（*）三级标准、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T*-2015）B级标准。

（三）噪声：合理设置高噪声设备，确保运营期厂界噪声达标排放。

（四）固体废弃物：项目产生的废靶材、纯水制备废RO膜、新风系统废滤芯、废晶圆、废包装（不沾染危化品）等一般工业固体废物按照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（*）有关规定分类暂存后外售；废显影液、废光刻胶、含氟废液、废清洗剂、废酸、废碱、废研磨液、废铝腐蚀液、废硅腐蚀液、检修废物、废包装（沾染危化品）、废活性炭等危险废物分类收集，按照《危险废物贮存污染控制标准》(*)要求，暂存在危废贮存库，定期将交由有资质单位处置。

报告表类项目，未开展公众调查意见。