研发制造用厂房及配套设施二期射线装置项目上海市直辖市嘉定区上海市嘉定工业区世盛路528号
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研发制造用厂房及配套设施二期射线装置项目上海市直辖市嘉定区上海市嘉定工业区世盛路528号
填表日期：2024-09-06
| 研发制造用厂房及配套设施二期射线装置项目 | |||
| (略) (略) 嘉定工 (略) 528号 | * | ||
| (略) | 陈虹 | ||
| * | 96 | ||
| 2024-12-30 | |||
| 扩建 | |||
| 一、建设内容： 1. (略) 在晶圆生产线的生产制造和检测系统中，拟引进一台IMS分析仪，该设备内置2个放射性总活度为3.7E 8贝可的Ni-63放射源。根据《放射源分类办法》本次拟新增的放射源属于Ⅴ类放射源，为极低危险源，不会对人造成永久性损伤。 2.由于工艺需要，拟新增Ⅲ类射线装置17台套，包含离子注入设备和检测设备。 二、建设规模： 1. 拟使用的放射性核素名称：Ni-63，放射性总活度：3.7E 8贝可，使用数量：2，生产厂家：PMS（ (略) ），使用位置： 生产厂房2三楼SUPPORT房间FOUP内环境检测工序。 2. 拟使用的射线装置情况： 1）高电流离子注入机3台，使用位置生产厂房1三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta Trident XP，最大管电压60kV，最大管电流12mA； 2）中电流离子注入机2台，使用位置生产厂房1三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta 900XPT，最大管电压80kV，最大管电流5mA； 3) 高电流离子注入机1台，使用位置生产厂房1三楼，生产厂家凯世通，设备型号iSTELLAR-500，最大管电压60kV，最大管电流12mA； 4) 高电流离子注入机1台，使用位置生产厂房1三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta Trident XP Crion，最大管电压60kV，最大管电流12mA； 5) 高电流离子注入机6台，使用位置生产厂房2三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta Trident XP，最大管电压60kV，最大管电流12mA； 6) 中电流离子注入机2台，使用位置生产厂房2三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta 900XPT ，最大管电压80kV，最大管电流5mA； 7) X射线衍射仪1台，使用位置生产厂房2一楼，生产厂家Bruker，设备型号JVX 7300LSI ，最大管电压60kV，最大管电流15mA； 8) X射线荧光分析仪1台，使用位置生产厂房2一楼，生产厂家Rigaku，设备型号WX310 ，最大管电压40kV，最大管电流90mA。 | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施1. 放射源放置于IMS分析仪的密闭射源盒内，密闭射源盒不可随意拆卸；2. 设备自带铝板、钢板、铅版等屏蔽防护措施；3. 设备自带门机连锁装置；4. 设备张贴有明显警示标识；5. 操作人员配备防护用品和监测仪器，包括个人剂量测量报警、辐射监测等仪器；6. 报废的放射源由原厂回收处理。二、安全管理措施1. 配备辐射安全管理人员；2. 从事辐射工作的人员通过辐射安全和防护专业知识及相关法律法规培训；3. 建立健全的操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、放射性同位素使用登记制度、人员培训计划、监测方案等；4. 有完善的辐射事故应急措施。5. 操作人员配备防护用品和个人剂量计，建立个人计量档案，定期进行职业健康检查等。 | |||
填表日期：2024-09-06
| 研发制造用厂房及配套设施二期射线装置项目 | |||
| (略) (略) 嘉定工 (略) 528号 | * | ||
| (略) | 陈虹 | ||
| * | 96 | ||
| 2024-12-30 | |||
| 扩建 | |||
| 一、建设内容： 1. (略) 在晶圆生产线的生产制造和检测系统中，拟引进一台IMS分析仪，该设备内置2个放射性总活度为3.7E 8贝可的Ni-63放射源。根据《放射源分类办法》本次拟新增的放射源属于Ⅴ类放射源，为极低危险源，不会对人造成永久性损伤。 2.由于工艺需要，拟新增Ⅲ类射线装置17台套，包含离子注入设备和检测设备。 二、建设规模： 1. 拟使用的放射性核素名称：Ni-63，放射性总活度：3.7E 8贝可，使用数量：2，生产厂家：PMS（ (略) ），使用位置： 生产厂房2三楼SUPPORT房间FOUP内环境检测工序。 2. 拟使用的射线装置情况： 1）高电流离子注入机3台，使用位置生产厂房1三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta Trident XP，最大管电压60kV，最大管电流12mA； 2）中电流离子注入机2台，使用位置生产厂房1三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta 900XPT，最大管电压80kV，最大管电流5mA； 3) 高电流离子注入机1台，使用位置生产厂房1三楼，生产厂家凯世通，设备型号iSTELLAR-500，最大管电压60kV，最大管电流12mA； 4) 高电流离子注入机1台，使用位置生产厂房1三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta Trident XP Crion，最大管电压60kV，最大管电流12mA； 5) 高电流离子注入机6台，使用位置生产厂房2三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta Trident XP，最大管电压60kV，最大管电流12mA； 6) 中电流离子注入机2台，使用位置生产厂房2三楼，生产厂家AMAT，设备型号VIIsta 900XPT ，最大管电压80kV，最大管电流5mA； 7) X射线衍射仪1台，使用位置生产厂房2一楼，生产厂家Bruker，设备型号JVX 7300LSI ，最大管电压60kV，最大管电流15mA； 8) X射线荧光分析仪1台，使用位置生产厂房2一楼，生产厂家Rigaku，设备型号WX310 ，最大管电压40kV，最大管电流90mA。 | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施1. 放射源放置于IMS分析仪的密闭射源盒内，密闭射源盒不可随意拆卸；2. 设备自带铝板、钢板、铅版等屏蔽防护措施；3. 设备自带门机连锁装置；4. 设备张贴有明显警示标识；5. 操作人员配备防护用品和监测仪器，包括个人剂量测量报警、辐射监测等仪器；6. 报废的放射源由原厂回收处理。二、安全管理措施1. 配备辐射安全管理人员；2. 从事辐射工作的人员通过辐射安全和防护专业知识及相关法律法规培训；3. 建立健全的操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、放射性同位素使用登记制度、人员培训计划、监测方案等；4. 有完善的辐射事故应急措施。5. 操作人员配备防护用品和个人剂量计，建立个人计量档案，定期进行职业健康检查等。 | |||
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